Plasma ALD-System

AMO, Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH

Zur Bearbeitung eines Forschungsprojektes benötigt die AMO ein Plasma ALD -System zur Deposition von homogenen dielektrischen Al2O3-Schichten auf einem definierten Schichtsystem (Monolage hBN/Graphen). Die Einkapselung durch die Al2O3-Schicht muss derart erfolgen, dass die Schädigung des darunterliegenden Schichtsystems durch die Einwirkung des Plasmas so gering wie möglich ist.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-08-03. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-06-26.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2020-06-26 Auftragsbekanntmachung
2020-10-02 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2020-06-26)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: AMO, Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH
Postanschrift: Otto-Blumenthal-Straße 25
Postort: Aachen
Postleitzahl: 52074
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Ghassan Soufan, B. Sc. RWTH
E-Mail: einkauf@amo.de 📧
Region: Städteregion Aachen 🏙️
URL: www.amo.de 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YJRDA0B/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YJRDA0B 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschungseinrichtung

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Plasma ALD-System 06/2020
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Kurze Beschreibung:
“Zur Bearbeitung eines Forschungsprojektes benötigt die AMO ein Plasma ALD -System zur Deposition von homogenen dielektrischen Al2O3-Schichten auf einem...”    Mehr anzeigen
Geschätzter Wert ohne MwSt: EUR 1 500 000 💰

1️⃣
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften 📦
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Industrielle Maschinen 📦
Ort der Leistung: Städteregion Aachen 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“AMO, Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH Otto-Blumenthal-Straße 25 52074 Aachen”
Beschreibung der Beschaffung:
“Zur Bearbeitung eines Forschungsprojektes benötigt die AMO ein Plasma ALD -System zur Deposition von homogenen dielektrischen Al2O3-Schichten auf einem...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Gesamtwert ohne MwSt: EUR 1 500 000 💰
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Beschreibung
Dauer: 182
Informationen über Optionen
Optionen
Beschreibung der Optionen:
“ALE für Silizium CVD/PECVD für das Wachsen von 2D-Materialien, mit einer Substrattemperatur von mindestens 1 200 C”
Umfang der Beschaffung
Informationen über die Fonds der Europäischen Union:
“Zuwendungen des Landes Nordrhein-Westfalen unter Einsatz von Mitteln aus dem Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) 2014-2020 „Investitionen in...”    Mehr anzeigen

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“— Unternehmensdarstellung: Name, Anschrift, Rechtsform, Name und Position des zuständigen Bearbeiters (einschließlich Telefonnummer, E-Mail-Adresse) sowie...”    Mehr anzeigen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“— Eigenerklärung, dass der Bieter über eine Betriebs- bzw. Berufshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme für Personen- und Sachschäden in Höhe von...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“— Eigenerklärung zu vergleichbaren Referenzen zu mindestens drei installierten ähnlichen Plasma ALD-Systemen aus den letzten drei Jahren, maximal aber 5...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Wirtschaftliche Ausschlusskriterien: Angebote mit einem Auftragswert von mehr als 1,5 Mio. EUR netto werden ausgeschlossen. Logistische...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2020-08-03 12:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2020-10-31 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2020-08-03 12:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Ort): Amo Aachen
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Informationen über die befugten Personen und das Öffnungsverfahren): Die Angebotsöffnung ist nicht öffentlich.

Ergänzende Informationen
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Elektronische Zahlung wird verwendet
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YJRDA0B
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Rheinland
Postanschrift: Zeughausstraße 2-10
Postort: Köln
Postleitzahl: 50667
Land: Deutschland 🇩🇪
Fax: +49 2211472-889 📠
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Folgende Hinweise zur Geltendmachung von Vergaberechtsverstößen vor der Vergabekammer sind zu beachten: Die Vergabestelle weist darauf hin, dass ein...”    Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2020/S 124-303345 (2020-06-26)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-10-02)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Kontaktperson: Ghassan Soufan, B.Sc. RWTH

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Plasma ALD-System 07/2020
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 1 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Zur Bearbeitung eines Forschungsprojektes benötigt die AMO ein Plasma ALD -System zur Deposition von homogenen dielektrischen Al2O3-Schichten auf einem...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Kürzere Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 30
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Option ALE
Qualitätskriterium (Gewichtung): 15
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Option CVD/PECVD
Preis (Gewichtung): 40
Informationen über Optionen
Beschreibung der Optionen:
“ALE für Silizium CVD/PECVD für das Wachsen von 2D-Materialien, mit einer Substrattemperatur von mindestens 1 200 C.”
Umfang der Beschaffung
Informationen über die Fonds der Europäischen Union:
“Zuwendungen des Landes Nordrhein-Westfalen unter Einsatz von Mitteln aus dem Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) 2014 — 2020 „Investitionen...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2020/S 124-303345

Auftragsvergabe

1️⃣
Vertragsnummer: 202008052
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-08-05 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Oxford Instruments GmbH Plasma
Postanschrift: Borsigstr. 15a
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 6122937-161 📞
E-Mail: ger-pt-office@oxinst.com 📧
Fax: +49 6122937-175 📠
Region: Wiesbaden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Geschätzter Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 1 500 000 💰
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 1 💰

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YJRD3HQ
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Folgende Hinweise zur Geltendmachung von Vergaberechtsverstößen vor der Vergabekammer sind zu beachten: Die Vergabestelle weist darauf hin, dass ein...”    Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2020/S 195-471459 (2020-10-02)