Beschreibung der Beschaffung
Im Rahmen des KOALA-Projektes wird im benachbarten Labor ein Beschichtungstool zur Präparation von Perowskit-Tandem-Solarzellen installiert. Hierfür sollen industrierelevante Substrate der Größe M 6 (166 x 166 mm) und größer verwendet werden. Zur Vorbereitung der verwendeten Substrate auf den Depositionsprozess ist eine nasschemische Behandlung notwendig. Die zu beschaffende Nassbank soll die, für die durchzuführenden nasschemischen Prozesse notwendigen Einrichtungen enthalten, und so die Substratvorbereitung in unmittelbarer Nähe des Beschichtungstools und eine möglichst zeitnahe Weiterprozessierung der Substrate im Anschluss an die Vorbehandlung ermöglichen. Die Aufstellung erfolgt in einem Reinraum ISO 7.
Der zu vergebende Auftrag enthält folgende Leistungen:
1. Rückbau und Entsorgung der derzeit vorhandenen Nassbank,
2. Lieferung einer Laminarflow-Nassbank aus PP mit motorisierten Frontschieben, Abmessungen Breite: 1 800 mm nutzbare Tiefe: 850 mm Gesamttiefe: 1 320 mm Arbeitshöhe: 950 mm Gesamthöhe: 2 500 mm,
3. Nassbank freistehend im Raum, Medienversorgung über die Rückseite, Elektroanschluss über Fussboden,
4. Versorgung der Arbeitsflächen mit Luft aus Laminarfloweinheiten Qualität ISO 6,
5. Integration von Bedien- und Anzeigeelemente in die Frontblende unterhalb der Arbeitsplatte,
6. Integration von je 2 DI-Wasser- und N2-Pistolen in die Arbeitsflächen,
7. Ablageregal für Laborutensilien an Rückwand des Arbeitsbereiches,
8. perforierte Arbeitsplatten mit Untertischablauf und -Absaugung,
9. Beleuchtungselemente im Arbeitsraum,
10. abgesaugte Unterschränke für Lagerung von Gefahrstoffen,
11. Lieferung und Einbau folgender Nassbankkomponenten:
a) Becken zur Reinigung von Glassubstraten in Reinigungslösungen z.
B. Mucasol (1 St., 250 x 250 x 250 mm, PFA/PTFE, beheizbar bis 100 C, Sammelbehälter zur Entsorgung der Prozesslösung),
b) Ultraschallbad (1 St., 250 x 250 x 250 mm, Ausführung als Überlaufspüler, temperierbar bis 80 C, Leitwertmessung) c) Quick Dump Rinser (1 St., 250 x 250 x 250 mm, Leitwertmessung),
d) HF-Becken (1 St., 250 x 250 x 250 mm, PVDF, HF bis 5 %, Sammelbehälter zur Entsorgung der Prozesslösung) e) IR-Trockner (1 St., 250 x 250 x 250 mm, N2-Düsen, Tmax 200 C),
f) Heizplatte (1 St., 300 x 300 mm, bis 300 C) 12. Einbau eines vorhandenen Spin-Prozessors Der bereits vorhandene, aus einer anderen Nassbank ausgebaute Spinprozessor der Fa. SPS soll in die zu liefernde Nassbank integriert werden. Hierfür sollen neben dem Gerät selbst, aus Kostengründen, alle vorhandenen und nutzbaren mechanischen und elektronischen Komponenten wie Bedienpanel, Vorsteuer- und Membranventile, Sensoren, Ver- und Entsorgungsleitungen, Pumpen, Ver- und Entsorgungstanks für die zu verwendende Flusssäure (1 – 5 %), etc. sowie die vorhandene, von der Fa. Arias gelieferte Steuersoftware übernommen und in das Gesamtsystem der neuen Nassbank, inklusive Sicherheitssystem integriert werden.
Außerdem sind die Anschlüsse der für den Betrieb notwendigen Medien Stickstoff, Reinstwasser, Vakuum vorzunehmen.
Beachtung der Eigentumsrechte der Firma arias an Konstruktion und Software 14. Sicherheitseinrichtungen:
Entsorgungsbehälter mit Füllstand- und Positionsüberwachung, inklusive automatischer Verriegelungs- / Abschaltfunktion für Füllstand und Medientemperatur, Positionierung der Behälter auf der Rückseite der Nassbank in Sicherheitswanne oder im Unterschrank, Leckageüberwachung und Zwangsentlüftung,
Passwortregelungen mit 3 verschiedenen Berechtigungsstufen (Bediener, Administrator, Service) zum Schutz vor Fehlbedienung, alle Ventile Fail-Safe-Closed, Überwachung der Abluftmenge, Alarm und Nothalt aller Prozesse im Falle von Abluftstörungen, Leckageüberwachung mit Alarm und Nothalt im Leckagefall,
Nothalt: Stoppen aktiven Prozesse (Heizung aus, Pumpen aus, schließen aller Ventile, Spinprozessor-Prozesse stoppen) 15. Lieferung und Einbringung der Nassbank an den Aufstellungsort im Reinraum 16. Anschluss der Nassbank an die vom Auftraggeber bereitgestellten, bauseits vorhandenen Medienanschlüsse 17. Bereitstellung Dokumentation (Gefährdungsanalyse der Anlage, Aufbau der Anlage, Dokumentation der verwendeten Materialien Handbücher der Komponenten und der Software, Stromlaufplan und Kabelplan, Liste aller Ersatz- und Verschleißteile incl. Typenbezeichnung und Hersteller, Wartungsplan incl. Prozeduren,
Bedienungsanleitung, CE-Konformitätserklärung.