Coater and developer process tool to be used for wafer fabrication at the Fraunhofer IPMS. The systems will be used for the processing of MEMS wafers in a CMOS compatible cleanroom class 10 (approximately class 4 EN ISO 14644-1) production environment.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-08-14.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-07-14.
Auftragsbekanntmachung (2020-07-14) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_048_260282 ChrPat-KauAnj
Kurze Beschreibung:
“Coater and developer process tool to be used for wafer fabrication at the Fraunhofer IPMS. The systems will be used for the processing of MEMS wafers in a...”
Kurze Beschreibung
Coater and developer process tool to be used for wafer fabrication at the Fraunhofer IPMS. The systems will be used for the processing of MEMS wafers in a CMOS compatible cleanroom class 10 (approximately class 4 EN ISO 14644-1) production environment.
Mehr anzeigen Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Englisch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦 Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden, Kreisfreie Stadt🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de🌏
Referenz Daten
Absendedatum: 2020-07-14 📅
Einreichungsfrist: 2020-08-14 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-07-16 📅
Datum des Beginns: 2020-12-01 📅
Datum des Endes: 2020-12-31 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 136-334243
ABl. S-Ausgabe: 136
Zusätzliche Informationen
“Request of documents — available at: The award documents can be retrieved exclusively through the award portal of the German e-Vergabe at...”
Request of documents — available at: The award documents can be retrieved exclusively through the award portal of the German e-Vergabe at www.deutsche-evergabe.de. With the tender submission, contenders are also subject to the provisions regarding unsuccessful tenders (§134 GWB [German Act Against Restraints of Competition]). Questions or remarks from the tenderer must be sent, in English only, exclusively via e-mail to the contact point named under No. I.1. As far as relevant, responses to the questions or remarks of the tenderer shall also be sent to all other tenderers.
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Quelle: OJS 2020/S 136-334243 (2020-07-14)
Ergänzende Angaben (2020-07-20) Objekt Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben