Spektroskopisches, abbildendes Ellipsometer

Universität Leipzig

Gesucht wird ein spektroskopisches, abbildendes Ellipsometer zur optischen Charakterisierung (u. a. dielektrische Funktion und deren Anisotropie, Band-Band-Übergänge, Exzitonen, Oberflächeneigenschaften) von Halbleitern mit einer weiten Bandlücke (z. B. ZnO and darauf basierte Mischverbindungen) und dielektrischen Materialien (ZrO2, Al2O3, SiN, SiOx) sowie darauf basierende Dünnschichten und Strukturen im nahen infraroten Spektralbereich (1 000 nm) bis hin zum UV Spektralbereich (250 nm). Um stark räumliche variierende optischen Eigenschaften der Proben, z. B. durch Strukturierungen im ?m-Bereich oder räumliche Gradienten in der Zusammensetzung der verwendeten Materielaien zu bestimmen, ist spektroskopische, abbildende Ellipsometrie erforderlich mit einer lateralen Auflösung von bis zu 1μm. Das Ellipsometer soll zudem eine Kartierung der optischen Eigenschaften, Materialkonstanten und Probenaufbau erlauben. Des Weiteren kommen zum Teil optisch transparente Substrate zum Einsatz, so dass für eine geeignete Modellierung der Spektren die an der Rückseite des Substrates reflektierten Strahlen nicht detektiert werden sollten.
Zum Leistungsumfang gehören Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Installation, betriebsbereite Aufstellung, Abnahme sowie Einweisung und Schulung.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-08-07. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-06-25.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2020-06-25 Auftragsbekanntmachung
2020-12-17 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2020-06-25)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: 10007-2020
Kurze Beschreibung:
Gesucht wird ein spektroskopisches, abbildendes Ellipsometer zur optischen Charakterisierung (u. a. dielektrische Funktion und deren Anisotropie, Band-Band-Übergänge, Exzitonen, Oberflächeneigenschaften) von Halbleitern mit einer weiten Bandlücke (z. B. ZnO and darauf basierte Mischverbindungen) und dielektrischen Materialien (ZrO2, Al2O3, SiN, SiOx) sowie darauf basierende Dünnschichten und Strukturen im nahen infraroten Spektralbereich (1 000 nm) bis hin zum UV Spektralbereich (250 nm). Um stark räumliche variierende optischen Eigenschaften der Proben, z. B. durch Strukturierungen im ?m-Bereich oder räumliche Gradienten in der Zusammensetzung der verwendeten Materielaien zu bestimmen, ist spektroskopische, abbildende Ellipsometrie erforderlich mit einer lateralen Auflösung von bis zu 1μm. Das Ellipsometer soll zudem eine Kartierung der optischen Eigenschaften, Materialkonstanten und Probenaufbau erlauben. Des Weiteren kommen zum Teil optisch transparente Substrate zum Einsatz, so dass für eine geeignete Modellierung der Spektren die an der Rückseite des Substrates reflektierten Strahlen nicht detektiert werden sollten. Zum Leistungsumfang gehören Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Installation, betriebsbereite Aufstellung, Abnahme sowie Einweisung und Schulung.
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Leipzig, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Universität Leipzig
Postanschrift: Ritterstraße 16-22
Postleitzahl: 04109
Postort: Leipzig
Kontakt
Internetadresse: https://www.uni-leipzig.de/universitaet/service/ausschreibungen-und-vergaben/ 🌏
E-Mail: romy.kempa-kauerhof@zv.uni-leipzig.de 📧
Telefon: +49 34197-31064 📞
Fax: +49 34197-31129 📠
URL der Dokumente: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4Y9SDNJ3/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4Y9SDNJ3 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-06-25 📅
Einreichungsfrist: 2020-08-07 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-06-29 📅
Datum des Endes: 2020-12-31 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 123-300987
ABl. S-Ausgabe: 123
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4Y9SDNJ3

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Gesucht wird ein spektroskopisches, abbildendes Ellipsometer zur optischen Charakterisierung (u. a. dielektrische Funktion und deren Anisotropie, Band-Band-Übergänge, Exzitonen, Oberflächeneigenschaften) von Halbleitern mit einer weiten Bandlücke (z. B. ZnO and darauf basierte Mischverbindungen) und dielektrischen Materialien (ZrO2, Al2O3, SiN, SiOx) sowie darauf basierende Dünnschichten und Strukturen im nahen infraroten Spektralbereich (1 000 nm) bis hin zum UV Spektralbereich (250 nm). Um stark räumliche variierende optischen Eigenschaften der Proben, z. B. durch Strukturierungen im ?m-Bereich oder räumliche Gradienten in der Zusammensetzung der verwendeten Materielaien zu bestimmen, ist spektroskopische, abbildende Ellipsometrie erforderlich mit einer lateralen Auflösung von bis zu 1μm. Das Ellipsometer soll zudem eine Kartierung der optischen Eigenschaften, Materialkonstanten und Probenaufbau erlauben. Des Weiteren kommen zum Teil optisch transparente Substrate zum Einsatz, so dass für eine geeignete Modellierung der Spektren die an der Rückseite des Substrates reflektierten Strahlen nicht detektiert werden sollten.
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Zum Leistungsumfang gehören Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Installation, betriebsbereite Aufstellung, Abnahme sowie Einweisung und Schulung.
Geschätzter Gesamtwert: 315 000 EUR 💰
Geschätzter Wert ohne MwSt: 315 000 EUR 💰
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
Universität Leipzig – Technikum/Analytikum
Linnéstraße 3
04103 Leipzig

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
1 a) Eigenerklärung über den Eintrag in ein Berufs- oder Handelsregister nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Herkunftslandes (gern über beigefügten Vordruck des Auftraggebers).
1 b) Eigenerklärung des Bieters, dass er seiner gesetzlichen Verpflichtung zur Zahlung von Steuern und Abgaben sowie der Zahlung der Beiträge zur Sozialversicherung nachkommt (gern über beigefügten Vordruck des Auftraggebers).
2 a) Eigenerklärung gemäß § 123 GWB, dass kein Ausschlussgrund vorliegt (bitte über beigefügten Vordruck des Auftraggebers).
2 b) Eigenerklärung gemäß § 124 GWB, dass kein Ausschlussgrund vorliegt (bitte über beigefügten Vordruck des Auftraggebers).
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
1 c) Angabe der Gesamtumsatzzahlen des Unternehmens der letzten 3 Geschäftsjahre, jahresweise aufgestellt. (bitte über beigefügten Vordruck des Auftraggebers)
Technische und berufliche Fähigkeiten:
1 d) Referenzliste mit mindestens 3 Eintragungen über erbrachte vergleichbare Leistungen (spektroskopisches, abbildendes Ellipsometer zur optischen Charakterisierung mit vergleichbarer Konfiguration / Gesamtauftragswert) innerhalb der letzten 3 Jahre, mit folgenden Angaben:
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— Auftraggeber;
— Bezeichnung/Beschreibung des Leistungsgegenstandes;
— ca. Wert des Auftrages;
— Leistungszeitraum/ Leistungsdatum.
(Angabe Referenzen gern über beigefügten Vordruck des Auftraggebers).

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 23:59
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2020-09-30 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2020-08-10 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:00

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Universität Leipzig, Dezernat 3, Sachgebiet 33 Vergabestelle
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4Y9SDNJ3/documents 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Leipzig
Postanschrift: PF 10 13 64
Postort: Leipzig
Postleitzahl: 04013
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3419773800 📞
Fax: +49 3419771049 📠
Internetadresse: https://www.lds.sachsen.de/index.asp?ID=4421&art_param=363 🌏
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB muss eine Rüge innerhalb von 10 Tagen nach Erkennen des vermeintlichen Verstoßes gegenüber der Vergabestelle erfolgen. Wird einer Rüge durch die Vergabestelle nicht abgeholfen, so hat der Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung, dass der Rüge nicht abgeholfen wird, die Möglichkeit, bei der unter Ziff. VI.4.1) bezeichneten Stelle einen Nachprüfungsantrag einzureichen.
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Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Wie: Körper überprüfen
Quelle: OJS 2020/S 123-300987 (2020-06-25)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-12-17)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 322 245 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-12-17 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-12-22 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 249-620258
Verweist auf Bekanntmachung: 2020/S 123-300987
ABl. S-Ausgabe: 249
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4Y9SD7GN

Objekt
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Universität Leipzig - Technikum/Analytikum

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Bewertungskriterien gem. Leistungsverzeichnis
Qualitätskriterium (Gewichtung): 60
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Dienstleistung/Service und Garantieleistung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 20
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Bedienkomfort/Bedienerfreundlichkeit der Software
Kostenkriterium (Name): Das wirtschaftlichste Angebot hat somit das beste Preis-Leistungs-Verhältnis.
Kostenkriterium (Gewichtung): s.d.

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-08-18 📅
Name: Accurion GmbH
Postort: Göttingen
Land: Deutschland 🇩🇪
Göttingen 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 322 245 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2020/S 249-620258 (2020-12-17)