Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie
Die Beschaffung eines Mask Aligners soll Lithographie für Strukturgrößen von ca. 1,0 Mikrometer, für ausgewählte Strukturen auch darunter, ermöglicht werden. Speziell für die Nanostrukturierung soll der Mask-Aligner zudem eine Option für Nanoimprint-Lithografie vorsehen. Um den Gebrauch von Quecksilberdampflampen zu vermeiden, soll hier eine LED-Lichtquelle zum Einsatz kommen.
Weitere Informationen und Anforderungen entnehmen Sie bitte der Leistungsbeschreibung unter dem Punkt „Vergabeunterlagen“.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-05-10.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-04-01.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel:
“Lieferung Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie
F41_000405”
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦
Kurze Beschreibung:
“Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie
Die Beschaffung eines Mask Aligners soll Lithographie für Strukturgrößen von ca. 1,0...”
Kurze Beschreibung
Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie
Die Beschaffung eines Mask Aligners soll Lithographie für Strukturgrößen von ca. 1,0 Mikrometer, für ausgewählte Strukturen auch darunter, ermöglicht werden. Speziell für die Nanostrukturierung soll der Mask-Aligner zudem eine Option für Nanoimprint-Lithografie vorsehen. Um den Gebrauch von Quecksilberdampflampen zu vermeiden, soll hier eine LED-Lichtquelle zum Einsatz kommen.
Weitere Informationen und Anforderungen entnehmen Sie bitte der Leistungsbeschreibung unter dem Punkt „Vergabeunterlagen“.
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Geschätzter Wert ohne MwSt: EUR 450 000 💰
1️⃣
Ort der Leistung: Oberspreewald-Lausitz🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“BTU Cottbus-Senftenberg
Universitätsplatz 1
01968 Senftenberg
Gebäude 14E, Campus Senftenberg”
Beschreibung der Beschaffung:
“Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie
Die Beschaffung eines Mask Aligners soll Lithographie für Strukturgrößen von ca. 1,0...”
Beschreibung der Beschaffung
Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie
Die Beschaffung eines Mask Aligners soll Lithographie für Strukturgrößen von ca. 1,0 Mikrometer, für ausgewählte Strukturen auch darunter, ermöglicht werden. Speziell für die Nanostrukturierung soll der Mask-Aligner zudem eine Option für Nanoimprint-Lithografie vorsehen. Um den Gebrauch von Quecksilberdampflampen zu vermeiden, soll hier eine LED-Lichtquelle zum Einsatz kommen.
Weitere Informationen und Anforderungen entnehmen Sie bitte der Leistungsbeschreibung unter dem Punkt „Vergabeunterlagen“.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technisch-inhaltliche Anforderungen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 60
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Service
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Preis (Gewichtung): 30
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Gesamtwert ohne MwSt: EUR 450 000 💰
Dauer
Datum des Endes: 2021-12-31 📅
Informationen über Optionen
Optionen ✅
Beschreibung der Optionen:
“Gemäß Leistungsbeschreibung (Punkt 2.6. Optionen) unter dem Punkt „Vergabeunterlagen“
2.6.1 Videobasiertes Auto-Alignment
2.6.2 Testmaske” Beschreibung
Zusätzliche Informationen: Bei dem geschätzten Wert handelt es sich um den Netto-Wert.
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen: /
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien: /
Bedingungen für die Teilnahme
/
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien: /
Bedingungen für die Teilnahme
Bedingungen für die Teilnahme (technische und berufliche Fähigkeiten): /
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bedingungen für die Ausführung des Auftrags entnehmen Sie bitte der Leistungsbeschreibung unter dem Punkt „Vergabeunterlagen“.”
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2021-05-10
14:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2021-06-11 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2021-05-10
14:01 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Informationen über die befugten Personen und das Öffnungsverfahren):
“Die Angebote werden unverzüglich nach dem Ende der Angebotsfrist von 2 Mitarbeitern der Vergabestelle im 4-Augen-Prinzip geöffnet. Bieter sind lt. VgV bei...”
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Informationen über die befugten Personen und das Öffnungsverfahren)
Die Angebote werden unverzüglich nach dem Ende der Angebotsfrist von 2 Mitarbeitern der Vergabestelle im 4-Augen-Prinzip geöffnet. Bieter sind lt. VgV bei der Öffnung der Angebote nicht zugelassen.
Ergänzende Informationen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Elektronische Zahlung wird verwendet
Zusätzliche Informationen
“Bitte beachten Sie die Bewerbungsbedingungen eVergabe unter „Vergabeunterlagen“.
Vorsorglich wird insbesondere auf Punkt 1, Nr. 1 der VOL/B mit dem Hinweis...”
Bitte beachten Sie die Bewerbungsbedingungen eVergabe unter „Vergabeunterlagen“.
Vorsorglich wird insbesondere auf Punkt 1, Nr. 1 der VOL/B mit dem Hinweis verwiesen, dass anderslautende Geschäfts-, Liefer-, oder Zahlungsbedingungen des Auftragnehmers nicht Bestandteil des Vertrages werden.
Bekanntmachungs-ID: CXP9YY0RBGQ
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name:
“Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie”
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3318661-610📞
Fax: +49 3318661-652 📠
URL: https://mwae.brandenburg.de/de/vergabekammer-nachpr%c3%bcfungsverfahren/bb1.c.478846.de🌏 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse am Auftrag hat und eine...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse am Auftrag hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Abs. 6 GWB durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. Der Antrag ist unzulässig, soweit:
1) der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht unverzüglich gerügt hat,
2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
4) mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Der Antrag ist schriftlich bei der Vergabekammer einzureichen und unverzüglich zu begründen.
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Quelle: OJS 2021/S 066-170696 (2021-04-01)
Ergänzende Angaben (2021-04-15)
Ergänzende Informationen Referenz der ursprünglichen Mitteilung
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2021/S 066-170696
Änderungen Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: III.1.3)
Ort des zu ändernden Textes: Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Alten Wert leeren
Neuer Wert
Text: Eignungskriterien gemäß Auftragsunterlagen
Andere zusätzliche Informationen
“Sie finden eine aktualisierte Leistungsbeschreibung, eine aktualisierte Bewertungsmatrix und ein Dokument Eignungskriterien unter dem Punkt „Vergabeunterlagen“.”
Sie finden eine aktualisierte Leistungsbeschreibung, eine aktualisierte Bewertungsmatrix und ein Dokument Eignungskriterien unter dem Punkt „Vergabeunterlagen“.
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Quelle: OJS 2021/S 076-194375 (2021-04-15)
Ergänzende Angaben (2021-06-07)
Änderungen Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: IV.2.6)
Ort des zu ändernden Textes: Bindefrist des Angebots
Alter Wert
Datum: 2021-06-11 📅
Neuer Wert
Datum: 2021-06-30 📅
Quelle: OJS 2021/S 112-292760 (2021-06-07)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2021-08-09) Objekt Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie
Die Beschaffung eines Mask Aligners soll Lithographie für Strukturgrößen von ca. 1,0...”
Kurze Beschreibung
Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie
Die Beschaffung eines Mask Aligners soll Lithographie für Strukturgrößen von ca. 1,0 Mikrometer, für ausgewählte Strukturen auch darunter, ermöglicht werden. Speziell für die Nanostrukturierung soll der Mask-Aligner zudem eine Option für Nanoimprint-Lithografie vorsehen. Um den Gebrauch von Quecksilberdampflampen zu vermeiden, soll hier eine LED-Lichtquelle zum Einsatz kommen.
Weitere Informationen und Anforderungen entnehmen Sie bitte der Leistungsbeschreibung unter dem Punkt "Vergabeunterlagen".
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Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 384 680 💰
Beschreibung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“BTU Cottbus-Senftenberg Universitätsplatz 1 01968 Senftenberg Gebäude 14E, Campus Senftenberg”
Beschreibung der Beschaffung:
“Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie
Die Beschaffung eines Mask Aligners soll Lithographie für Strukturgrößen von ca. 1,0...”
Beschreibung der Beschaffung
Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie
Die Beschaffung eines Mask Aligners soll Lithographie für Strukturgrößen von ca. 1,0 Mikrometer, für ausgewählte Strukturen auch darunter, ermöglicht werden. Speziell für die Nanostrukturierung soll der Mask-Aligner zudem eine Option für Nanoimprint-Lithografie vorsehen. Um den Gebrauch von Quecksilberdampflampen zu vermeiden, soll hier eine LED-Lichtquelle zum Einsatz kommen.
Weitere Informationen und Anforderungen entnehmen Sie bitte der Leistungsbeschreibung unter dem Punkt "Vergabeunterlagen".
Mehr anzeigen Informationen über Optionen
Beschreibung der Optionen:
“Gemäß Leistungsbeschreibung (Punkt 2.6. Optionen) unter dem Punkt "Vergabeunterlagen"
2.6.1 Videobasiertes Auto-Alignment
2.6.2 Testmaske”
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2021/S 066-170696
Auftragsvergabe
1️⃣
Vertragsnummer: 21-1504-158-0227
Titel: Mask Aligner - MABA6 Gen4
Datum des Vertragsabschlusses: 2021-06-26 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 1
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 2
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: SUSS MicroTec Lithography GmbH
Postanschrift: Schleissheimer Str. 90
Postort: Garching
Postleitzahl: 85748
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 8932007-0📞
E-Mail: info@suss.com📧
Fax: +49 8932007-162 📠
Region: München, Kreisfreie Stadt🏙️
URL: http://www.suss.com🌏
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Geschätzter Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 450 000 💰
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 384 680 💰
“Bitte beachten Sie die Bewerbungsbedingungen eVergabe unter "Vergabeunterlagen".
Vorsorglich wird insbesondere auf Punkt 1, Nr. 1 der VOL/B mit dem Hinweis...”
Bitte beachten Sie die Bewerbungsbedingungen eVergabe unter "Vergabeunterlagen".
Vorsorglich wird insbesondere auf Punkt 1, Nr. 1 der VOL/B mit dem Hinweis verwiesen, dass anderslautende Geschäfts-, Liefer-, oder Zahlungsbedingungen des Auftragnehmers nicht Bestandteil des Vertrages werden.
Bekanntmachungs-ID: CXP9YY0RFGX
Mehr anzeigen Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse am Auftrag hat und eine...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse am Auftrag hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Abs. 6 GWB durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht unverzüglich gerügt hat, 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Der Antrag ist schriftlich bei der Vergabekammer einzureichen und unverzüglich zu begründen.
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Quelle: OJS 2021/S 156-411995 (2021-08-09)