MOLEKULARSTRAHLEPITAXIEANLAGE (2 KAMMERN MIT GEMEINSAMEM TRANSPORT-SYSTEM)

Universität der Bundeswehr München

Auftragsgegenstand ist eine 2-Kammer-Molekularstrahlepitaxieanlage (Molecular Beam Epitaxy, MBE) zur Herstellung von dünnen Schichten.
Kammer 1: PtSe2 und vergleichbare 2D-Materialien für Sensor-Schichten.
Kammer 2: SiGe mit n- und p-Dotierung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen als Basis für die Sensoren aus Kammer 1.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-10-29. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-09-27.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH

Wer?

• Universität der Bundeswehr München

Wie?

Wo?

• Oberbayern › München, Landkreis

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2021-09-27	Auftragsbekanntmachung
2021-11-22	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2021-09-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Referenznummer: M/HSB1/LT349/EIT2.1_MM
Kurze Beschreibung:

Auftragsgegenstand ist eine 2-Kammer-Molekularstrahlepitaxieanlage (Molecular Beam Epitaxy, MBE) zur Herstellung von dünnen Schichten. Kammer 1: PtSe2 und vergleichbare 2D-Materialien für Sensor-Schichten. Kammer 2: SiGe mit n- und p-Dotierung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen als Basis für die Sensoren aus Kammer 1.

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: München, Landkreis 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Ministerium oder sonstige zentral- oder bundesstaatliche Behörde
Name des öffentlichen Auftraggebers: Universität der Bundeswehr München
Postanschrift: Werner-Heisenberg-Weg 39
Postleitzahl: 85579
Postort: Neubiberg
Kontakt
Internetadresse: http://www.evergabe-online.de/ 🌏
E-Mail: zv13@unibw.de 📧
Telefon: +49 8960042233 📞
Fax: +49 8960042691 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=416111 🌏
URL der Teilnahme: http://www.evergabe-online.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-09-27 📅
Einreichungsfrist: 2021-10-29 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-10-01 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 191-494122
ABl. S-Ausgabe: 191
Zusätzliche Informationen

Bieter haben die Möglichkeit, Altteile aus der bestehenden Anlage der UniBw M zu übernehmen. Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Auftragsgegenstand ist eine 2-Kammer-Molekularstrahlepitaxieanlage (Molecular Beam Epitaxy, MBE) zur Herstellung von dünnen Schichten.

Kammer 1: PtSe2 und vergleichbare 2D-Materialien für Sensor-Schichten.

Kammer 2: SiGe mit n- und p-Dotierung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen als Basis für die Sensoren aus Kammer 1.

Geschätzter Gesamtwert: 1 280 000 EUR 💰
Kurze Beschreibung:

2-Kammer-Molekularstrahlepitaxieanlage zur Herstellung von dünnen Schichten.

Kammer 1: PtSe2 und vergleichbare 2D-Materialien für Sensor-Schichten im Rahmen des dtec.bw Projekts.

Epitaxiesystem zur physikalischen Gasphasenabscheidung kristalliner dünner Schichten. Evaporation der benötigten Materialien aus Effusionszellen bzw. Elektronenstrahlverdampfern - je nach Material, wie im Folgenden spezifiziert. Abscheidung der Schichten mit sub-Nanometer-Genauigkeit, Co-Evaporation verschiedener Materialien aus unterschiedlichen Zellen möglich - hier z.b.: Pt und Se in Kammer 1; Si, Ge, B, P in Kammer 2. In-situ Schichtdicken- und Qualitätskontrolle mittels geeigneter, im Folgenden spezifizierter Messverfahren.

Ultrahochvakuum (UHV)- System bestehend aus den beiden Epitaxiekammern, einer gemeinsamen Probenschleuse und einem gemeinsamen Transportkanal. Transportkanal zur späteren Erweiterung des Systems um weitere Kammern verlängerbar. Steuerung und Regelung des Gesamtsystems auf SPS-Basis mit zentraler Steuersoftware - ebenfalls später um weitere Kammern erweiterbar.

Die Wartungsleistungen sind ebenfalls Bestandtteil des Auftrags.

Der Auftragnehmer muss innerhalb von 48 Stunden auf Störungen reagieren und mit einem deutschsprachigen Mitarbeiter vor Ort sein können.

Bieter können einzelne Teile aus der bestehenden Anlage der UniBw M übernehmen, sind hierzu aber nicht verpflichtet.

Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung

Dauer: 45 Monate
Beschreibung der Verlängerungen:

Der Auftraggeber ist berechtigt, den Auftragnehmer über den Zeitraum von 5 Jahren hinaus mit der Wartung über einen weiteren Zeitraum von 5 Jahren zu beauftragen. Dem Auftragnehmer steht kein Leistungsverweigerungsrecht zu.

Beschreibung der Optionen:

Zusätzliche Informationen:

Bieter haben die Möglichkeit, Altteile aus der bestehenden Anlage der UniBw M zu übernehmen. Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Siehe Verzeichnis der Empfängeranschriften

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen:

Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften von jedem Mitglied):

a) Formlose, unterschriebene Eigenerklärung, aus der hervorgeht, dass:

- keine Ausschlussgründe im Sinne der §§ 123, 124 GWB vorliegen bzw. erfolgreiche Selbstreinigungsmaßnahmen im Sinne von § 125 GWB durchgeführt worden sind,

- der Bieter in das einschlägige Berufsregister oder ein vergleichbares Register (Standeskammern etc.) des Herkunftslandes eingetragen ist sowie für seine Berufshaftpflichtversicherung, seine Krankenkasse(n) und seine

Berufsgenossenschaft rückstandlos Beiträge entrichtet hat.

b) Bietergemeinschaften sollen zusätzlich eine Erklärung abgeben, aus der hervorgeht, dass kein Verstoß gegen Kartellrecht vorliegt (z.B. durch Angabe der Gründe, die zur Bildung der Bewerbergemeinschaft geführt haben), und dass keine unzulässigen wettbewerbsbeschränkenden Absprachen getroffen wurden. Die Bildung von Bietergemeinschaften ist nur bis zur Abgabe des Angebotes möglich. Die Abgabe von Angeboten durch

Bietergemeinschaften ist nur bei gesamtschuldnerischer Haftung mit bevollmächtigtem Vertreter zulässig. Hierzu ist eine von allen Mitgliedern unterschriebene Vollmacht mittels einer Bietergemeinschaftserklärung vorzulegen. Außerdem haben sämtliche Mitglieder der Bietergemeinschaft namentlich mit Anschrift einen bevollmächtigten Vertreter für das Vergabeverfahren sowie Abschluss und Durchführung des Vertrages zu bezeichnen. Bei der Eignungsprüfung wird die Bietergemeinschaft als Ganzes beurteilt. Bietergemeinschaften müssen eine(n) einzige(n) Ansprechpartner(in) benennen.

c) Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften von jedem Mitglied):

a) Angabe der Gesamtumsätze der letzten bis zu 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre, möglichst durch Jahresabschlüsse und Prüfberichte belegt, sowie die Angabe der Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre mit

Leistungen, die mit dem vorliegenden Auftragsgegenstand vergleichbar sind (Entwicklung, Lieferung und Wartung von Molekularstrahlepitaxieanlagen).

b) Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:

Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften von jedem Mitglied):

a) Vorlage von Referenzen über Aufträge, die mit dem vorliegenden Auftragsgegenstand in Bezug auf die Leistung (Entwicklung, Lieferung und Wartung von Molekularstrahlepitaxieanlagen) vergleichbar sind aus den in den letzten bis zu 5 abgeschlossenen Geschäftsjahren, unter Angabe des genauen Auftrags, der Auftragssumme, des Auftraggebers, der Leistungszeiträume, der Referenzen mit Ansprechpartnern inkl. Tel.-Nr.

b) Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.

Möglicherweise geforderte Mindeststandards:

Aus den eingereichten Referenzen muss sich ergeben, dass der Bieter in den vergangenen fünf Jahren mindestens

a) fünf Anlagen für SiGe Epitaxie und

b) eine Anlage für PtSe2

hergestellt hat.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 13:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2 Monate
Datum der Angebotseröffnung: 2021-10-29 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 13:00
Zusätzliche Informationen: entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Nationale Registrierungsnummer: DE 811 272 995
Kontakt
Kontaktperson: ZV I.3
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=416111 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Bundeskartellamt - Vergabekammer des Bundes
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2289499-0 📞
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Fax: +49 2289499-163 📠
Internetadresse: https://www.bundeskartellamt.de/SharedDocs/Kontaktdaten/DE/Vergabekammern.html 🌏
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Das Verfahren für Verstöße gegen diese Vergabe richtet sich nach den Vorschriften der §§ 160 ff. des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Zur Wahrung der Fristen wird auf die §§ 160 ff. GWB verwiesen. Insbesondere weisen wir darauf hin, dass der Nachprüfungsantrag gemäß § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB spätestens 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, zu stellen ist. Vergabeverstöße sind nach § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB vor Einreichen des Nachprüfungsantrags innerhalb von 10 Kalendertagen, nachdem der Bieter den Verstoß erkannt hat, beim Auftraggeber zu rügen. Vergabeverstöße, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind gemäß § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der Angebotsfrist bei dem Auftraggeber zu rügen.

Quelle: OJS 2021/S 191-494122 (2021-09-27)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2021-11-22)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Vergabekriterien
Niedrigster Preis

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-11-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-11-26 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 230-603662
Verweist auf Bekanntmachung: 2021/S 191-494122
ABl. S-Ausgabe: 230

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

2-Kammer-Molekularstrahlepitaxieanlage zur Herstellung von dünnen Schichten. Kammer 1: PtSe2 und vergleichbare 2D-Materialien für Sensor-Schichten im Rahmen des dtec.bw Projekts. Kammer 2: SiGe mit n- und p-Dotierung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen als Basis für die Sensoren aus Kammer 1. Epitaxiesystem zur physikalischen Gasphasenabscheidung kristalliner dünner Schichten. Evaporation der benötigten Materialien aus Effusionszellen bzw. Elektronenstrahlverdampfern - je nach Material, wie im Folgenden spezifiziert. Abscheidung der Schichten mit sub-Nanometer-Genauigkeit, Co-Evaporation verschiedener Materialien aus unterschiedlichen Zellen möglich - hier z.b.: Pt und Se in Kammer 1; Si, Ge, B, P in Kammer 2. In-situ Schichtdicken- und Qualitätskontrolle mittels geeigneter, im Folgenden spezifizierter Messverfahren. Ultrahochvakuum (UHV)- System bestehend aus den beiden Epitaxiekammern, einer gemeinsamen Probenschleuse und einem gemeinsamen Transportkanal. Transportkanal zur späteren Erweiterung des Systems um weitere Kammern verlängerbar. Steuerung und Regelung des Gesamtsystems auf SPS-Basis mit zentraler Steuersoftware - ebenfalls später um weitere Kammern erweiterbar. Die Wartungsleistungen sind ebenfalls Bestandtteil des Auftrags. Der Auftragnehmer muss innerhalb von 48 Stunden auf Störungen reagieren und mit einem deutschsprachigen Mitarbeiter vor Ort sein können. Bieter können einzelne Teile aus der bestehenden Anlage der UniBw M übernehmen, sind hierzu aber nicht verpflichtet. Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2021-11-22 📅
Name: Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH
Postanschrift: Josef-Beyerle-Str 18-1
Postort: Weil der Stadt
Postleitzahl: 71263
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 70336937218 📞
E-Mail: info@mbe-components.com 📧
Land: Böblingen 🏙️
Internetadresse: www.mbe-components.com 🌏
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2021/S 230-603662 (2021-11-22)

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