RSML Workstation

Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung

Lieferung und Inbetriebnahme eines Rastersondenmikroskopie- und Lithographie-Arbeitsplatzes (RSML), bestehend aus AFM/SPL-Kopf, Auswerteelektronik, Schwingungsisolierung und Akustikhaube für die Entwicklung von Strukturierungstechnologien und die Untersuchung ihrer Grenzen in Bezug auf Auflösung und Geschwindigkeit. Das System soll eine Auflösung im Sub-nm-Bereich erreichen.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-02-02. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-12-20.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2021-12-20 Auftragsbekanntmachung
2022-03-23 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2021-12-20)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Rastersondenmikroskope
Referenznummer: TU-129/21-201-ZMN
Kurze Beschreibung:
Lieferung und Inbetriebnahme eines Rastersondenmikroskopie- und Lithographie-Arbeitsplatzes (RSML), bestehend aus AFM/SPL-Kopf, Auswerteelektronik, Schwingungsisolierung und Akustikhaube für die Entwicklung von Strukturierungstechnologien und die Untersuchung ihrer Grenzen in Bezug auf Auflösung und Geschwindigkeit. Das System soll eine Auflösung im Sub-nm-Bereich erreichen.
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Rastersondenmikroskope 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Ilm-Kreis 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postleitzahl: 98693
Postort: Ilmenau
Kontakt
Internetadresse: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
Fax: +49 3677-691933 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=431205 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=431205 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-12-20 📅
Einreichungsfrist: 2022-02-02 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-12-24 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 250-659851
ABl. S-Ausgabe: 250
Zusätzliche Informationen
Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3 dieser Bekanntmachung/ Kommunikation angegebenen Internet-Adresse kostenfrei zur Verfügung. Ein Anwendersupport für Bieter steht unter der Rufnummer: 0351 /4203-1422 zur Verfügung. Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE unter dem Link: https://uea.publicprocurement.be/filter?lang=de Im nächsten Schritt „Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer“ anklicken und dann die Option " eine Antwort erstellen" anklicken Bitte weiterhin darauf achten, das im Teil IV Eignungskriterien „JA“ angeben werden muss um alle notwendigen Angaben eintragen zu können. „Möchten Sie die Auswahlkriterien A-D verwenden? „JA“ anklicken. Dann kann die EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml) sowie als PDF-Datei exportiert/ gespeichert werden. Zusätzlich zu den in Abschnitt III dieser Bekanntmachung notwendigen Angaben sind die Teile I-III der EEE auszufüllen. Gemäß §12a ThürVgG die nach diesem Gesetz verpflichtend vorzulegenden rklärungen und Nachweise sind nur von demjenigen Bieter, dem nach Abschluss der Wertung der Angebote der Zuschlag erteilt werden soll (Bestbieter), vorzulegen. Der Bestbieter hat die vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bestimmten Frist vorzulegen.
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Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Ziel des ausgeschriebenen Arbeitsplatzes ist es, die Leistungsfähigkeit von Rastersondenmikroskopie und Rastersondenlithographie an ausgewählten "state of the art" Anwendungen zu untersuchen. Es sollen Strukturen im einstelligen Nanometer-Bereich erzeugen zu können. Durch die Kombination der SPL/AFM-Technologie mit der Nanopositionier- und Nanomesstechnik in Form der Nanofabrikationsmaschine NFM-100 soll mess- und strukturierungstechnisches Neuland betreten werden. Mit dem Arbeitsplatz sollen die Strukturierungstechnologien weiterentwickelt und deren Grenzen in Bezug auf Auflösung und Geschwindigkeit erweitert werden. Anschließend sollen die Ergebnisse auf die Bearbeitung großer Flächen mit der NFM-100 übertragen werden. Dazu werden geeignete Prozessstrategien entwickelt und die Strukturierbarkeit bis auf die molekulare und atomare Ebene am Beispiel des 100 mm Prozessfeldes des NFM-100 demonstriert. Teilaspekte sind die Prozessgeschwindigkeit, Langzeitemissionseigenschaften und Graustufen-lithographie. Die spitzengestützte E-Beam-assistierte Materialabscheidung wird ebenfalls als hoch lokalisierbarer additiver Prozess untersucht.
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Dauer: 1 Tage
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: EFRE-OP 2014-2020
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: TU Ilmenau

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
Nachweis über die Befähigung zur Berufsausübung durch Abgabe der EEE Teil
IV Abschnitt A. Im Formblatt „EEE-Europäische Eigenerklärung“ werden für den
genannten Abschnitt folgende Angaben verlangt:
- Eintragung in das Berufsregister ihres Sitzes oder Wohnsitzes
Das Formblatt "EEE-Einheitliche Europäische Eigenerklärung " steht unter dem
in I.3) genannten Zugang uneingeschränkt und vollständig zur Verfügung. Zum
Ausfüllen kann auch der unter Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung
zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und
Wiederverwenden der EEE genutzt werden.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit durch
Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt B. Im Formblatt „EEE-Europäische
Eigenerklärung“ werden für den genannten Abschnitt folgende Angaben
verlangt:
-Der allgemeine Jahresumsatz des Wirtschaftsteilnehmers der letzten 3
abgeschlossenen Geschäftsjahre ooder der durchschnittliche Jahresumsatz des
Wirtschaftsteilnehmers der letzten 3 Jahre
- der spezifische Jahresumsatz des Wirtschaftsteilnehmers in dem vom Auftrag
abgedeckten Geschäftsbereich der letzten 3 abgeschlosenen Geschäftsjahre oder
der durchschnittliche Jahresumsatz des Wirtschaftsteilnehmers in dem
betreffenden Bereich der letzten 3 Jahre
-Sind die Informationen zum Umsatz (allgemeiner oder spezifischer Umsatz)
nicht für den gesamten vorgegebenen Zeitraum erhältlich, Angabe, an welchem
Datum das Unternehmen des Wirtschaftsteilnehmers gegründet wurde oder
seine Tätigkeit aufgenommen hat.
- Angaben zur Berufshaftpflichtersicherung
Das Formblatt "EEE-Einheitliche Europäische Eigenerklärung " steht unter dem
in I.3) genannten Zugang uneingeschränkt und vollständig zur Verfügung. Zum
Ausfüllen kann auch der unter Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung -
zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und
Wiederverwenden der EEE genutzt werden.
Technische und berufliche Fähigkeiten:
Angaben und Formalitäten, die erforderlich sind, um die Einhaltung der
Auflagen zu überprüfen:
Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe
der EEE Teil IV Abschnitt Cund D (Hinweis: bezogen auf die letzten 3
abgeschlossenen Geschäftsjahre).Im Formblatt „EEE-Europäische Eigenerklärung
“ werden für den genannten Abschnitt folgende Angaben verlangt:
-Angaben zu zu Lieferungen und Dienstleistungen der geannten Art (dem
Auftragsgegenstand vergleichbare Leistungen)
-Angaben zu technischen Fachkräften oder technsichen Stellen
-Angaben zur technischen Ausrüstung und Maßnahmn zur Qualitätssicherung
-Angaben zur Vertragserfülling - Lieferkettenmanagement- und -
überwachungssystem
-Angabe zur Kontrollmöglichkeit der produktionskapazität bzw. seine technische
Leistungsfähigkeit sowie der Qualitätskontrolle
-Angaben zu Ausbildungsnachweisen oder Bescheinigungen über ie berufliche
Befähigung (Dienstleister oder Unternehmen selbst oder seiner Führungskräfte)
-Angaben zu Umweltmanagementmaßnahmen
-Angaben zu den durchschnittlich jährlich Beschäftigtenzahlen und die Zahl
seiner Fürhrungskräfte in den letzten 3 Jahren
-Angaben zu Ausstattung, Geräte und technischen Ausrüstung
-Angaben zur Unterauftragsvergabe
-Bescheinigungen zu Qualitätssicherungsnormen
-Bescheinigungen zur Erfüllung der Anforderungen an die
Umweltmanagementsysteme oder -normen
Das Formblatt "EEE-Einheitliche Europäische Eigenerklärung " steht unter dem
in I.3) genannten Zugang uneingeschränkt und vollständig zur Verfügung. Zum
Ausfüllen kann auch der unter Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung
zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und
Wiederverwenden der EEE genutzt werden.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 09:30
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2022-03-28 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2022-02-02 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 09:30

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Adresse des Käuferprofils: http://www.evergabe-online.de 🌏
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=431205 🌏
Internetadresse: http://www.evergabe-online.de 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen
Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3
dieser Bekanntmachung/ Kommunikation angegebenen Internet-Adresse kostenfrei
zur Verfügung. Ein Anwendersupport für Bieter steht unter der Rufnummer: 0351
/4203-1422 zur Verfügung.
Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der
Im nächsten Schritt „Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer“ anklicken und dann die
Option " eine Antwort
erstellen" anklicken
Bitte weiterhin darauf achten, das im Teil IV Eignungskriterien „JA“ angeben werden
muss um alle notwendigen Angaben eintragen zu können.
„Möchten Sie die Auswahlkriterien A-D verwenden? „JA“ anklicken.
Dann kann die EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml)
sowie als PDF-Datei exportiert/ gespeichert werden.
Zusätzlich zu den in Abschnitt III dieser Bekanntmachung notwendigen Angaben
sind die Teile I-III der EEE auszufüllen.
Gemäß §12a ThürVgG die nach diesem Gesetz verpflichtend vorzulegenden
rklärungen und Nachweise sind nur von demjenigen Bieter, dem nach Abschluss
der Wertung der Angebote der Zuschlag erteilt werden soll (Bestbieter), vorzulegen.
Der Bestbieter hat die vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach
Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bestimmten Frist vorzulegen.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Postanschrift: Jorge-Semprun-Platz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 361-37700 📞
Fax: +49 361-573321059 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren: entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postort: Ilmenau
Postleitzahl: 98693
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
Fax: +49 3677-691933 📠
Internetadresse: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
Quelle: OJS 2021/S 250-659851 (2021-12-20)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-03-23)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 307090.70 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-03-23 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-03-28 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 061-160155
Verweist auf Bekanntmachung: 2021/S 250-659851
ABl. S-Ausgabe: 61

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Spezifikation
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Software / Bedienung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 45
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Garantie & andere Bedingungen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5
Preis (Gewichtung): 100

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-03-22 📅
Name: nano analytik GmbH
Postort: Ilmenau
Land: Deutschland 🇩🇪
Ilm-Kreis 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 307090.70 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2022/S 061-160155 (2022-03-23)
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