A1003 Erweiterung Koala Sputtertool

Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)

Erweiterung einer im Aufbau befindlichen Cluster Beschichtungsanlage mit einem zweiten Sputtermodul inkl. einer weiteren Schleuse inkl. Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-07-08. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-06-24.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Von Ardenne GmbH

Wer?

• Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) › Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften

Wo?

• Berlin › Berlin

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2021-06-24	Auftragsbekanntmachung
2021-09-22	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2021-06-24)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften
Kurze Beschreibung:

Erweiterung einer im Aufbau befindlichen Cluster Beschichtungsanlage mit einem zweiten Sputtermodul inkl. einer weiteren Schleuse inkl. Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme.

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Berlin 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)
Postanschrift: Hahn-Meitner-Platz 1
Postleitzahl: 14109
Postort: Berlin
Kontakt
Internetadresse: http://www.helmholtz-berlin.de 🌏
E-Mail: vergabe@helmholtz-berlin.de 📧
Telefon: +49 30 / 80621-2652 📞
Fax: +49 30 / 80621-2925 📠
URL der Dokumente: https://www.subreport.de/E51615414 🌏
URL der Teilnahme: https://www.subreport.de/E51615414 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-06-24 📅
Einreichungsfrist: 2021-07-08 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-06-29 📅
Datum des Beginns: 2021-08-30 📅
Datum des Endes: 2021-10-30 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 123-325293
ABl. S-Ausgabe: 123
Zusätzliche Informationen

Bitte registrieren Sie sich für Teilnahme an der elektronischen Ausschreibung kostenlos unter http://www.subreport.de/ und laden sich die Unterlagen für den Teilnahmewettbewerb unter der Nummer E51615414 herunter. Ihre Registrierung gewährleistet, dass Sie alle für den Teilnahmewettbewerb und die Ausschreibung relevanten Informationen, wie Antworten auf Bieterfragen und Änderungen bei den Fristen und Vergabeunterlagen, automatisch an Ihre dort eingetragene E-Mail-Adresse erhalten. Sofern Sie bereit sind, an der Ausschreibung teilzunehmen, erbitten wir dazu Ihren Teilnahmeantrag inelektronischer Form. Anmerkungen oder Technische Fragen senden Sie bitte ausschließlich über die Vergabeplattform unter Menüpunkt „Nachrichten (Bieterkommunikation)“ in Subreport Elvis Nach Auswertung. „Achtung !!! Nach Auswertung der Teilnahmeanträgeund und vorbehaltlich der Bewilligung der MIttel, erhalten alle Teilnehmer die Ihre Leistungsfähigkeit nachweisen konnten die Aufforderung zur Abgabe eines Angebots und die dafür nötigen Vergabeunterlagen nebst Leistungsverzeichnis.“

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Eine Cluster Beschichtungsanlage („die Anlage“) mit vier Beschichtungsmodulen zur automatischen Herstellung kompletter Perowskit-Solarzellen für Substrate bis zu einer Größe von max. 210 x 210 mm

(1) Ein zweites Sputtermodul inkl. einer weiteren Schleuse Benötigt wird ein horizontale Sputtermodul mit 2 Rohr-Magnetrons zum Abscheiden von Metalloxid Schichten, inkl. Medien- und Leistungsversorgung. Eine größtmögliche Flexibilität in den Prozessbedingungen sollte gegeben sein (Target-Substrat-Abstand, DC vs. RF Quelle, Magnetjoche Position & Stärke). Das Modul soll über ein Vakuum-Ventil (Schieber) an die Anlage angeschlossen werden. Eine weitere Schleuse zum Be- und Entladen von einzelnen Carriern bzw. Substraten soll am anderen Ende angeschlossen werden. Diese Erweiterung zu einer Sputterlinie mit dann insgesamt 4 Sputterquellen (Magnetrons) muss hardware- und softwareseitig komplett in die obige Anlage integriert werden. Der Betrieb muss entweder in Durchlauf durch beide Module („in line“) oder getrennt voneinander in beiden Modulen über die bestehende Anlagen-Software realisiert werden können.

(2) Temperier- und Analyse Kammer An einem existierenden freien Vakuum-Port der Anlage soll eine Vakuumkammer zum Heizen und zum Kühlen (2 Plätze) von Substraten sowie zum in situ vermessen von Proben über einen optischen Zugang installiert werden.

(3) Erweiterung der Software Die bestehende Bediensoftware soll so erweitert werden, dass die Möglichkeit besteht, ein automatisches Maskenhandling in den beiden Aufdampfkammern nachträglich zu ergänzen. D. h. die Software muss unterscheiden, ob Substrate oder Masken gehandelt werden.

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

12489 Berlin

Kelkuléstr. 5 (Koala Labor, 1. Etage)

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

— kurze Unternehmenspräsentation,

— Unterschriebene Eigenerklärung zu den Ausschlussgründen,

— Erklärung über den Gesamtumsatz des Unternehmens sowie den Umsatz bezüglich der besonderen Leistungsart, die Gegenstand der Vergabe ist, bezogen auf die Summe der letzten 3 Geschäftsjahre.

Möglicherweise geforderte Mindeststandards.

Mindeststandards: 2-facher Auftragswert EURO pro Jahr im Durchschnitt der letzten 3 Jahre
Technische und berufliche Fähigkeiten:

Es sind Referenzprojekten anzugeben, wo Sputter Systeme geliefert wurden, die den hier geforderten Anforderungen entsprechen, d. h. integrierbar sind in der bestehenden Clusteranlage am HZB.

Insbesondere müssen die Referenzen das Vorhandensein der folgenden Kenntnisse belegen:

— 3 Referenzen für vergleichbare Sputtermodule for F&E Arbeite, wie das hier beschriebene,

— 3 Referenzen die belegen, dass dieselbe Sputter-Plattform auch skaliert wurde für hohen Durchsatz (mind. 3-fach).

Mindeststandards:

— 3 Referenzen für vergleichbare Sputtermodule for F&E Arbeite, wie das hier beschriebene

— 3 Referenzen die belegen, dass dieselbe Sputter-Plattform auch skaliert wurde für hohen Durchsatz (mind. 3-fach)

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Mindestzahl der Bewerber: 1
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern:

Erfüllung der genannten Eignungskriterien zur wirtschaflichen und fachlichen Eignung

Beschleunigtes Verfahren: Maßnahme zur Beschleunigung investiver Maßnahmen wegen der COVID-19-Pandemie
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 23:45
Datum der Absendung der Aufforderungen: 2021-08-02 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2021-10-30 📅
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Qualität
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50 %
Preis (Gewichtung): 50 %

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Grossforschungseinrichtung
Kontakt
Dokumente URL: https://www.subreport.de/E51615414 🌏
Nationale Registrierungsnummer: DE3 BERLIN
Kontaktperson: https://www.subreport.de/E51615414
Land: Berlin 🏙️

Referenz
Zusätzliche Informationen

Ihre Registrierung gewährleistet, dass Sie alle für den Teilnahmewettbewerb und die Ausschreibung relevanten Informationen, wie Antworten auf Bieterfragen und Änderungen bei den Fristen und Vergabeunterlagen, automatisch an Ihre dort eingetragene E-Mail-Adresse erhalten.

Sofern Sie bereit sind, an der Ausschreibung teilzunehmen, erbitten wir dazu Ihren Teilnahmeantrag inelektronischer Form.

Anmerkungen oder Technische Fragen senden Sie bitte ausschließlich über die Vergabeplattform unter Menüpunkt „Nachrichten (Bieterkommunikation)“ in Subreport Elvis Nach Auswertung.

„Achtung !!! Nach Auswertung der Teilnahmeanträgeund und vorbehaltlich der Bewilligung der MIttel, erhalten alle Teilnehmer die Ihre Leistungsfähigkeit nachweisen konnten die Aufforderung zur Abgabe eines Angebots und die dafür nötigen Vergabeunterlagen nebst Leistungsverzeichnis.“

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Verstöße gegen Vergabebestimmungen sind gegenüber dem Auftraggeber innerhalb von 10 Kalendertagen zu rügen, bei Verstößen, die sich aus der Bekanntmachung oder den Vergabeunterlagen ergeben, bis spätestens zum Ablauf der Angebotsfrist. Teilt der Auftraggeber mit, dass der Rüge nicht abgeholfen wird, kann innerhalb von 15 Kalendertagen ein Nachprüfungsantrag bei der zuständigen Vergabekammer gestellt werden. (§160 GWB).

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Wie: Körper überprüfen
Quelle: OJS 2021/S 123-325293 (2021-06-24)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2021-09-22)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Erweiterung einer im Aufbau befindlichen Cluster Beschichtungsanlage mit einem zweiten Sputtermodul inkl. einer weiteren Schleuse inkl. Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme

Gesamtwert des Auftrags: 925 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Telefon: +49 30/80621-2652 📞
Fax: +49 30/80621-2925 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-09-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-09-27 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 187-486194
Verweist auf Bekanntmachung: 2021/S 123-325293
ABl. S-Ausgabe: 187

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Eine Cluster Beschichtungsanlage („die Anlage“) mit vier Beschichtungs-modulen zur automatischen Herstellung kompletter Perowskit-Solarzellen für Substrate bis zu einer Größe von max. 210x210 mm² befindet sich zurzeit beim Lieferanten in der Herstellung und wird voraussichtlich in Juli – August ausgeliefert und am HZB aufgebaut werden. Für diese Anlage soll nun bereits eine Erweiterung beauftragt werden. Die dann erweiterte Anlage muss in dem bestehenden Labor (Kekuléstr. 5, 1. OG) Platz finden. Die Bedienung aller ergänzten Komponenten muss in der Bediensoftware vollständig und umfassend integriert werden. Insbesondere muss die Anlagensicherheit und CE Konformität weiterhin garantiert werden. Die Erweiterung soll umfassen:

(1) Ein zweites Sputtermodul inkl. einer weiteren Schleuse Benötigt wird ein horizontale Sputtermodul mit zwei Rohr-Magnetrons zum Abscheiden von Metalloxid Schichten, inkl. Medien- und Leistungsversorgung. Eine größtmögliche Flexibilität in den Prozessbedingungen sollte gegeben sein (Target-Substrat-Abstand, DC vs. RF Quelle, Magnetjoche Position & Stärke). Das Modul soll über ein Vakuum-Ventil (Schieber) an die Anlage angeschlossen werden. Eine weitere Schleuse zum Be- und Entladen von einzelnen Carriern bzw. Substraten soll am anderen Ende angeschlossen werden. Diese Erweiterung zu einer Sputterlinie mit dann insgesamt 4 Sputterquellen (Magnetrons) muss hardware- und softwareseitig komplett in die obige Anlage integriert werden. Der Betrieb muss entweder in Durchlauf durch beide Module („in line“) oder getrennt voneinander in beiden Modulen über die bestehende Anlagen-Software realisiert werden können.

(3) Erweiterung der Software Die bestehende Bediensoftware soll so erweitert werden, dass die Möglichkeit besteht, ein automatisches Maskenhandling in den beiden Aufdampfkammern nachträglich zu ergänzen. D.h. die Software muss unterscheiden, ob Substrate oder Masken ge-handelt werden.

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 12489 Berlin Kelkuléstr. 5 (Koala Labor, 1. Etage)

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50%
Preis (Gewichtung): 50%

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2021-08-30 📅
Name: VON ARDENNE GmbH
Postort: Dresden
Land: Deutschland 🇩🇪
Sachsen 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 925 000 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2021/S 187-486194 (2021-09-22)

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