Kurze Beschreibung
LOS 1
Purifierkabinet geeignet für den Einsatz an Epitaxieanlagen der Firma Applied Matireals für:
Wasserstoff, 100 Liter/ min
Stickstoff, 100 Liter/ min
Chlorwasserstoff, 20 Liter/ min
Größe maximal BxTxH 460 x 200 x 2000 mm
Inklusive Endpunktüberwachung
Inklusive Absperr-, Bypass- und Spülvorrichtung für die Pirifier
NANOCHEM(R) SideCar-EP Purifier System
von Matheson Tri-Gas oder vergleichbar 2 Stk
LOS 2 Purifierkartuschen geeignet für die oben genannten Purifierkabinette in Los 1
2.1 Purifierkartusche für Wasserstoff, max 150 Liter/ min
mit Endpunktüberwachung, Partikelfilter und Absperrventile
A-2000-OMX-Plus-DCB-HF, NANOCHEM PFR, 2
L, OMX-Plus, 150 SLPM, BANNER DC EPD oder vergleichbar 2 Stk
2.2 Purifierkartusche für Stickstoff, max 150 Liter/ min
mit Endpunktüberwachung, Partikelfilter und Absperrventile
A-2000-OMX-Plus-DCB-HF, NANOCHEM PFR, 2
L, OMX-Plus, 150 SLPM, BANNER DC EPD oder vergleichbar 2 Stk
2.3 Purifierkartusche für Chlorwasserstoff, max 20 Liter/ min inklusive Partikelfilter und Absperrventile
A-500-MTX , Nanochem PFR, 500ML, MTX , 50
SLPM, PTFE PF FOR HCL 2 Stk