Photolithography mask/reticle for MPW-Service and Research

IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Das IHP bietet verschiedene SiGe-BiCMOS Technologien für ein Multi-Wafer Programm (MPW) an.
Pro Jahr bestellt das IHP ungefähr 300 Einzelmasken mit verschiedenen Anforderungen/Spezifikationen. Abhängig von den Anforderungen nutzt das IHP Multi-Ebenen-Photomasken für seine Maskensätze.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-05-26. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-04-20.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2020-04-20 Auftragsbekanntmachung
2020-11-05 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2020-04-20)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: IHP-2020-045
Kurze Beschreibung:
Das IHP bietet verschiedene SiGe-BiCMOS Technologien für ein Multi-Wafer Programm (MPW) an. Pro Jahr bestellt das IHP ungefähr 300 Einzelmasken mit verschiedenen Anforderungen/Spezifikationen. Abhängig von den Anforderungen nutzt das IHP Multi-Ebenen-Photomasken für seine Maskensätze.
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Niedrigster Preis

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Postort: Frankfurt (Oder)
Kontakt
Internetadresse: https://www.ihp-microelectronics.com/en/start.html 🌏
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Telefon: +49 335-5625-359 📞
Fax: +49 335-5625-25359 📠
URL der Dokumente: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYQF/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYQF 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-04-20 📅
Einreichungsfrist: 2020-05-26 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-04-22 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 079-186007
ABl. S-Ausgabe: 79
Zusätzliche Informationen
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen. Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden. Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben. Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und – sofern im konkreten Verfahren einschlägig – für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist. Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden. Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYYQF
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Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Das IHP bietet verschiedene SiGe-BiCMOS Technologien für ein Multi-Wafer Programm (MPW) an.
Pro Jahr bestellt das IHP ungefähr 300 Einzelmasken mit verschiedenen Anforderungen/Spezifikationen. Abhängig von den Anforderungen nutzt das IHP Multi-Ebenen-Photomasken für seine Maskensätze.
Bevor das IHP die Masken in die Produktion von Wafern überführen kann, müssen die Maskenanbieter eine Bewertungsprozedur/Evaluierung durchlaufen.
(siehe unten).
Bewertungskriterien:
1. Der Photomaskenanbieter hat die Anforderungen bezüglich der Maskenqualität zu erfüllen, welche im Dokument "IHP_mask_requirements.pdf aufgeführt sind.
2. Für die Evaluierung sollte der Maskenlieferant 4 Photomasken mit kritischen Maskenebenen für einen feststehenden MPW-Durchlauf bereitstellen.
Diese kritischen Maskenebenen sind beschrieben in „IHP_mask_requirements.pdf“. Das IHP wird bestimmte/dedizierte Wafer mit entsprechenden Maskenebenen prozessieren und die Qualität hinsichtlich folgender Merkmale prüfen:
a) Messungen von photolithographischen Kontrollstrukturen,
b) Messungen von elektrischen PKM (Prozess-Kontroll-Monitore) Strukturen,
c) Evaluierung der Ausbeute.
3. Die Evaluierungsergebnisse werden mit den Maskenanbietern ausgetauscht.
Nach einer erfolgreichen Evaluierung von verschiedenen Masken-Anbietern wird das IHP einen Rahmenvertrag mit mindestens 2 Lieferanten für eine Periode von 2 Jahren mit der Option einer Verlängerung von 2 Jahren abschließen.
Dauer: 48 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Im Technologiepark 25
15236 Frankfurt (Oder)

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
— Bescheinigung in Steuersachen:
Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.
Technische und berufliche Fähigkeiten:
Referenzen:
Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt
Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.
Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:
— Referenzgeber;
— Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer;
— Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung;
— Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2020-07-24 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2020-05-26 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschung und Entwicklung
Kontakt
Kontaktperson: Beschaffung
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYQF/documents 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg
Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen.
Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden.
Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben.
Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und – sofern im konkreten Verfahren einschlägig – für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist.
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Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden.
Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYYQF

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331 / 866-1719 📞
Fax: +49 331 / 866-1652 📠
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Quelle: OJS 2020/S 079-186007 (2020-04-20)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-11-05)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 1 133 200 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH
Kontakt
Internetadresse: http://www.ihp-microelectronics.com 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-11-05 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-11-10 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 219-537343
Verweist auf Bekanntmachung: 2020/S 079-186007
ABl. S-Ausgabe: 219

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
1. Der Photomaskenanbieter hat die Anforderungen bezüglich der Maskenqualität zu erfüllen, welche im Dokument „IHP_mask_requirements.pdf aufgeführt sind.

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-06-10 📅
Name: Toppan Photomasks Inc.
Postanschrift: 131 Old Settlers Blvd
Postort: Round Rock
Postleitzahl: TX 78664
Land: Vereinigte Staaten 🇺🇸
Gesamtwert des Auftrags: 1 133 200 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Nationale Registrierungsnummer: 2020/S 079-186007
Kontakt
Kontaktperson: S. Rohner
Internetadresse: www.ihp-microelectronics.com 🌏
Quelle: OJS 2020/S 219-537343 (2020-11-05)
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