Clustertool für Strukturierung von III/V Halbleiter

IHP GmbH — Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

200 mm Wafer-8 port Mainframe mit integriertem cooldown Modul ausgestattet mit:
a) 1 x Trockenätzkammer für Strukturierung von III/V-Halbleitermaterialien (siehe Punkt 3),
b) 1 x Trockenätzkammer für Oxid / Nitrid (siehe Punkt 4),
c) 1 x Trockenätzkammer für Metallschichten (Hauptanwendung Ti/TiN/Al; sihe Punkkt 5),
d) 1 x Stripkammer für Entfernung von Photolack (siehe Punkt 6).

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-08-06. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-07-06.

Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2021-07-06 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2021-07-06)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: IHP GmbH — Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Beschaffung
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Region: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: https://www.ihp-microelectronics.com/en/start.html 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYVX/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYVX 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschung und Entwicklung

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Clustertool für Strukturierung von III/V Halbleiter IHP-2021-058
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Kurze Beschreibung:
“200 mm Wafer-8 port Mainframe mit integriertem cooldown Modul ausgestattet mit: a) 1 x Trockenätzkammer für Strukturierung von III/V-Halbleitermaterialien...”    Mehr anzeigen
Geschätzter Wert ohne MwSt: EUR 3 200 000 💰

1️⃣
Ort der Leistung: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“IHP GmbH — Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)”
Beschreibung der Beschaffung:
“200 mm Wafer-8 port Mainframe mit integriertem cooldown Modul ausgestattet mit: a) 1 x Trockenätzkammer für Strukturierung von III/V-Halbleitermaterialien...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Gesamtwert ohne MwSt: EUR 3 200 000 💰
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 1

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“— Bescheinigung in Steuersachen. Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Referenzen: Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Die Angebote dürfen netto den Richtpreis von 3 200 000,00 EUR netto nicht überschreiten. Alle Angebote die über dem Preis liegen werden ausgeschlossen.”

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2021-08-06 12:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2021-10-05 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2021-08-06 12:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Ort): Frankfurt (Oder)

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name:
“Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten”
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331 / 866-1719 📞
Fax: +49 331 / 866-1652 📠
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name:
“Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten”
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331 / 866-1719 📞
Fax: +49 331 / 866-1652 📠
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten”
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331 / 866-1719 📞
Fax: +49 331 / 866-1652 📠
Quelle: OJS 2021/S 131-345623 (2021-07-06)