Lieferung Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie

BTU Cottbus-Senftenberg

Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie
Die Beschaffung eines Mask Aligners soll Lithographie für Strukturgrößen von ca. 1,0 Mikrometer, für ausgewählte Strukturen auch darunter, ermöglicht werden. Speziell für die Nanostrukturierung soll der Mask-Aligner zudem eine Option für Nanoimprint-Lithografie vorsehen. Um den Gebrauch von Quecksilberdampflampen zu vermeiden, soll hier eine LED-Lichtquelle zum Einsatz kommen.
Weitere Informationen und Anforderungen entnehmen Sie bitte der Leistungsbeschreibung unter dem Punkt „Vergabeunterlagen“.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-05-10. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-04-01.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2021-04-01 Auftragsbekanntmachung
2021-04-15 Ergänzende Angaben
2021-06-07 Ergänzende Angaben
2021-08-09 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2021-04-01)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: F41_000405
Kurze Beschreibung:
“Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Oberspreewald-Lausitz 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: BTU Cottbus-Senftenberg
Postanschrift: Platz der Deutschen Einheit 1
Postleitzahl: 03046
Postort: Cottbus
Kontakt
Internetadresse: https://www.b-tu.de 🌏
E-Mail: jens.semmler@b-tu.de 📧
URL der Dokumente: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXP9YY0RBGQ/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXP9YY0RBGQ 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-04-01 📅
Einreichungsfrist: 2021-05-10 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-04-06 📅
Datum des Endes: 2021-12-31 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 066-170696
ABl. S-Ausgabe: 66
Zusätzliche Informationen

“Bei dem geschätzten Wert handelt es sich um den Netto-Wert.”
Quelle: OJS 2021/S 066-170696 (2021-04-01)
Ergänzende Angaben (2021-04-15)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-04-15 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-04-20 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 076-194375
Verweist auf Bekanntmachung: 2021/S 066-170696
ABl. S-Ausgabe: 76
Zusätzliche Informationen

“Sie finden eine aktualisierte Leistungsbeschreibung, eine aktualisierte Bewertungsmatrix und ein Dokument Eignungskriterien unter dem Punkt „Vergabeunterlagen“.”    Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2021/S 076-194375 (2021-04-15)
Ergänzende Angaben (2021-06-07)
Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-06-07 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-06-11 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 112-292760
ABl. S-Ausgabe: 112
Quelle: OJS 2021/S 112-292760 (2021-06-07)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2021-08-09)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 384 680 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-08-09 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-08-13 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 156-411995
ABl. S-Ausgabe: 156
Quelle: OJS 2021/S 156-411995 (2021-08-09)
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Region: Deutschland Brandenburg Brandenburg Cottbus, Kreisfreie Stadt Oberspreewald-Lausitz