Tiefe Oxidätzkammer „Synapse“

IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

1. Synapse Prozesskammer für Tiefes Oxidätzen, zu installieren an einem vorhandenen fxP Versalis Transportmodul von Fa. SPTS an dem bereits 1x Rapier- und 1x APM-Kammer montiert sind;
2. Mindestanforderung an Kammer:
2.1. Installation in Reinraum Klasse 1,
2.2. Einsatzgebiet Tiefes Oxidätzen (low pressure + high density plasma) von 200 mm Wafer,
2.3. Hardware und Prozess muss vollständig mit state of the art Software gesteuert und in die bestehende Anlage und Anlagensteuerung integriert werden, ohne das bereits vorhandene Prozesse und Hardwarekomponenten davon beeinflusst werden,
2.4. für die gesamte Kammer und für das geänderte Gesamtsystem muss die CE-Konformität erklärt werden,
2.5. Kammer entspricht der aktuellen EG-Maschinenrichtlinie.
3. Kammerausstattung:
3.1. Planare ICP source,
3.2. Source Generator für RF,
3.3. Bias Generator für RF,
3.4. Matching unit für source RF/bias RF,
3.5. Temperatur gemanagte Maglev Turbopumpe,
3.6. beheizbares VAT pendulum valve,
3.7. Digitale MFC gesteuerte Gaslinien, Gase und MFC Größen noch zu definieren anhand der Prozessspezifikation,
3.8. Ceramic echuck mit He back side pressure,
3.9. Optisches Endpunktsystem für Prozesskontrolle,
3.10. Chiller passend zur Kammer, der die Prozessspezifikation garantiert.
4. Prozess:
4.1. Mindestanforderung Prozessspezifikation.
a) Allgemein:
Oxidätzen:
— Selektivität zum Resist > 5:1;
— Selektivität zu Si > 15:1;
— Oxidätzrate > 500 nm/min;
— Uniformity +/- 3 %.
Nitridätzen:
— Nitridätzrate > 200 nm/min;
— Oxid/Nitrid-Selektivität > 5:1;
— Nitrid/Oxid-Selektivität > 4:1.
b) Prozess:
— Ätzen von 20 Müm dicken Oxidschichten über Resist mit Stopp auf Si;
— Profilwinkel 84 bis 90Grad;
— space width > 10 Müm.
4.2. nach Installation der Kammer Nachweis eines vom IHP definierten Prozesses.
5. System allgemein:
5.1. Zusätzlich 12 Monate Garantie,
5.2. Installation und Inbetriebnahme.
6. Dokumente:
6.1. Facility Installation manual und FDS,
6.2. Maintenance manual,
6.3. Servicemanuals (u. a. Schaltpläne, Teileliste),
6.4. Sicherheitsdokumentation und Bedienerdokumentation,
6.5. OEM Dokumentation verbauter Teile,
6.6. User guide.
7. Training:
7.1. Operation and maintenance chamber training.
8. Weitere optionale Anforderungen:
8.1. verlängerte elektrische Kabel (20m),
8.2. 20 m Schlauch für chiller,
8.3. Verbrauchsmaterial kit,
8.4. Ersatzteil kit.
9. Lieferung DDP, CIP oder DAP nach Incoterms 2010 Wareneingang IHP.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-05-26. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-04-20.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2020-04-20 Auftragsbekanntmachung
2020-11-06 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2020-04-20)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Beschaffung
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Region: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: https://www.ihp-microelectronics.com/en/start.html 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYQ9/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYQ9 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschung und Entwicklung

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Tiefe Oxidätzkammer „Synapse“ IHP-2020-040
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Kurze Beschreibung:
“1. Synapse Prozesskammer für Tiefes Oxidätzen, zu installieren an einem vorhandenen fxP Versalis Transportmodul von Fa. SPTS an dem bereits 1x Rapier- und...”    Mehr anzeigen
Geschätzter Wert ohne MwSt: EUR 900 000 💰

1️⃣
Ort der Leistung: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)”
Beschreibung der Beschaffung:
“1. Synapse Prozesskammer für Tiefes Oxidätzen, zu installieren an einem vorhandenen fxP Versalis Transportmodul von Fa. SPTS an dem bereits 1x Rapier- und...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Gesamtwert ohne MwSt: EUR 900 000 💰
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 1

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“— Bescheinigung in Steuersachen: Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Referenzen: Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung: Für die ausgeschriebene Anlage gilt ein Richtpreis von 0.9 Mill. EUR.

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2020-05-26 12:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2020-07-24 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2020-05-26 12:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Ort): Frankfurt (Oder)

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name:
“Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten”
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331 / 866-1719 📞
Fax: +49 331 / 866-1652 📠
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Quelle: OJS 2020/S 079-185979 (2020-04-20)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-11-06)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: IHP GmbH
Nationale Registrierungsnummer: 2020/S 079-185979
Kontaktperson: S. Rohner
URL: www.ihp-microelectronics.com 🌏

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Synapse Process Module für Versalis fxP IHP-2020-040
Kurze Beschreibung:
“1. Synapse Prozesskammer für Tiefes Oxidätzen, zu installieren an einem vorhandenen fxP Versalis Transportmodul von Fa. SPTS an dem bereits 1 x Rapier- und...”    Mehr anzeigen
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 900 000 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“1. Synapse Prozesskammer für Tiefes Oxidätzen, zu installieren an einem vorhandenen fxP Versalis Transportmodul von Fa. SPTS an dem bereits 1 x Rapier- und...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Kostenkriterium (Name): Preis
Kostenkriterium (Gewichtung): 40 %
Kostenkriterium (Name): garantierte Prozessparameter laut Leistungsbeschreibung
Kostenkriterium (Gewichtung): 30 %
Kostenkriterium (Name): Integration in bestehendes mainframe

Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2020/S 079-185979

Auftragsvergabe

1️⃣
Vertragsnummer: 2200870
Titel: Synapse Process Module für Versalis fxP
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-06-22 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: SPTSTechnologies Limited
Postanschrift: Ringland Way, Newport
Postort: South Wales
Postleitzahl: NP182TA
Land: Vereinigte Staaten 🇺🇸
Region: us 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 824 768 💰
Quelle: OJS 2020/S 220-539904 (2020-11-06)