LPCVD — Prozessanlage

NaMLab gGmbH

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-04-02. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-02-24.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• ATV Technologies GmbH

Wer?

• NaMLab gGmbH

Wie?

• Öfen und Zubehör › Vakuumöfen

Wo?

• Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2020-02-24	Auftragsbekanntmachung
2020-06-12	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2020-02-24)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Vakuumöfen
Referenznummer: NLB2020_04
Kurze Beschreibung:

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Vakuumöfen 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: NaMLab gGmbH
Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64 a
Postleitzahl: 01187
Postort: Dresden
Kontakt
Internetadresse: http://www.namlab.com 🌏
E-Mail: info@namlab.com 📧
Telefon: +49 351212499010 📞
Fax: +49 35121499099 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe.de/unterlagen/2215094/zustellweg-auswaehlen 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-02-24 📅
Einreichungsfrist: 2020-04-02 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-02-25 📅
Datum des Beginns: 2020-04-16 📅
Datum des Endes: 2020-12-31 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 039-091959
ABl. S-Ausgabe: 39
Zusätzliche Informationen
Nicht öffentlich.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Der beabsichtigte Auftrag umfasst die Lieferung und Installation eines Niederdruck-Hochtemperatur-Ofens zur chemischen Gasphasenabscheidung (LPCVD-Ofen). Der LPCVD-Ofen soll Abscheidung- und Temperprozesse unter verschiedenen Atmosphären durchführen können. Der Ofen wird für die thermische Abscheidung und das Tempern/die thermische Behandlung von dünnen Schichten mikro-/nanoelektronischer Bauelemente verwendet. Er muss mit den CMOS-Normen kompatibel und in der Lage sein, Wafer mit einem Mindestdurchmesser von 150 mm unter Atmosphären- und Vakuumbedingungen zu prozessieren. Die Anlage wird sich in einem Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) befinden.

Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: Das Projekt zur Anschaffung der ausgeschriebenen Forschungsanlage wird gefördert durch den Europäischen Fond für regionale Entwicklung EFRE und durch Steuermittel des von den Abgeordneten des Sächsichen Landtages beschlossenen Haushaltes. Europa fördert Sachsen.
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Dresden

Deutschland

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Eine Kopie der Gewerbean- bzw. ummeldung, wenn keine Eintragung im Handels- bzw. Berufsregister besteht; ansonsten einen Nachweis über die Eintragung in das Berufs- oder Handelsregister nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Ursprungs- oder Herkunftslandes des Unternehmens:

2) Die unterschriebene Leistungsbeschreibung (Anlage 5);

3) Die unterschriebene Eigenerklärung zur Zuverlässigkeit (Anlage 6) mit einem Nachweis einer ausreichenden Betriebs- bzw. Berufshaftpflichtversicherungs-Deckung;

4) Angaben über den Umsatz des Unternehmens in den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, soweit es Leistungen betrifft, die mit der zu vergebenden Leistung vergleichbar sind (Eigenerklärung zum Unternehmen, Anlage 7).

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

1) Die unterschriebene Eigenerklärung zur Zuverlässigkeit (Anlage 6 der Verdingungsunterlagen) mit einem Nachweis einer ausreichenden Betriebs- bzw. Berufshaftpflichtversicherungs-Deckung;

2) Angaben über den Umsatz des Unternehmens in den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, soweit es Leistungen betrifft, die mit der zu vergebenden Leistung vergleichbar sind (Eigenerklärung zum Unternehmen, Anlage 7 der Verdingungsunterlagen);

3) Unternehmensstruktur und Mitarbeiterentwicklung;

4) Aussagen zum Kundendienst.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

1) Referenzen des Unternehmens zu vergleichbaren Leistungen in den letzten 3 Geschäftsjahren, mit Ansprechpartner und Telefonnummer (Anlage 8);

2) Qualitätsnachweise (z. B. ISO 9001, EMAS o. ä.);

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 13:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2020-05-02 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2020-04-02 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 14:00
Ort des Eröffnungstermins: Dresden
Zusätzliche Informationen: Nicht öffentlich.

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungseinrichtung
Kontakt
Kontaktperson: Alexander Ruf
Internetadresse: www.namlab.com 🌏
Dokumente URL: https://www.evergabe.de/unterlagen/2215094/zustellweg-auswaehlen 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen
Postanschrift: Braustraße 2
Postort: Leipzig
Postleitzahl: 04107
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3419771040 📞
E-Mail: post@lds.sachsen.de 📧
Fax: +49 3419771049 📠
Internetadresse: www.lds.sachsen.de 🌏
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Wie: Körper überprüfen
Quelle: OJS 2020/S 039-091959 (2020-02-24)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-06-12)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Der Auftrag umfasst die Lieferung und Installation eines Niederdruck-Hochtemperatur-Ofens zur chemischen Gasphasenabscheidung (LPCVD-Ofen). Der LPCVD-Ofen soll Abscheidung- und Temperprozesse unter verschiedenen Atmosphären durchführen können. Der Ofen wird für die thermische Abscheidung und das Tempern/die thermische Behandlung von dünnen Schichten mikro-/nanoelektronischer Bauelemente verwendet. Er muss mit den CMOS-Normen kompatibel und in der Lage sein, Wafer mit einem Mindestdurchmesser von 150 mm unter Atmosphären- und Vakuumbedingungen zu prozessieren. Die Anlage wird sich in einem Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) befinden.

Gesamtwert des Auftrags: 303 300 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-06-12 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-06-16 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 115-278963
Verweist auf Bekanntmachung: 2020/S 039-091959
ABl. S-Ausgabe: 115

Objekt
Umfang der Beschaffung
Beschreibung der Optionen: Gasleitungen/Komponenten
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: Das Projekt zur Anschaffung der ausgeschriebenen Forschungsanlage wird gefördert durch den Europäischen Fond für regionale Entwicklung EFRE und durch Steuermittel des von den Abgeordneten des Sächsischen Landtages beschlossenen Haushaltes. Europa fördert Sachsen.
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: DEUTSCHLAND

Verfahren
Vergabekriterien
Kostenkriterium (Name): Wirtschaftlichstes Angebot
Kostenkriterium (Gewichtung): 100 %

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-05-08 📅
Name: ATV Technologies GmbH
Postanschrift: Johann-Sebastian-Bach-Str. 38
Postort: Vaterstetten
Postleitzahl: 85591
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 81063050-0 📞
E-Mail: info@atv-tech.de 📧
Land: Ebersberg 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 303 300 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2020/S 115-278963 (2020-06-12)

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