Clustertool für Strukturierung von III/V Halbleiter

IHP GmbH — Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

200 mm Wafer-8 port Mainframe mit integriertem cooldown Modul ausgestattet mit:
a) 1 x Trockenätzkammer für Strukturierung von III/V-Halbleitermaterialien (siehe Punkt 3),
b) 1 x Trockenätzkammer für Oxid / Nitrid (siehe Punkt 4),
c) 1 x Trockenätzkammer für Metallschichten (Hauptanwendung Ti/TiN/Al; sihe Punkkt 5),
d) 1 x Stripkammer für Entfernung von Photolack (siehe Punkt 6).

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-08-06. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-07-06.

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2021-07-06 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2021-07-06)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: IHP-2021-058
Kurze Beschreibung:
200 mm Wafer-8 port Mainframe mit integriertem cooldown Modul ausgestattet mit: a) 1 x Trockenätzkammer für Strukturierung von III/V-Halbleitermaterialien (siehe Punkt 3), b) 1 x Trockenätzkammer für Oxid / Nitrid (siehe Punkt 4), c) 1 x Trockenätzkammer für Metallschichten (Hauptanwendung Ti/TiN/Al; sihe Punkkt 5), d) 1 x Stripkammer für Entfernung von Photolack (siehe Punkt 6).
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH — Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Postort: Frankfurt (Oder)
Kontakt
Internetadresse: https://www.ihp-microelectronics.com/en/start.html 🌏
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Telefon: +49 335-5625-359 📞
Fax: +49 335-5625-25359 📠
URL der Dokumente: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYVX/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYVX 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-07-06 📅
Einreichungsfrist: 2021-08-06 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-07-09 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 131-345623
ABl. S-Ausgabe: 131
Zusätzliche Informationen
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen. Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden. Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben. Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist. Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden. Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYYVX.
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Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
200 mm Wafer-8 port Mainframe mit integriertem cooldown Modul ausgestattet mit:
a) 1 x Trockenätzkammer für Strukturierung von III/V-Halbleitermaterialien (siehe Punkt 3),
b) 1 x Trockenätzkammer für Oxid / Nitrid (siehe Punkt 4),
c) 1 x Trockenätzkammer für Metallschichten (Hauptanwendung Ti/TiN/Al; sihe Punkkt 5),
d) 1 x Stripkammer für Entfernung von Photolack (siehe Punkt 6).
Geschätzter Gesamtwert: 3 200 000 EUR 💰
Geschätzter Wert ohne MwSt: 3 200 000 EUR 💰
Dauer: 1 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
IHP GmbH — Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Im Technologiepark 25
15236 Frankfurt (Oder)

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
— Bescheinigung in Steuersachen.
Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.
Technische und berufliche Fähigkeiten:
Referenzen:
Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.
Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:
— Referenzgeber,
— Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer,
— Zeitraum Beginn / Ende der Ausführung,
— Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs.
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
Die Angebote dürfen netto den Richtpreis von 3 200 000,00 EUR netto nicht überschreiten. Alle Angebote die über dem Preis liegen werden ausgeschlossen.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2021-10-05 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2021-08-06 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00
Ort des Eröffnungstermins: Frankfurt (Oder)

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschung und Entwicklung
Kontakt
Kontaktperson: Beschaffung
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYVX/documents 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg
Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen.
Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden.
Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben.
Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist.
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Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden.
Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYYVX.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331 / 866-1719 📞
Fax: +49 331 / 866-1652 📠
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Wie: Körper überprüfen
Quelle: OJS 2021/S 131-345623 (2021-07-06)
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Region:
Deutschland Brandenburg Brandenburg Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt