PECVD Process module an III-V etch Clusrtertool

IHP GmbH - Leibniz-Institut für Innovative Mikroelektronik

Kombinationstool PE CVD Kammer für III-V Prozessierung
Anlagenrichtpreis
Für die unten ausgeschriebene Anlage gilt ein Richtpreis von 0.9 Mill. Euro netto.
Gebrauchswert
Aufgearbeitete und bereits verwendete Anlagen oder Anlagenteile sind aufgrund des erhöhten Sachmangelrisikos ausgeschlossen.
Folgekosten
Für die Abschätzung der Folgekosten nach Ablauf der Garantie ist ein Zeitplan für den planmäßigen Austausch von Anlagenteilen für die folgenden 3 Jahre mit einzureichen.
Geräteevaluierung
Um die Leistungsfähigkeit der Prozesskammern von unterschiedlichen Anbietern beurteilen und vergleichen zu können, wird im Rahmen der Ausschreibung eine Evaluierung durchgeführt werden. Eine Evaluierung wird mit den Anbietern durchgeführt, die die Leistungsbeschreibung vollständig erfüllen. Diesen Anbietern werden Wafer mit einer ausführlichen Anforderungsbeschreibung zur Verfügung gestellt. Innerhalb von 60 Tagen müssen die Wafer bearbeitet sein und die Ergebnisse in Form eines Berichtes vorliegen.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-09-07. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-08-06.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2021-08-06 Auftragsbekanntmachung
2021-11-08 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2021-08-06)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: IHP-2021-073
Kurze Beschreibung:
Kombinationstool PE CVD Kammer für III-V Prozessierung Anlagenrichtpreis Für die unten ausgeschriebene Anlage gilt ein Richtpreis von 0.9 Mill. Euro netto. Gebrauchswert Aufgearbeitete und bereits verwendete Anlagen oder Anlagenteile sind aufgrund des erhöhten Sachmangelrisikos ausgeschlossen. Folgekosten Für die Abschätzung der Folgekosten nach Ablauf der Garantie ist ein Zeitplan für den planmäßigen Austausch von Anlagenteilen für die folgenden 3 Jahre mit einzureichen. Geräteevaluierung Um die Leistungsfähigkeit der Prozesskammern von unterschiedlichen Anbietern beurteilen und vergleichen zu können, wird im Rahmen der Ausschreibung eine Evaluierung durchgeführt werden. Eine Evaluierung wird mit den Anbietern durchgeführt, die die Leistungsbeschreibung vollständig erfüllen. Diesen Anbietern werden Wafer mit einer ausführlichen Anforderungsbeschreibung zur Verfügung gestellt. Innerhalb von 60 Tagen müssen die Wafer bearbeitet sein und die Ergebnisse in Form eines Berichtes vorliegen.
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Postort: Frankfurt (Oder)
Kontakt
Internetadresse: https://www.ihp-microelectronics.com/en/start.html 🌏
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Telefon: +49 335-5625-359 📞
Fax: +49 335-5625-25359 📠
URL der Dokumente: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYY2D/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYY2D 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-08-06 📅
Einreichungsfrist: 2021-09-07 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-08-11 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 154-408811
ABl. S-Ausgabe: 154
Zusätzliche Informationen
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen. Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden. Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben. Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist. Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden. Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYY2D
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Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Kombinationstool PE CVD Kammer für III-V Prozessierung
Anlagenrichtpreis
Für die unten ausgeschriebene Anlage gilt ein Richtpreis von 0.9 Mill. Euro netto.
Gebrauchswert
Aufgearbeitete und bereits verwendete Anlagen oder Anlagenteile sind aufgrund des erhöhten Sachmangelrisikos ausgeschlossen.
Folgekosten
Für die Abschätzung der Folgekosten nach Ablauf der Garantie ist ein Zeitplan für den planmäßigen Austausch von Anlagenteilen für die folgenden 3 Jahre mit einzureichen.
Geräteevaluierung
Um die Leistungsfähigkeit der Prozesskammern von unterschiedlichen Anbietern beurteilen und vergleichen zu können, wird im Rahmen der Ausschreibung eine Evaluierung durchgeführt werden. Eine Evaluierung wird mit den Anbietern durchgeführt, die die Leistungsbeschreibung vollständig erfüllen. Diesen Anbietern werden Wafer mit einer ausführlichen Anforderungsbeschreibung zur Verfügung gestellt. Innerhalb von 60 Tagen müssen die Wafer bearbeitet sein und die Ergebnisse in Form eines Berichtes vorliegen.
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Dauer: 1 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
-Bescheinigung in Steuersachen
Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentralregisteramt durchzuführen
Technische und berufliche Fähigkeiten:
Referenzen:
Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt
Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.
Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:
-Referenzgeber:
-Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer:
-Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung:
-Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
Für die unten ausgeschriebene Anlage gilt ein Richtpreis von 0.9 Mill. Euro netto Angebote über 0.9 Mill. Euro netto werden ausgeschlossen.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2021-11-05 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2021-09-07 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00
Ort des Eröffnungstermins: Frankfurt (Oder)

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschung und Entwicklung
Kontakt
Kontaktperson: Beschaffung
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYY2D/documents 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg
Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen.
Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden.
Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben.
Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist.
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Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden.
Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYY2D

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331/866-1719 📞
Fax: +49 331/866-1652 📠
Quelle: OJS 2021/S 154-408811 (2021-08-06)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2021-11-08)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Kombinationstool PE CVD Kammer für III-V Prozessierung Anlagenrichtpreis Für die unten ausgeschriebene Anlage gilt ein Richtpreis von 0.9 Mill. Euro netto. Gebrauchswert Aufgearbeitete und bereits verwendete Anlagen oder Anlagenteile sind aufgrund des erhöhten Sachmangelrisikos ausgeschlossen. Folgekosten Für die Abschätzung der Folgekosten nach Ablauf der Garantie ist ein Zeitplan für den planmäßigen Austausch von Anlagenteilen für die folgenden 3 Jahre mit einzureichen. Geräteevaluierung Um die Leistungsfähigkeit der Prozesskammern von unterschiedlichen Anbietern beurteilen und vergleichen zu können, wird im Rahmen der Ausschreibung eine Evaluierung durchgeführt werden. Eine Evaluierung wird mit den Anbietern durchgeführt, die die Leistungsbeschreibung vollständig erfüllen. Diesen Anbietern werden Wafer mit einer ausführlichen Anforderungsbeschreibung zur Verfügung gestellt. Innerhalb von 60 Tagen müssen die Wafer bearbeitet sein und die Ergebnisse in Form eines Berichtes vor
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Gesamtwert des Auftrags: 850 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH
Kontakt
Internetadresse: http://www.ihp-microelectronics.com 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-11-08 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-11-12 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 220-577339
Verweist auf Bekanntmachung: 2021/S 154-408811
ABl. S-Ausgabe: 220

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Um die Leistungsfähigkeit der Prozesskammern von unterschiedlichen Anbietern beurteilen und vergleichen zu können, wird im Rahmen der Ausschreibung eine Evaluierung durchgeführt werden. Eine Evaluierung wird mit den Anbietern durchgeführt, die die Leistungsbeschreibung vollständig erfüllen. Diesen Anbietern werden Wafer mit einer ausführlichen Anforderungsbeschreibung zur Verfügung gestellt. Innerhalb von 60 Tagen müssen die Wafer bearbeitet sein und die Ergebnisse in Form eines Berichtes vor
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Verfahren
Vergabekriterien
Kostenkriterium (Name): Preis
Kostenkriterium (Gewichtung): 40%
Kostenkriterium (Name): Wartungskosten/Folgekosten für 3 Jahre nach Ablauf der Garantie (inkl. der Ersatz-/ Verschleißteile)
Kostenkriterium (Gewichtung): 3%
Kostenkriterium (Name): Erfükkung der Kriterien der Evaluierung
weltweit installierte Basis in R&D und Produktion
Lieferzeit
Kompatibilität zur vorhandenen Pilotlinie
Kostenkriterium (Gewichtung): 24%
Kostenkriterium (Name): Erfüllung der Leistungsbeschreibung einschließlich garantierter Prozessparameter

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2021-09-14 📅
Name: SPTS Technologies Limited
Postanschrift: Ringland Way, Newport Gwent
Postort: Wales
Postleitzahl: NP182TA
Land: Vereinigtes Königreich 🇬🇧
Gesamtwert des Auftrags: 847 834 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Nationale Registrierungsnummer: 2021/S 154-408811
Kontakt
Internetadresse: www.ihp-microelectronics.com 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Quelle: OJS 2021/S 220-577339 (2021-11-08)
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Region:
Deutschland Brandenburg Brandenburg Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt