Auftragsgegenstand ist eine 2-Kammer-Molekularstrahlepitaxieanlage (Molecular Beam Epitaxy, MBE) zur Herstellung von dünnen Schichten.
Kammer 1: PtSe2 und vergleichbare 2D-Materialien für Sensor-Schichten.
Kammer 2: SiGe mit n- und p-Dotierung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen als Basis für die Sensoren aus Kammer 1.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-10-29.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-09-27.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel:
“MOLEKULARSTRAHLEPITAXIEANLAGE (2 KAMMERN MIT GEMEINSAMEM TRANSPORT-SYSTEM)
M/HSB1/LT349/EIT2.1_MM”
Produkte/Dienstleistungen: Industrielle Maschinen📦
Kurze Beschreibung:
“Auftragsgegenstand ist eine 2-Kammer-Molekularstrahlepitaxieanlage (Molecular Beam Epitaxy, MBE) zur Herstellung von dünnen Schichten.
Kammer 1: PtSe2 und...”
Kurze Beschreibung
Auftragsgegenstand ist eine 2-Kammer-Molekularstrahlepitaxieanlage (Molecular Beam Epitaxy, MBE) zur Herstellung von dünnen Schichten.
Kammer 1: PtSe2 und vergleichbare 2D-Materialien für Sensor-Schichten.
Kammer 2: SiGe mit n- und p-Dotierung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen als Basis für die Sensoren aus Kammer 1.
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Geschätzter Wert ohne MwSt: EUR 1 280 000 💰
1️⃣
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦
Ort der Leistung: München, Landkreis🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Siehe Verzeichnis der Empfängeranschriften
Beschreibung der Beschaffung:
“2-Kammer-Molekularstrahlepitaxieanlage zur Herstellung von dünnen Schichten.
Kammer 1: PtSe2 und vergleichbare 2D-Materialien für Sensor-Schichten im Rahmen...”
Beschreibung der Beschaffung
2-Kammer-Molekularstrahlepitaxieanlage zur Herstellung von dünnen Schichten.
Kammer 1: PtSe2 und vergleichbare 2D-Materialien für Sensor-Schichten im Rahmen des dtec.bw Projekts.
Kammer 2: SiGe mit n- und p-Dotierung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen als Basis für die Sensoren aus Kammer 1.
Epitaxiesystem zur physikalischen Gasphasenabscheidung kristalliner dünner Schichten. Evaporation der benötigten Materialien aus Effusionszellen bzw. Elektronenstrahlverdampfern - je nach Material, wie im Folgenden spezifiziert. Abscheidung der Schichten mit sub-Nanometer-Genauigkeit, Co-Evaporation verschiedener Materialien aus unterschiedlichen Zellen möglich - hier z.b.: Pt und Se in Kammer 1; Si, Ge, B, P in Kammer 2. In-situ Schichtdicken- und Qualitätskontrolle mittels geeigneter, im Folgenden spezifizierter Messverfahren.
Ultrahochvakuum (UHV)- System bestehend aus den beiden Epitaxiekammern, einer gemeinsamen Probenschleuse und einem gemeinsamen Transportkanal. Transportkanal zur späteren Erweiterung des Systems um weitere Kammern verlängerbar. Steuerung und Regelung des Gesamtsystems auf SPS-Basis mit zentraler Steuersoftware - ebenfalls später um weitere Kammern erweiterbar.
Die Wartungsleistungen sind ebenfalls Bestandtteil des Auftrags.
Der Auftragnehmer muss innerhalb von 48 Stunden auf Störungen reagieren und mit einem deutschsprachigen Mitarbeiter vor Ort sein können.
Bieter können einzelne Teile aus der bestehenden Anlage der UniBw M übernehmen, sind hierzu aber nicht verpflichtet.
Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 45
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Dieser Vertrag ist verlängerbar ✅ Beschreibung
Beschreibung der Verlängerungen:
“Der Auftraggeber ist berechtigt, den Auftragnehmer über den Zeitraum von 5 Jahren hinaus mit der Wartung über einen weiteren Zeitraum von 5 Jahren zu...”
Beschreibung der Verlängerungen
Der Auftraggeber ist berechtigt, den Auftragnehmer über den Zeitraum von 5 Jahren hinaus mit der Wartung über einen weiteren Zeitraum von 5 Jahren zu beauftragen. Dem Auftragnehmer steht kein Leistungsverweigerungsrecht zu.
Mehr anzeigen Informationen über Optionen
Optionen ✅
Beschreibung der Optionen:
“Der Auftraggeber ist berechtigt, den Auftragnehmer über den Zeitraum von 5 Jahren hinaus mit der Wartung über einen weiteren Zeitraum von 5 Jahren zu...”
Beschreibung der Optionen
Der Auftraggeber ist berechtigt, den Auftragnehmer über den Zeitraum von 5 Jahren hinaus mit der Wartung über einen weiteren Zeitraum von 5 Jahren zu beauftragen. Dem Auftragnehmer steht kein Leistungsverweigerungsrecht zu.
Mehr anzeigen Beschreibung
Zusätzliche Informationen:
“Bieter haben die Möglichkeit, Altteile aus der bestehenden Anlage der UniBw M zu übernehmen. Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung”
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:
Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften von...”
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen
Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:
Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften von jedem Mitglied):
a) Formlose, unterschriebene Eigenerklärung, aus der hervorgeht, dass:
- keine Ausschlussgründe im Sinne der §§ 123, 124 GWB vorliegen bzw. erfolgreiche Selbstreinigungsmaßnahmen im Sinne von § 125 GWB durchgeführt worden sind,
- der Bieter in das einschlägige Berufsregister oder ein vergleichbares Register (Standeskammern etc.) des Herkunftslandes eingetragen ist sowie für seine Berufshaftpflichtversicherung, seine Krankenkasse(n) und seine
Berufsgenossenschaft rückstandlos Beiträge entrichtet hat.
b) Bietergemeinschaften sollen zusätzlich eine Erklärung abgeben, aus der hervorgeht, dass kein Verstoß gegen Kartellrecht vorliegt (z.B. durch Angabe der Gründe, die zur Bildung der Bewerbergemeinschaft geführt haben), und dass keine unzulässigen wettbewerbsbeschränkenden Absprachen getroffen wurden. Die Bildung von Bietergemeinschaften ist nur bis zur Abgabe des Angebotes möglich. Die Abgabe von Angeboten durch
Bietergemeinschaften ist nur bei gesamtschuldnerischer Haftung mit bevollmächtigtem Vertreter zulässig. Hierzu ist eine von allen Mitgliedern unterschriebene Vollmacht mittels einer Bietergemeinschaftserklärung vorzulegen. Außerdem haben sämtliche Mitglieder der Bietergemeinschaft namentlich mit Anschrift einen bevollmächtigten Vertreter für das Vergabeverfahren sowie Abschluss und Durchführung des Vertrages zu bezeichnen. Bei der Eignungsprüfung wird die Bietergemeinschaft als Ganzes beurteilt. Bietergemeinschaften müssen eine(n) einzige(n) Ansprechpartner(in) benennen.
c) Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.
Mehr anzeigen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften von jedem Mitglied):
a) Angabe der Gesamtumsätze der letzten bis zu 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre, möglichst durch Jahresabschlüsse und Prüfberichte belegt, sowie die Angabe der Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre mit
Leistungen, die mit dem vorliegenden Auftragsgegenstand vergleichbar sind (Entwicklung, Lieferung und Wartung von Molekularstrahlepitaxieanlagen).
b) Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.
Mehr anzeigen Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften von jedem Mitglied):
a) Vorlage von Referenzen über Aufträge, die mit dem vorliegenden Auftragsgegenstand in Bezug auf die Leistung (Entwicklung, Lieferung und Wartung von Molekularstrahlepitaxieanlagen) vergleichbar sind aus den in den letzten bis zu 5 abgeschlossenen Geschäftsjahren, unter Angabe des genauen Auftrags, der Auftragssumme, des Auftraggebers, der Leistungszeiträume, der Referenzen mit Ansprechpartnern inkl. Tel.-Nr.
b) Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.
Möglicherweise geforderte Mindeststandards:
Aus den eingereichten Referenzen muss sich ergeben, dass der Bieter in den vergangenen fünf Jahren mindestens
a) fünf Anlagen für SiGe Epitaxie und
b) eine Anlage für PtSe2
hergestellt hat.
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2021-10-29
13:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 2
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2021-10-29
13:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Informationen über die befugten Personen und das Öffnungsverfahren): entfällt
Ergänzende Informationen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Elektronische Zahlung wird verwendet
Körper überprüfen
Name: Bundeskartellamt - Vergabekammer des Bundes
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2289499-0📞
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de📧
Fax: +49 2289499-163 📠
URL: https://www.bundeskartellamt.de/SharedDocs/Kontaktdaten/DE/Vergabekammern.html🌏 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Das Verfahren für Verstöße gegen diese Vergabe richtet sich nach den Vorschriften der §§ 160 ff. des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Zur...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Das Verfahren für Verstöße gegen diese Vergabe richtet sich nach den Vorschriften der §§ 160 ff. des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Zur Wahrung der Fristen wird auf die §§ 160 ff. GWB verwiesen. Insbesondere weisen wir darauf hin, dass der Nachprüfungsantrag gemäß § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB spätestens 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, zu stellen ist. Vergabeverstöße sind nach § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB vor Einreichen des Nachprüfungsantrags innerhalb von 10 Kalendertagen, nachdem der Bieter den Verstoß erkannt hat, beim Auftraggeber zu rügen. Vergabeverstöße, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind gemäß § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der Angebotsfrist bei dem Auftraggeber zu rügen.
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Quelle: OJS 2021/S 191-494122 (2021-09-27)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2021-11-22) Objekt Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 0.01 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“2-Kammer-Molekularstrahlepitaxieanlage zur Herstellung von dünnen Schichten. Kammer 1: PtSe2 und vergleichbare 2D-Materialien für Sensor-Schichten im Rahmen...”
Beschreibung der Beschaffung
2-Kammer-Molekularstrahlepitaxieanlage zur Herstellung von dünnen Schichten. Kammer 1: PtSe2 und vergleichbare 2D-Materialien für Sensor-Schichten im Rahmen des dtec.bw Projekts. Kammer 2: SiGe mit n- und p-Dotierung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen als Basis für die Sensoren aus Kammer 1. Epitaxiesystem zur physikalischen Gasphasenabscheidung kristalliner dünner Schichten. Evaporation der benötigten Materialien aus Effusionszellen bzw. Elektronenstrahlverdampfern - je nach Material, wie im Folgenden spezifiziert. Abscheidung der Schichten mit sub-Nanometer-Genauigkeit, Co-Evaporation verschiedener Materialien aus unterschiedlichen Zellen möglich - hier z.b.: Pt und Se in Kammer 1; Si, Ge, B, P in Kammer 2. In-situ Schichtdicken- und Qualitätskontrolle mittels geeigneter, im Folgenden spezifizierter Messverfahren. Ultrahochvakuum (UHV)- System bestehend aus den beiden Epitaxiekammern, einer gemeinsamen Probenschleuse und einem gemeinsamen Transportkanal. Transportkanal zur späteren Erweiterung des Systems um weitere Kammern verlängerbar. Steuerung und Regelung des Gesamtsystems auf SPS-Basis mit zentraler Steuersoftware - ebenfalls später um weitere Kammern erweiterbar. Die Wartungsleistungen sind ebenfalls Bestandtteil des Auftrags. Der Auftragnehmer muss innerhalb von 48 Stunden auf Störungen reagieren und mit einem deutschsprachigen Mitarbeiter vor Ort sein können. Bieter können einzelne Teile aus der bestehenden Anlage der UniBw M übernehmen, sind hierzu aber nicht verpflichtet. Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2021/S 191-494122
Auftragsvergabe
1️⃣
Vertragsnummer: 1
Titel: MOLEKULARSTRAHLEPITAXIEANLAGE (2 KAMMERN MIT GEMEINSAMEM TRANSPORT-SYSTEM)
Datum des Vertragsabschlusses: 2021-11-22 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH
Postanschrift: Josef-Beyerle-Str 18-1
Postort: Weil der Stadt
Postleitzahl: 71263
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 70336937218📞
E-Mail: info@mbe-components.com📧
Region: Böblingen🏙️
URL: www.mbe-components.com🌏
Der Auftragnehmer ist ein KMU ✅ Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰
Quelle: OJS 2021/S 230-603662 (2021-11-22)