Plasma ALD-System

AMO, Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH

Zur Bearbeitung eines Forschungsprojektes benötigt die AMO ein Plasma ALD -System zur Deposition von homogenen dielektrischen Al2O3-Schichten auf einem definierten Schichtsystem (Monolage hBN/Graphen). Die Einkapselung durch die Al2O3-Schicht muss derart erfolgen, dass die Schädigung des darunterliegenden Schichtsystems durch die Einwirkung des Plasmas so gering wie möglich ist.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-08-03. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-06-26.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Oxford Instruments GmbH Plasma

Wer?

• AMO, Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH

Wie?

Wo?

• Köln › Städteregion Aachen

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2020-06-26	Auftragsbekanntmachung
2020-10-02	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2020-06-26)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: 06/2020
Kurze Beschreibung:

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Städteregion Aachen 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: AMO, Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH
Postanschrift: Otto-Blumenthal-Straße 25
Postleitzahl: 52074
Postort: Aachen
Kontakt
Internetadresse: http://www.amo.de 🌏
E-Mail: einkauf@amo.de 📧
URL der Dokumente: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YJRDA0B/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YJRDA0B 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-06-26 📅
Einreichungsfrist: 2020-08-03 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-06-30 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 124-303345
ABl. S-Ausgabe: 124
Zusätzliche Informationen
Die Angebotsöffnung ist nicht öffentlich.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Gesamtwert: 1 500 000 EUR 💰
Kurze Beschreibung:

— die AMO stellt unter Berücksichtigung der Wirtschaftlichkeit hohe Anforderungen an die Qualität des Plasma ALD-Systems;

— da das Plasma ALD-System kurzfristig benötigt wird, ist es für die AMO wichtig, dass die Lieferung kurzfristig (wenige Monate) erfolgt;

— für den Einsatz im laufenden Forschungsprojekt gibt es eine Reihe von erforderlichen Spezifikationen, die das Gerät erfüllen muss. Hierzu wird auf die Leistungsbeschreibung verwiesen.

Geschätzter Wert ohne MwSt: 1 500 000 EUR 💰
Dauer: 182 Tage
Beschreibung der Optionen:

ALE für Silizium

CVD/PECVD für das Wachsen von 2D-Materialien, mit einer Substrattemperatur von mindestens 1 200

AMO, Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH

Otto-Blumenthal-Straße 25

52074 Aachen

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

— Unternehmensdarstellung: Name, Anschrift, Rechtsform, Name und Position des zuständigen Bearbeiters (einschließlich Telefonnummer, E-Mail-Adresse) sowie die Angabe der Eintragung in ein Berufs- oder Handelsregister, alternativ eine Angabe nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Landes, in dem der Bieter ansässig ist;

— Eigenerklärung, dass über das Vermögen des Bieters nicht das Insolvenzverfahren oder ein vergleichbares Verfahren eröffnet oder die Eröffnung beantragt oder dieser Antrag mangels Masse abgelehnt worden ist nach den Bestimmungen des Landes, in dem das Unternehmen des Bieters seinen Sitz hat und eine Erklärung, dass sich der Bieter nicht in Liquidation befindet;

— Eigenerklärung, dass der Bieter seiner Verpflichtung zur Zahlung von Steuern, Abgaben und Beiträgen ordnungsgemäß nachgekommen ist nach den Bestimmungen des Landes, in dem das Unternehmen des Bieters seinen Sitz hat.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

— Eigenerklärung, dass der Bieter über eine Betriebs- bzw. Berufshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme für Personen- und Sachschäden in Höhe von mindestens 5 Mio. EUR je Versicherungsjahr verfügt. Verfügt der Bieter zum Zeitpunkt der Abgabe des Angebotes noch nicht über einen entsprechenden Versicherungsschutz, ist es ausreichend, wenn er bestätigt, den Versicherungsschutz im Auftragsfall entsprechend aufzustocken;

— Eigenerklärung zum Bruttogesamtumsatz des Unternehmens in den letzten drei Geschäftsjähren.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

— Eigenerklärung zu vergleichbaren Referenzen zu mindestens drei installierten ähnlichen Plasma ALD-Systemen aus den letzten drei Jahren, maximal aber 5 Jahren unter Angabe des Kundennamens, dem Ort der Leistungserbringung, und einer Kurzbeschreibung des Projektes. Der Bieter sollte zudem einen Ansprechpartner zur Überprüfung der Referenzen nennen, soweit dies aus datenschutzrechtlichen Gründen nicht möglich ist, ist die entsprechende Abteilung mit Kontaktdaten anzugeben. Mindestanforderungen an die Referenzen sind, dass es sich um ALD-Systeme handelt, die einen Depositionsprozess für Al2O3 (via Plasma ALD mit TMA und O

— Eigenerklärung, dass eine Zertifizierung des Bieters nach ISO 14001:2004 oder gleichwertig vorliegt.

Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Wirtschaftliche Ausschlusskriterien:

Angebote mit einem Auftragswert von mehr als 1,5 Mio. EUR netto werden ausgeschlossen.

Logistische Ausschlusskriterien:

Angebote mit einer Lieferzeit und Inbetriebnahme von mehr als 26 Kalenderwochen nach Auftragserteilung werden ausgeschlossen.

Technische Ausschlusskriterien:

Unter 4.2 der Vergabeunterlagen sind die technischen Spezifikationen aufgelistet. Angebote, die eine oder mehrere der mit „erforderlich“ gekennzeichneten Spezifikationen (siehe dazu Spalte „Anforderung“), nicht erfüllen, werden ausgeschlossen.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2020-10-31 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2020-08-03 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00
Ort des Eröffnungstermins: Amo Aachen
Zusätzliche Informationen: Die Angebotsöffnung ist nicht öffentlich.

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungseinrichtung
Kontakt
Kontaktperson: Ghassan Soufan, B. Sc. RWTH
Internetadresse: www.amo.de 🌏
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YJRDA0B/documents 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YJRDA0B

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Rheinland
Postanschrift: Zeughausstraße 2-10
Postort: Köln
Postleitzahl: 50667
Land: Deutschland 🇩🇪
Fax: +49 2211472-889 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Folgende Hinweise zur Geltendmachung von Vergaberechtsverstößen vor der Vergabekammer sind zu beachten:

Die Vergabestelle weist darauf hin, dass ein Nachprüfungsantrag nur zulässig ist, soweit:

1) der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber der Vergabestelle innerhalb von spätestens 10 Tagen gerügt hat,

2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber der Vergabestelle gerügt werden,

3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, spätestens mit Ablauf der in den Vergabeunterlagen benannten Frist zur Abgabe erster indikativer Angebote gegenüber der Vergabestelle gerügt werden,

4) der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung der Vergabestelle, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, gestellt wird.

Weitere Einzelheiten können § 160 GWB entnommen werden.

Quelle: OJS 2020/S 124-303345 (2020-06-26)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-10-02)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: 07/2020
Gesamtwert des Auftrags: 1 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-10-02 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-10-07 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 195-471459
Verweist auf Bekanntmachung: 2020/S 124-303345
ABl. S-Ausgabe: 195
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YJRD3HQ

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

— Die AMO stellt unter Berücksichtigung der Wirtschaftlichkeit hohe Anforderungen an die Qualität des Plasma ALD-Systems,

— da das Plasma ALD-System kurzfristig benötigt wird, ist es für die AMO wichtig, dass die Lieferung kurzfristig (wenige Monate) erfolgt,

Beschreibung der Optionen:

ALE für Silizium CVD/PECVD für das Wachsen von 2D-Materialien, mit einer Substrattemperatur von mindestens 1 200

Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: Zuwendungen des Landes Nordrhein-Westfalen unter Einsatz von Mitteln aus dem Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) 2014 — 2020 „Investitionen in Wachstum und Beschäftigung“.

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Kürzere Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 30
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Option ALE
Qualitätskriterium (Gewichtung): 15
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Option CVD/PECVD
Preis (Gewichtung): 40

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-08-05 📅
Name: Oxford Instruments GmbH Plasma
Postanschrift: Borsigstr. 15a
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 6122937-161 📞
E-Mail: ger-pt-office@oxinst.com 📧
Land: Wiesbaden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 1 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Ghassan Soufan, B.Sc. RWTH

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Die Vergabestelle weist darauf hin, dass ein Nachprüfungsantrag nur zulässig ist, soweit

1. der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber der Vergabestelle innerhalb von spätestens 10 Tagen gerügt hat;

2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber der Vergabestelle gerügt werden;

3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, spätestens mit Ablauf der in den Vergabeunterlagen benannten Frist zur Abgabe erster indikativer Angebote gegenüber der Vergabestelle gerügt werden;

4. der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung der Vergabestelle, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, gestellt wird.

Quelle: OJS 2020/S 195-471459 (2020-10-02)

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