IMS Chips — Europaweite Vergabe einer Elektronenstrahlbelichtungsanlage

Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Stiftung des bürgerlichen Rechts

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung einer Elektronenstrahlbelichtungsanlage zur Prozessierung von 150 mm, und 2 00 mm Wafern und 6" Masken.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-08-16. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-07-15.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2021-07-15 Auftragsbekanntmachung
2022-03-30 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2021-07-15)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Stiftung des bürgerlichen Rechts
Postanschrift: Allmandring 30 a
Postort: Stuttgart
Postleitzahl: 70569
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: ims-chips-elektronenstrahlbelichtungsanlage@menoldbezler.de 📧
Region: Stuttgart, Stadtkreis 🏙️
URL: www.ims-chips.de 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YMZR6D0/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YMZR6D0 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Stiftung bürgerlichen Rechts

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel:
“IMS Chips — Europaweite Vergabe einer Elektronenstrahlbelichtungsanlage 2021/1491”
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Kurze Beschreibung:
“Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung einer Elektronenstrahlbelichtungsanlage zur Prozessierung von 150 mm, und 2 00 mm Wafern...”    Mehr anzeigen

1️⃣
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung 📦
Ort der Leistung: Stuttgart, Stadtkreis 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: IMS Chips Allmandring 30 a 70569 Stuttgart
Beschreibung der Beschaffung:
“Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch „IMS“) ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Dauer
Datum des Beginns: 2021-11-01 📅
Datum des Endes: 2023-06-30 📅
Informationen über die Begrenzung der Zahl der einzuladenden Bewerber
Vorgesehene Mindestanzahl: 3
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern:
“Die Vergabestelle wird alle Bewerber, die ihre Eignung nachgewiesen haben, zur Abgabe eines ersten Angebots auffordern. Die Vergabeunterlagen werden allen...”    Mehr anzeigen
Umfang der Beschaffung
Informationen über die Fonds der Europäischen Union:
“Für den Erwerb des verfahrensgegenständlichen Elektronenstrahlbelichtungsanlage erhält das IMS EFFRE Fördermittel.”

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“1) Vorbemerkung (a) Die Eignung ist für jedes Mitglied einer Bewerbergemeinschaft gesondert nachzuweisen. Soweit nachfolgend nichts Abweichendes geregelt...”    Mehr anzeigen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Eigenerklärung über den Jahresumsatz in den vergangenen 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren einschließlich des Jahresumsatzes mit vergleichbaren...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Eigenerklärung über die Beschäftigtenanzahl und die Zahl seiner Führungskräfte in den vergangenen 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren; (2) Nachweis von...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für die Teilnahme
Bedingungen für die Teilnahme (technische und berufliche Fähigkeiten):
“Zu (2): — Nachweis über die Errichtung von drei Elektronenstrahlbelichtungsanlagen vergleichbarer Art in Ländern des Übereinkommens über das öffentliche...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Sofern ein Bewerber im Hinblick auf die Kriterien für die finanzielle Leistungsfähigkeit nach Ziffer III.1.2) der Auftragsbekanntmachung ganz oder teilweise...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Informationen über die Reduzierung der Anzahl von Lösungen oder Angeboten während der Verhandlungen oder des Dialogs
Rückgriff auf ein gestaffeltes Verfahren, um die Zahl der zu erörternden Lösungen oder zu verhandelnden Angebote schrittweise zu verringern
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2021-08-16 12:00 📅
Voraussichtliches Datum der Versendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe oder zur Teilnahme an die ausgewählten Bewerber: 2021-07-14 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“(1) Die Teilnahmeformulare sind unter der in Ziffer I.3) angegebenen Internetadresse abrufbar. Ebenfalls dort abrufbar ist ein Bewerbermemorandum. In diesen...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
Postanschrift: Durlacher Allee 100
Postort: Karlsruhe
Postleitzahl: 76137
Land: Deutschland 🇩🇪
Fax: +49 721926-3985 📠
URL: www.rp.baden-wuerttemberg.de 🌏
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Es gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB...”    Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2021/S 138-366538 (2021-07-15)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-03-30)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Postanschrift: Allmandring 30a

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel:
“IMS Chips - Europaweite Vergabe einer Elektronenstrahlbelichtungsanlage 2021/1491”
Kurze Beschreibung:
“Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung einer Elektronenstrahlbelichtungsanlage zur Prozessierung von 150mm, und 200mm Wafern und...”    Mehr anzeigen
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 1 💰
Beschreibung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: IMS Chips Allmandring 30a 70569 Stuttgart
Beschreibung der Beschaffung:
“Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch "IMS") ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Wafer (300mm)
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Masken (9035)
Qualitätskriterium (Gewichtung): 15
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Auflösung
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Usv
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lösung zur Datenvorbereitung
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Informationen zu ZP-Blenden
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Durchsatz
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Bewertung Bediensoftware
Kostenkriterium (Name): Uptime und Wartungskosten
Kostenkriterium (Gewichtung): 10

Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2021/S 138-366538

Auftragsvergabe

1️⃣
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-02-28 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Vistec Electron Beam GmbH
Postanschrift: Ilmstrasse 4
Postort: Jena
Postleitzahl: 07743
Land: Deutschland 🇩🇪
Region: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Geschätzter Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 1 💰
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 1 💰

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Bei den Angaben unter den Ziffern II.1.7) und V.2.4) handelt es sich um auszufüllende Pflichtfelder. Aus Gründen der Geheimhaltung sind hier fiktive Werte...”    Mehr anzeigen
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Es gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB...”    Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2022/S 066-174333 (2022-03-30)