A1019 Integriertes Vakuum-Aufdampf- und Photoelektronenspektroskopie-System

Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)

Integriertes Vakuum-Aufdampf- und Photoelektronenspektroskopie-System inkl. Lieferung. Einbringung, Installation und Inbetriebnahme.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-07-07. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-06-23.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Specs GmbH

Wer?

• Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) › Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften

Wo?

• Berlin › Berlin

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2021-06-23	Auftragsbekanntmachung
2021-09-08	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2021-06-23)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften
Kurze Beschreibung:

Integriertes Vakuum-Aufdampf- und Photoelektronenspektroskopie-System inkl. Lieferung. Einbringung, Installation und Inbetriebnahme.

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Berlin 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)
Postanschrift: Hahn-Meitner-Platz 1
Postleitzahl: 14109
Postort: Berlin
Kontakt
Internetadresse: http://www.helmholtz-berlin.de 🌏
E-Mail: vergabe@helmholtz-berlin.dee 📧
Telefon: +49 30 / 80621-2652 📞
Fax: +49 30 / 80621-2925 📠
URL der Dokumente: https://www.subreport.de/E95712297 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-06-23 📅
Einreichungsfrist: 2021-07-07 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-06-28 📅
Datum des Beginns: 2021-08-30 📅
Datum des Endes: 2021-12-06 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 122-322925
ABl. S-Ausgabe: 122
Zusätzliche Informationen

Bitte registrieren Sie sich für Teilnahme an der elektronischen Ausschreibung kostenlos unter http://www.subreport.de/ und laden sich die Unterlagen für den Teilnahmewettbewerb unter der Nummer E95712297 herunter. Ihre Registrierung gewährleistet, dass Sie alle für den Teilnahmewettbewerb und die AusschreibungrelevantenInformationen, wie Antworten auf Bieterfragen und Änderungen bei den Fristen undVergabeunterlagen,automatisch an Ihre dort eingetragene E-Mail-Adresse erhalten. Sofern Sie bereit sind, an der Ausschreibung teilzunehmen, erbitten wir dazu IhrenTeilnahmeantrag inelektronischer Form. Anmerkungen oder Technische Fragen senden Sie bitte ausschließlich über die Vergabeplattformunter Menüpunkt „Nachrichten (Bieterkommunikation)“ in Subreport Elvis Nach Auswertung. Achtung! Nach Auswertung der Teilnahmeanträgeund und vorbehaltlich der Bewilligung der MIttel, erhalten alle Teilnehmer die Ihre Leistungsfähigkeit nachweisen konnten die Aufforderung zur Abgabe eines Angebots und die dafür nötigen Vergabeunterlagen nebst Leistungsverzeichnis.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Am HZB wird seit 2012 im Bereich der Perowskit-Photovoltaik geforscht. Ein starker Fokus liegt auf der erfolgreichen Entwicklung von Tandemsolarzellen auf Basis von Perowskiten und Silizium. Hier konnte kürzlich mit 29,2 % die 2-thöchste zertifizierte Tandem-Solarzelleneffizienz weltweit gezeigt werden. Weitere Effizienz-Steigerungen erfordern ein verbessertes Verständnis u. a. der Stöchiometrie und elektronischen Zustandsdichte der in solchen Zellen eingesetzten Halbleiter- und TCO-Schichten sowie ihrer Grenzflächen.

Vor diesem Hintergrund soll im Rahmen des Investitions-Vorhabens ein integriertes System zur Abscheidung und Analytik von Halbleiter-Dünnschichten auf Zell-relevanten Flächen von 2,5 x 2,5 cm

Benötigt wird eine kompakte HV/UHV-Clusteranlage, bestehend aus einer Schleusenkammer (Load Lock) mit Inertgas-(N2-)Glovebox, einer PVD-Prozesskammer, einer Photoelektronenspektroskopie-Analytikkammer und einem Transfersystem zwischen den Kammern, an dem mindestens ein weiterer Port für zukünftige Erweiterungen zur Verfügung stehen soll.

Die Anlage soll Platz für mind. 4 Proben der Größe 2,54 x 2,54 mm

Kernstück und ein Alleinstellungsmerkmal der Anlage wird die Photoelektronenspektroskopie mit variabler Photonenenergie im Nah-UV-Bereich (constant final state yield Spektroskopie, CFSYS); die hierfür genutzte Beleuchtungsquelle ist eine HZB-Eigenentwicklung. Hieraus ergeben sich einige besondere Anforderungen (Details — „besondere fachliche Kriterien“): Zur Ein- / Auskopplung der Nah-UV-Lichtquelle sind an der Kammer 2 einander gegenüberliegende Ports ISO CF 40 im „magic angle“ relativ zur Probe vorzusehen. Der Energieanalysator muss eine sehr niedrige Dunkelzählrate (~10 counts/s über alle Kanäle eines Multichannel-Detektors) und hohe Transmission sowie Linearität für niederenergetische Photoelektronen (0-20 eV) erreichen. Die Mess-Software muss mit offenen, sehr gut dokumentierten Programmier-Schnittstellen (APIs) zur externen Ansteuerung mittels Labview ausgestattet sein, so dass die am HZB entwickelte, bereits bestehende CFSYS-Mess-Software mit vertretbarem Aufwand portiert werden kann.

Die PVD-Kammer dient zum thermischen Aufdampfen und Sputtern von organischen und anorganischen Kontaktschichten (HTL und ETL; Metalle), aus vier oder mehr Quellen. Dabei ist sicherzustellen, dass Co-Verdampfungsprozesse aus bis zu 2 Einzel-Verdampferprozessen kombiniert werden können, ohne dass es zu einer gegenseitigen Beeinflussung der Einzelquellen-bezogenen Depositionsrate und deren Ratenmessung kommt. Material- & thermisches Übersprechen (cross-talk) ist zu minimieren. Für die Be- und Entladung der Quellen mit z. T. Sauerstoff- und feuchtigkeitsempfindlichen organischen Materialien ist ein geeignetes Handling-Konzept vorzulegen.

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Helmholtz Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, Geb. 12.8

Kekuléstraße 5

12489 Berlin

Labor

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

— kurze Unternehmenspräsentation,

— Unterschriebene Eigenerklärung zu den Ausschlussgründen,

— Erklärung über den Gesamtumsatz des Unternehmens sowie den Umsatz bezüglich der besonderen Leistungsart, die Gegenstand der Vergabe ist, bezogen auf die Summe der letzten 3 Geschäftsjahre.

Mindeststandards:

Mindestumsatz: 2-facher Auftragswert EUR pro Jahr im Durchschnitt der letzten 3 Jahre.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

Zum Nachweis der fachlichen Kompetenz muss der Bieter mindestens 3 Referenz-Projekte des Unternehmens für ähnliche Anlagen mit fachlichem Zusammenhang zur ausgeschriebenen Leistung benennen. (bestehend aus mind.: XPS/UPS/IPES-Analytik-Kammer; PVD-Kammer zur Präparation / Schichtdeposition im HV oder UHV für Anwendungen wie z. B. organische Halbleiter).

— Es muss die Möglichkeit zur Kontaktaufnahme mit Nutzern solcher Anlagen bestehen.

Im fachlichen Zusammenhang im Sinne der Ausschreibung sind Referenzen die die folgenden Punkte erfüllen:

Gesamtsystem:

— für mind. 4 Proben der Größe 2,54 x 2,54 mm

— Schleuse zw. Glovebox und mit eigenem Pumpsystem für schnelles Einschleusen, bis zu 4 Proben in weniger als 10 Minuten,

— Druckmanagement einschließlich Druck-Anzeige, Ventilsteuerung und Load-Lock-Entlüftung vollständig in die Messsoftware integriert,

— Alle Funktionen zur Vakuumsteuerung zusätzlich auch außerhalb der Messsoftware leicht zugänglich (z. B. Touchscreen).

Analytik-Kammer:

— Ausgelegt für XPS-, UPS-, AES- Messungen, vorbereitet für CFSYS-Messungen (HZB-Eigenentwicklung – benötigt 2 einander gegenüberliegende Ports ISO CF 40 im „magic angle“ relativ zur Probe),

— 4-Achsen-Probenmanipulator mit x/y/z-Bewegung, Kippen und Probenheiz- / Kühlmöglichkeit. Temperaturbereich von -100

— Kippen, Heizen, Kühlen und Anlegen der elektrischen Vorspannung auf demselben Probentisch, kein Austausch erforderlich,

— Leistungsstarke monochromatische Röntgenquelle mit Doppelanoden (Al/Ag), mehr als 10E11 Photonen pro Sekunde, großer Spotmodus bis zu 4 mm

— Scanning-Ionenkanone für Sputter-Tiefenprofilierung, Energiebereich 200 - 5 000 eV, Scanbereich 10 x 10 mm

— Hochleistungs-UV-Quelle für UPS, zur Verwendung mit Gasen wie H, He, Ne, Ar, Kr und Xe. Maximale Betriebsspannung / Strom: 1 500 V / 125 mA,

— Laserpointer markiert eindeutig den Messfleck durch die optische Achse des halbkugelförmigen Analysators,

— Vakuumsystem für Analysenkammerdruck im Bereich von 10 E-10 mbar,

— Ladungskompensation durch fernsteuerbare Elektronenflutkanone,

— In-Vakuum-Probenlagerung in der Analysenkammer.

Energieanalysator (in die Analytik-Kammer integriert):

— 1 D-Multichannel-Detektor, mind. 500 Kanäle,

— Detektor auswechselbar gegen 2D-Detektor (CMOS / DLD, verfügbar vom gleichen Anbieter),

— „snapshot“-Fähigkeit für 10eV breite UPS-Spektren mit mind. 500 Kanälen,

— sehr niedrige Dunkelzählrate (~10 counts/s über alle Kanäle),

— max. Zählrate >12Mcounts/s,

— Passenergie mind. 1 eV – 500 eV,

— max. Energieauflösung besser als 2 m eV,

— bipolar, sowohl negativ als auch positiv geladene Teilchen detektierbar,

— max. kinetische Energie mind. 3 500 eV,

— Linsen-Modi für hohe Transmission / winkelaufgelöste Messungen / ortsaufgelöste Messungen,

— „Zoom“-Linsenmodus für Sichtfeld (field of view) bis hinunter zu 100 μm,

— Arbeitsabstand 40 mm.

Mess-Software:

— Volle Automatisierung aller analytischen Funktionen,

— Die folgenden Funktionen können von einer externen Software über gut dokumentierte APIs und LabView-VIs, die vom Hersteller bereitgestellt werden, eingestellt / gelesen / gesteuert werden:

— 1) Analysator: alle wichtigen softwaregesteuerten Funktionen (elektrostatische Linsen, Analysator- & Detektoreinstellungen; Parameter, die sich auf die Spektrenaufnahme beziehen, wie Energiebereiche, Schrittweite, ...)

— 2) Die XPS-Quelle kann ein- und ausgeschaltet werden, Anoden können umgeschaltet und die Leistung kann eingestellt werden,

— 3) Es können Mess-„Rezepte“/„Regionen“ definiert und getriggert werden, und die Messdaten (Spektren) können ausgelesen und über gut dokumentierte APIs und LabView-VIs des Herstellers an eine externe Steuersoftware (HZB-Eigenentwicklung) übergeben werden,

— 4) Probenmanipulator: x/y/z-Bewegung, Kippen und Probenheizung / -kühlung.

PVD-Kammer:

— Basisdruck < 5,0 E-08 mbar,

— Abpumpzeit nach Prozess bis < 1,0 E-07 mbar: < 15 min,

— Beheizte Substrataufnahme für die oben definierten Substrate, Tmax 600

— Abschirmbleche an den inneren Wänden zum Austausch, mind. 2 Sätze werden mitgeliefert,

— 4 unabhängige thermische Verdampfer-Quellen, wobei 2 beliebige Quellen zur Co-Verdampfung nutzbar sind:

— 2 x Tiegel-Beschichtungsquelle mit erweitertem Temperaturbereich (mind. 50

— Hierzu als Teil des Vakuumsystems: Regelbare Saugleistung der Pumpe über Butterfly-Ventil, automatische Druckregelung im Bereich 1-20 mbar, mindestens jedoch bis 12 mbar. Regelgenauigkeit besser als +/- 5 %,

— Gaszuführung: Massenfluss-Controller (MFC) für Ar, O

— den Quellen individuell zugeordnete Ratensensoren sowie ein Ratensensor in Substratnähe,

— Substratshutter, individuell steuerbare Quellenshutter,

— Schichtdickenhomogenität: Besser 3,0 % für jede einzelne Quelle,

— Die Substrattemperatur darf im Verdampferbetrieb ohne Heizung unter maximal anzunehmender, thermischer Last (2 Quellen mit maximaler Betriebstemperatur und geöffneten Shuttern) 80

— Restgas-Analyse mittels QMS,

— 2 Blindstutzen KF 40 an noch zu spezifizierenden Positionen,

— Sichtfenster mit Beschichtungsblende und integrierte Kammerbeleuchtung.

UHV-Vakuum-Transfer-System:

— Zum Transfer zwischen PVD-, Analytik- und Schleusenkammer,

— Basisdruck < 1,0 E-08 mbar,

— Integriert in die Automatisierung des Vakuumsystems.

Glovebox:

— zum Beladen der Schleusenkammer,

— N 2-Glovebox mit 2 Handschuhen und O

Mindeststandards: Mind. 3 Referenzen führ ähnliche Anlagen.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Voraussichtliche Anzahl von Bewerbern: 3
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern:

Erfüllung der genannten Eignungskriterien zur wirtschaflichen und fachlichen Eignung.

Beschleunigtes Verfahren: Maßnahme zur Beschleunigung investiver Maßnahmen wegen der Covid-19-Pandemie.
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 23:45
Datum der Absendung der Aufforderungen: 2021-08-02 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2021-10-30 📅
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Qualität
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50 %
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Service
Qualitätskriterium (Gewichtung): 20 %
Preis (Gewichtung): 30 %

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Nationale Registrierungsnummer: ohne
DE3 BERLIN
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Grossforschungseinrichtung
Kontakt
Dokumente URL: https://www.subreport.de/E95712297 🌏
Kontaktperson: https://www.subreport.de/E95712297
E-Mail: vergabe@helmholtz-berlin.de 📧
Land: Berlin 🏙️

Referenz
Zusätzliche Informationen

Ihre Registrierung gewährleistet, dass Sie alle für den Teilnahmewettbewerb und die AusschreibungrelevantenInformationen, wie Antworten auf Bieterfragen und Änderungen bei den Fristen undVergabeunterlagen,automatisch an Ihre dort eingetragene E-Mail-Adresse erhalten.

Sofern Sie bereit sind, an der Ausschreibung teilzunehmen, erbitten wir dazu IhrenTeilnahmeantrag inelektronischer Form.

Anmerkungen oder Technische Fragen senden Sie bitte ausschließlich über die Vergabeplattformunter Menüpunkt „Nachrichten (Bieterkommunikation)“ in Subreport Elvis Nach Auswertung.

Achtung! Nach Auswertung der Teilnahmeanträgeund und vorbehaltlich der Bewilligung der MIttel, erhalten alle Teilnehmer die Ihre Leistungsfähigkeit nachweisen konnten die Aufforderung zur Abgabe eines Angebots und die dafür nötigen Vergabeunterlagen nebst Leistungsverzeichnis.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Verstöße gegen Vergabebestimmungen sind gegenüber dem Auftraggeber innerhalb von 10 Kalendertagen zu rügen, bei Verstößen, die sich aus der Bekanntmachung oder den Vergabeunterlagen ergeben, bis spätestens zum Ablauf der Angebotsfrist. Teilt der Auftraggeber mit, dass der Rüge nicht abgeholfen wird, kann innerhalb von 15 Kalendertagen ein Nachprüfungsantrag bei der zuständigen Vergabekammer gestellt werden. (§ 160 GWB).

Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Wie: Körper überprüfen
Quelle: OJS 2021/S 122-322925 (2021-06-23)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2021-09-08)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Integriertes Vakuum-Aufdampf- und Photoelektronenspektroskopie-System inkl. Lieferung. Einbringung, Installation und Inbetriebnahme

Gesamtwert des Auftrags: 1 352 906 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Telefon: +49 30/80621-2652 📞
Fax: +49 30/80621-2925 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-09-08 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-09-13 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 177-461081
Verweist auf Bekanntmachung: 2021/S 122-322925
ABl. S-Ausgabe: 177

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Am HZB wird seit 2012 im Bereich der Perowskit-Photovoltaik geforscht. Ein starker Fokus liegt auf der erfolgreichen Entwicklung von Tandemsolarzellen auf Basis von Perowskiten und Silizium. Hier konnte kürzlich mit 29.2 % die zweithöchste zertifizierte Tandem-Solarzelleneffizienz weltweit gezeigt werden. Weitere Effizienz-Steigerungen erfordern ein verbessertes Verständnis u.a. der Stöchiometrie und elektronischen Zustandsdichte der in solchen Zellen eingesetzten Halbleiter- und TCO-Schichten sowie ihrer Grenzflächen.

Vor diesem Hintergrund soll im Rahmen des Investitions-Vorhabens ein integriertes System zur Abscheidung und Analytik von Halbleiter-Dünnschichten auf Zell-relevanten Flächen von 2.5x2.5cm² (1x1“) beschafft werden.

Die Anlage soll Platz für mind. 4 Proben der Größe 2.54x2.54mm² (1x1“) – typ. Glassubstrate von 1-4mm Dicke, aber auch Silizium-Wafer mit typ. Dicke 150-250µm – bieten. In der Analytik- bzw. PVD-Kammer sollen XPS-, UPS-, IPES- und CFSYS-Messungen bzw. Depositionen mittels therm. Verdampfen und Sputtern automatisiert („Rezept-gesteuert“) durchgeführt werden. Hierfür sind einfach zu bedienende integrierte Steuer- bzw. Mess-Programme notwendig.

Kernstück und ein Alleinstellungsmerkmal der Anlage wird die Photoelektronenspektroskopie mit variabler Photonenenergie im Nah-UV-Bereich (constant final state yield Spektroskopie, CFSYS); die hierfür genutzte Beleuchtungsquelle ist eine HZB-Eigenentwicklung. Hieraus ergeben sich einige besondere Anforderungen (Details  „besondere fachliche Kriterien“): Zur Ein- /Auskopplung der Nah-UV-Lichtquelle sind an der Kammer zwei einander gegenüberliegende Ports ISO CF 40 im „magic angle“ relativ zur Probe vorzusehen. Der Energieanalysator muss eine sehr niedrige Dunkelzählrate (~10 counts/s über alle Kanäle eines Multichannel-Detektors) und hohe Transmission sowie Linearität für niederenergetische Photoelektronen (0-20eV) erreichen. Die Mess-Software muss mit offenen, sehr gut dokumentierten Programmier-Schnittstellen (APIs) zur externen Ansteuerung mittels Labview ausgestattet sein, so dass die am HZB entwickelte, bereits bestehende CFSYS-Mess-Software mit vertretbarem Aufwand portiert werden kann.

Die PVD-Kammer dient zum thermischen Aufdampfen und Sputtern von organischen und anorganischen Kontaktschichten (HTL und ETL; Metalle), aus vier oder mehr Quellen. Dabei ist sicherzustellen, dass Co-Verdampfungsprozesse aus bis zu zwei Einzel-Verdampferprozessen kombiniert werden können, ohne dass es zu einer gegenseitigen Beeinflussung der Einzelquellen-bezogenen Depositionsrate und deren Ratenmessung kommt. Material- & thermisches Übersprechen (cross-talk) ist zu minimieren. Für die Be- und Entladung der Quellen mit z.T. Sauerstoff- und feuchtigkeitsempfindlichen organischen Materialien ist ein geeignetes Handling-Konzept vorzulegen.

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Helmholtz Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH, Geb. 12.8, Kekuléstraße 5, 12489 Berlin, Labor

Verfahren
Beschleunigtes Verfahren: Maßnahme zur Beschleunigung investiver Maßnahmen wegen der COVID-19-Pandemie
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50%
20%
Preis (Gewichtung): 30%

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2021-08-30 📅
Name: Specs GmbH
Postort: Berlin
Land: Deutschland 🇩🇪
Berlin 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 1 352 906 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Quelle: OJS 2021/S 177-461081 (2021-09-08)

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