Kupfer-Backend-Prozessierung auf vorgefertigten Wafern
IHP GmbH benötigt im Rahmen eines MPW und Prototyping Service Nachtbearbeitungsschritte an strukturierten 200mm Wafern.
Auf vorstrukturtieren Wafern (bis zum Kontaktmodul) soll ein Backend (Kupfer/Aluminimum Metallisierung) gefertigt werden.
Das Backend soll mindestens folgende Spezifikation einhalten:
Mindestens 4 dünne Cu Leitbahnen im 130nm Technologieniveau.
Mindestens 2 dicke Cu Leitbahnen mit 3Müm Dicke
Eine Top-Metallleitbahn aus Aluminium mit mindestens 2,5Müm Dicke.
Des weiteren soll ein MIM Kondensator mit mindestens 2fF/Müm2 Flächendichte im Backend zur Verfügung stehen.
Das Backend soll eine qualifizierte Passivierung enthalten.
Es sollen in den nächsten 3 Jahren müssen pro Jahr 3 Maskensätze und ungefähr 36 Wafer mit einer Losgröße von je mindestens 6 Wafer gefertigt werden.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-11-29.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-10-27.
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Kupfer-Backend-Prozessierung auf vorgefertigten Wafern
IHP-2021-114
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦
Kurze Beschreibung:
“Kupfer-Backend-Prozessierung auf vorgefertigten Wafern
IHP GmbH benötigt im Rahmen eines MPW und Prototyping Service Nachtbearbeitungsschritte an...”
Kurze Beschreibung
Kupfer-Backend-Prozessierung auf vorgefertigten Wafern
IHP GmbH benötigt im Rahmen eines MPW und Prototyping Service Nachtbearbeitungsschritte an strukturierten 200mm Wafern.
Auf vorstrukturtieren Wafern (bis zum Kontaktmodul) soll ein Backend (Kupfer/Aluminimum Metallisierung) gefertigt werden.
Das Backend soll mindestens folgende Spezifikation einhalten:
Mindestens 4 dünne Cu Leitbahnen im 130nm Technologieniveau.
Mindestens 2 dicke Cu Leitbahnen mit 3Müm Dicke
Eine Top-Metallleitbahn aus Aluminium mit mindestens 2,5Müm Dicke.
Des weiteren soll ein MIM Kondensator mit mindestens 2fF/Müm2 Flächendichte im Backend zur Verfügung stehen.
Das Backend soll eine qualifizierte Passivierung enthalten.
Es sollen in den nächsten 3 Jahren müssen pro Jahr 3 Maskensätze und ungefähr 36 Wafer mit einer Losgröße von je mindestens 6 Wafer gefertigt werden.
1️⃣
Ort der Leistung: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)”
Beschreibung der Beschaffung:
“Kupfer-Backend-Prozessierung auf vorgefertigten Wafern
IHP GmbH benötigt im Rahmen eines MPW und Prototyping Service Nachtbearbeitungsschritte an...”
Beschreibung der Beschaffung
Kupfer-Backend-Prozessierung auf vorgefertigten Wafern
IHP GmbH benötigt im Rahmen eines MPW und Prototyping Service Nachtbearbeitungsschritte an strukturierten 200mm Wafern.
Auf vorstrukturtieren Wafern (bis zum Kontaktmodul) soll ein Backend (Kupfer/Aluminimum Metallisierung) gefertigt werden.
Das Backend soll mindestens folgende Spezifikation einhalten:
Mindestens 4 dünne Cu Leitbahnen im 130nm Technologieniveau.
Mindestens 2 dicke Cu Leitbahnen mit 3Müm Dicke
Eine Top-Metallleitbahn aus Aluminium mit mindestens 2,5Müm Dicke.
Des weiteren soll ein MIM Kondensator mit mindestens 2fF/Müm2 Flächendichte im Backend zur Verfügung stehen.
Das Backend soll eine qualifizierte Passivierung enthalten.
Es sollen in den nächsten 3 Jahren müssen pro Jahr 3 Maskensätze und ungefähr 36 Wafer mit einer Losgröße von je mindestens 6 Wafer gefertigt werden.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Preis
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 36
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.” Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Referenzen:
Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt
Referenzen in...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
Referenzen:
Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt
Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.
Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:
-Referenzgeber:
-Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer:
-Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung:
-Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Informationen über eine Rahmenvereinbarung oder ein dynamisches Beschaffungssystem
Rahmenvertrag mit einem einzigen Betreiber
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2021-11-29
12:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2022-01-28 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2021-11-29
12:00 📅
“Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg
http://vergabemarktplatz.brandenburg.de
Sie können sich gern freiwillig auf der...”
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg
http://vergabemarktplatz.brandenburg.de
Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen.
Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden.
Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben.
Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist.
Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden.
Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYYWA
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name:
“Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten”
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331/866-1719📞
Fax: +49 331/866-1652 📠 Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name:
“Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten”
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331/866-1719📞
Fax: +49 331/866-1652 📠 Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten”
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331/866-1719📞
Fax: +49 331/866-1652 📠
Quelle: OJS 2021/S 211-550877 (2021-10-27)