Die folgende Spezifikation beschreibt die Anforderungen eines Ellipsometrischen Schichtdicken Messgeräts für den Inline Betrieb im Reinraum. Es sollen Wafergrößen von 300 mm und optional 200 mm bedient werden. Insbesondere entsteht sowohl eine technische Redundanz und die Möglichkeit zukünftige Anforderungen an diese Messmethode mittels DBS / SE / SWE zuverlässig zu Messen.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-02-26.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-02-01.
Auftragsbekanntmachung (2021-02-01) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_848_219902 ChrPat-bla
Kurze Beschreibung:
“Die folgende Spezifikation beschreibt die Anforderungen eines Ellipsometrischen Schichtdicken Messgeräts für den Inline Betrieb im Reinraum. Es sollen...”
Kurze Beschreibung
Die folgende Spezifikation beschreibt die Anforderungen eines Ellipsometrischen Schichtdicken Messgeräts für den Inline Betrieb im Reinraum. Es sollen Wafergrößen von 300 mm und optional 200 mm bedient werden. Insbesondere entsteht sowohl eine technische Redundanz und die Möglichkeit zukünftige Anforderungen an diese Messmethode mittels DBS / SE / SWE zuverlässig zu Messen.
Mehr anzeigen Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦 Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de/🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de/🌏
“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe...”
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe (www.deutsche-evergabe.de) für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung. Bitte beachten Sie, dass für Teilnahmeanträge, Angebotsabgaben und Bieterfragen eine Registrierung notwendig ist. Wir empfehlen daher eine frühzeitige Registrierung auch um evtl. Bieterinformationen zu erhalten; ansonsten tragen Sie das Risiko eines evtl. Angebotsausschlusses,
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Quelle: OJS 2021/S 025-058478 (2021-02-01)