Lieferung Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie

BTU Cottbus-Senftenberg

Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie
Die Beschaffung eines Mask Aligners soll Lithographie für Strukturgrößen von ca. 1,0 Mikrometer, für ausgewählte Strukturen auch darunter, ermöglicht werden. Speziell für die Nanostrukturierung soll der Mask-Aligner zudem eine Option für Nanoimprint-Lithografie vorsehen. Um den Gebrauch von Quecksilberdampflampen zu vermeiden, soll hier eine LED-Lichtquelle zum Einsatz kommen.
Weitere Informationen und Anforderungen entnehmen Sie bitte der Leistungsbeschreibung unter dem Punkt „Vergabeunterlagen“.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-05-10. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-04-01.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2021-04-01 Auftragsbekanntmachung
2021-04-15 Ergänzende Angaben
2021-06-07 Ergänzende Angaben
2021-08-09 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2021-04-01)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: F41_000405
Kurze Beschreibung:
Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie Die Beschaffung eines Mask Aligners soll Lithographie für Strukturgrößen von ca. 1,0 Mikrometer, für ausgewählte Strukturen auch darunter, ermöglicht werden. Speziell für die Nanostrukturierung soll der Mask-Aligner zudem eine Option für Nanoimprint-Lithografie vorsehen. Um den Gebrauch von Quecksilberdampflampen zu vermeiden, soll hier eine LED-Lichtquelle zum Einsatz kommen. Weitere Informationen und Anforderungen entnehmen Sie bitte der Leistungsbeschreibung unter dem Punkt „Vergabeunterlagen“.
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Oberspreewald-Lausitz 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: BTU Cottbus-Senftenberg
Postanschrift: Platz der Deutschen Einheit 1
Postleitzahl: 03046
Postort: Cottbus
Kontakt
Internetadresse: https://www.b-tu.de 🌏
E-Mail: jens.semmler@b-tu.de 📧
URL der Dokumente: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXP9YY0RBGQ/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXP9YY0RBGQ 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-04-01 📅
Einreichungsfrist: 2021-05-10 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-04-06 📅
Datum des Endes: 2021-12-31 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 066-170696
ABl. S-Ausgabe: 66
Zusätzliche Informationen
Bei dem geschätzten Wert handelt es sich um den Netto-Wert.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie
Die Beschaffung eines Mask Aligners soll Lithographie für Strukturgrößen von ca. 1,0 Mikrometer, für ausgewählte Strukturen auch darunter, ermöglicht werden. Speziell für die Nanostrukturierung soll der Mask-Aligner zudem eine Option für Nanoimprint-Lithografie vorsehen. Um den Gebrauch von Quecksilberdampflampen zu vermeiden, soll hier eine LED-Lichtquelle zum Einsatz kommen.
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Weitere Informationen und Anforderungen entnehmen Sie bitte der Leistungsbeschreibung unter dem Punkt „Vergabeunterlagen“.
Geschätzter Gesamtwert: 450 000 EUR 💰
Geschätzter Wert ohne MwSt: 450 000 EUR 💰
Beschreibung der Optionen:
Gemäß Leistungsbeschreibung (Punkt 2.6. Optionen) unter dem Punkt „Vergabeunterlagen“
2.6.1 Videobasiertes Auto-Alignment
2.6.2 Testmaske
Zusätzliche Informationen: Bei dem geschätzten Wert handelt es sich um den Netto-Wert.
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
BTU Cottbus-Senftenberg
Universitätsplatz 1
01968 Senftenberg
Gebäude 14E, Campus Senftenberg

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags entnehmen Sie bitte der Leistungsbeschreibung unter dem Punkt „Vergabeunterlagen“.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 14:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2021-06-11 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2021-05-10 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 14:01
Zusätzliche Informationen:
Die Angebote werden unverzüglich nach dem Ende der Angebotsfrist von 2 Mitarbeitern der Vergabestelle im 4-Augen-Prinzip geöffnet. Bieter sind lt. VgV bei der Öffnung der Angebote nicht zugelassen.
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technisch-inhaltliche Anforderungen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 60
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Service
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Preis (Gewichtung): 30

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: VB 2.3 Beschaffung
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXP9YY0RBGQ/documents 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen
Bitte beachten Sie die Bewerbungsbedingungen eVergabe unter „Vergabeunterlagen“.
Vorsorglich wird insbesondere auf Punkt 1, Nr. 1 der VOL/B mit dem Hinweis verwiesen, dass anderslautende Geschäfts-, Liefer-, oder Zahlungsbedingungen des Auftragnehmers nicht Bestandteil des Vertrages werden.
Bekanntmachungs-ID: CXP9YY0RBGQ

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3318661-610 📞
Fax: +49 3318661-652 📠
Internetadresse: https://mwae.brandenburg.de/de/vergabekammer-nachpr%c3%bcfungsverfahren/bb1.c.478846.de 🌏
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse am Auftrag hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Abs. 6 GWB durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. Der Antrag ist unzulässig, soweit:
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1) der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht unverzüglich gerügt hat,
2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
4) mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Der Antrag ist schriftlich bei der Vergabekammer einzureichen und unverzüglich zu begründen.
Quelle: OJS 2021/S 066-170696 (2021-04-01)
Ergänzende Angaben (2021-04-15)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-04-15 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-04-20 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 076-194375
Verweist auf Bekanntmachung: 2021/S 066-170696
ABl. S-Ausgabe: 76
Zusätzliche Informationen
Sie finden eine aktualisierte Leistungsbeschreibung, eine aktualisierte Bewertungsmatrix und ein Dokument Eignungskriterien unter dem Punkt „Vergabeunterlagen“.
Quelle: OJS 2021/S 076-194375 (2021-04-15)
Ergänzende Angaben (2021-06-07)
Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-06-07 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-06-11 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 112-292760
ABl. S-Ausgabe: 112
Quelle: OJS 2021/S 112-292760 (2021-06-07)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2021-08-09)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie Die Beschaffung eines Mask Aligners soll Lithographie für Strukturgrößen von ca. 1,0 Mikrometer, für ausgewählte Strukturen auch darunter, ermöglicht werden. Speziell für die Nanostrukturierung soll der Mask-Aligner zudem eine Option für Nanoimprint-Lithografie vorsehen. Um den Gebrauch von Quecksilberdampflampen zu vermeiden, soll hier eine LED-Lichtquelle zum Einsatz kommen. Weitere Informationen und Anforderungen entnehmen Sie bitte der Leistungsbeschreibung unter dem Punkt "Vergabeunterlagen".
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Gesamtwert des Auftrags: 384 680 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-08-09 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-08-13 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 156-411995
ABl. S-Ausgabe: 156

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Weitere Informationen und Anforderungen entnehmen Sie bitte der Leistungsbeschreibung unter dem Punkt "Vergabeunterlagen".
Beschreibung der Optionen:
Gemäß Leistungsbeschreibung (Punkt 2.6. Optionen) unter dem Punkt "Vergabeunterlagen"
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
BTU Cottbus-Senftenberg Universitätsplatz 1 01968 Senftenberg Gebäude 14E, Campus Senftenberg

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2021-06-26 📅
Name: SUSS MicroTec Lithography GmbH
Postanschrift: Schleissheimer Str. 90
Postort: Garching
Postleitzahl: 85748
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 8932007-0 📞
E-Mail: info@suss.com 📧
Land: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Internetadresse: http://www.suss.com 🌏
Gesamtwert des Auftrags: 384 680 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2

Referenz
Zusätzliche Informationen
Bitte beachten Sie die Bewerbungsbedingungen eVergabe unter "Vergabeunterlagen".
Bekanntmachungs-ID: CXP9YY0RFGX

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse am Auftrag hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Abs. 6 GWB durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht unverzüglich gerügt hat, 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Der Antrag ist schriftlich bei der Vergabekammer einzureichen und unverzüglich zu begründen.
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Quelle: OJS 2021/S 156-411995 (2021-08-09)
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Region:
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