Fraunhofer IPMS – Ellipsometer

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Die folgende Spezifikation beschreibt die Anforderungen eines Ellipsometrischen Schichtdicken Messgeräts für den Inline Betrieb im Reinraum. Es sollen Wafergrößen von 300 mm und optional 200 mm bedient werden. Insbesondere entsteht sowohl eine technische Redundanz und die Möglichkeit zukünftige Anforderungen an diese Messmethode mittels DBS / SE / SWE zuverlässig zu Messen.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-02-26. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-02-01.

Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2021-02-01 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2021-02-01)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe”
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
Teilnahme-URL: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschungsgesellschaft e. V.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Fraunhofer IPMS – Ellipsometer E_848_219902 ChrPat-bla
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Kurze Beschreibung:
“Die folgende Spezifikation beschreibt die Anforderungen eines Ellipsometrischen Schichtdicken Messgeräts für den Inline Betrieb im Reinraum. Es sollen...”    Mehr anzeigen

1️⃣
Ort der Leistung: Dresden 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Fraunhofer IPMS 01109 Dresden
Beschreibung der Beschaffung:
“Die folgende Spezifikation beschreibt die Anforderungen eines Ellipsometrischen Schichtdicken Messgeräts für den Inline Betrieb im Reinraum. Es sollen...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 7
Informationen über Optionen
Optionen
Beschreibung der Optionen:
“— Flatness Measurement Sytem, — Second 300 mm Loadport, — 200 mm Wafer Size Funtionality.”

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1. Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre, 2. Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124 des Gesetzes gegen...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1. Firmenprofil, 2. Referenz von vergleichbaren Projekten, nicht älter als 3 Jahre (Kurzbeschreibung Gerät, Kundennennung). „Achtung“: Sollten Sie aus...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2021-02-26 09:30 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2021-06-30 📅

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”    Mehr anzeigen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2021/S 025-058478 (2021-02-01)