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Ort der Leistung: München, Kreisfreie Stadt🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: EMFT
Hansastraße 27d
80686 München
Beschreibung der Beschaffung:
“1 Stück
Die Fraunhofer Einrichtung EMFT plant die Beschaffung einer RIE Anlage, die im Backend Bereich eingesetzt werden soll. Zu ätzende Schichten sind:...”
Beschreibung der Beschaffung
1 Stück
Die Fraunhofer Einrichtung EMFT plant die Beschaffung einer RIE Anlage, die im Backend Bereich eingesetzt werden soll. Zu ätzende Schichten sind: SiN, SiO, SiC und Si sowie (teilweise gefüllte) Polymere (Lacke, Polyimide, ..). Das Gerät soll auch zur Oberflächenkonditionierung (vor SFB, bei elektrochemischen Sensoren) eingesetzt werden. Substratformate sind hier vorwiegend Wafer mit den Durchmessern 150 mm und 200 mm; es sollen aber auch kleinere Formate und Bruchstücke in der Anlage geätzt werden.
Zweites Einsatzgebiet der Anlage ist die Fehleranalyse an vereinzelten IC’s, wobei die zu ätzenden Materialien den oben genannten entsprechen.
Optionen:
— Ersatzauflagen,
— integrierbaren Endpunkterkennungssystem,
— integrierbaren Laserinterferometer-System,
— ICP-Quelle.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Dauer
Datum des Beginns: 2021-05-01 📅
Datum des Endes: 2021-05-31 📅
Informationen über Optionen
Optionen ✅
Beschreibung der Optionen:
“— Ersatzauflagen,
— Software integrierbaren Endpunkterkennungssystem,
— Software integrierbaren Laserinterferometer-System,
— ICP-Quelle.”
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Auswahlkriterien wie in den Auftragsunterlagen angegeben
Technische und berufliche Fähigkeiten
Auswahlkriterien wie in den Auftragsunterlagen angegeben
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2020-12-01
10:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2021-01-29 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2020-11-16
10:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Informationen über die befugten Personen und das Öffnungsverfahren): Entfällt
Ergänzende Informationen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Mehr anzeigen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de📧
URL: https://www.fraunhofer.de🌏
Quelle: OJS 2020/S 212-516074 (2020-10-27)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-11-30) Objekt Vergabekriterien
Preis
Informationen über Optionen
Beschreibung der Optionen:
“— Ersatzauflagen,
— Software integrierbaren Endpunkterkennungssystem,
— Software integrierbaren Laserinterferometer-System -ICP-Quelle.”
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2020/S 212-516074
Auftragsvergabe
1️⃣ Informationen über nicht gewährte Zuschüsse
Andere Gründe (Abbruch des Verfahrens)
Quelle: OJS 2020/S 237-583159 (2020-11-30)