Ultrahochvakuum-Sputter-Depositionsanlage mit konfokaler Depositionsgeometrie

Technische Universität Darmstadt

Für die Herstellung von ultradünnen komplexen Legierungsschichten wird eine UHV-Sputter-Depositionsanlage benötigt, die das Co-Deponieren von bis zu vier verschiedenen Materialien in konfokaler Geometrie ermöglicht.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-11-30. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-10-28.

Wer?

• Technische Universität Darmstadt

Wie?

• Öfen und Zubehör › Vakuumöfen

Wo?

• Darmstadt › Darmstadt, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2021-10-28	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2021-10-28)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Vakuumöfen
Referenznummer: A 301/21-148
Kurze Beschreibung:

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Vakuumöfen 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Darmstadt, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Technische Universität Darmstadt
Postanschrift: Karolinenplatz 5
Postleitzahl: 64289
Postort: Darmstadt
Kontakt
Internetadresse: http://www.tu-darmstadt.de 🌏
E-Mail: vergabestelle@pvw.tu-darmstadt.de 📧
Telefon: +49 6151/16-24551 📞
Fax: +49 6151 / 16-24553 📠
URL der Dokumente: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXS0YDQYYHG/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://satellite.dtvp.de/Satellite/notice/CXS0YDQYYHG 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-10-28 📅
Einreichungsfrist: 2021-11-30 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-11-02 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 212-558256
ABl. S-Ausgabe: 212
Zusätzliche Informationen

- Bekanntmachungs-ID: CXS0YDQYYHG

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Insgesamt soll die Prozesskammer mit neun Sputterquellen ausgestattet sein, davon acht 2"-Quellen in kreisförmiger Anordnung und eine 3"-Quelle an zentraler Position. Die Sputterquellen müssen sowohl für DC- als auch RF- Betrieb geeignet sein. Das Substrat muss während der Abscheidung auf bis zu 700GradC geheizt und kontinuierlich rotiert werden können.

Dauer: 12 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Technische Universität Darmstadt Karolinenplatz 5 64289 Darmstadt

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Die unter III.1.1)-III.1.3) verlangten Erklärungen und Nachweise sind ausschließlich unter Verwendung der der Aufforderung zur Angebotsabgabe als Anlagen beigefügten Formblätter zu erbringen. Die Nachweise und Erklärungen sind bei Bietergemeinschaften von allen Mitgliedern der Bietergemeinschaft zu erbringen.

Der Auftraggeber wird von dem für den Zuschlag vorgesehenen Bieter vor Zuschlagserteilung unter Fristsetzung von sämtlichen NU darüber hinaus die Erklärungen nach Ziff. III.1.1.) 1.) bis 2.) und Ziffer III.1.2.)1.) (siehe nachfolgend) anfordern. Werden diese Unterlagen nicht vorgelegt, wird das Angebot ausgeschlossen.

Folgende Erklärungen und Nachweise sind von den Bietern/Bietergemeinschaften einzureichen:

1. Kopie der Anmeldungs- bzw. Eintragungsbescheinigung ins Berufs- oder Handelsregister nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Heimatlandes; andernfalls vergleichbarer Nachweis für die Existenz und den Gegenstand des Unternehmens des Bieters/jedes Mitglieds der Bietergemeinschaft. Der Auszug aus dem Handelsregister darf zum Zeitpunkt des Schlusstermins für den Eingang der Teilnahmeanträge nicht älter als 6 Monate sein.

2. Eigenerklärung des Bieters/der Bietergemeinschaft, dass keine Ausschlussgründe nach §§ 123, 124 GWB vorliegen.

3. Ggf. Bietergemeinschaftserklärung;

4. Ggf. Erklärung zum Nachunternehmereinsatz (bereits mit dem Angebot vorzulegen);

5. Ggf. Nachunternehmerverpflichtungserklärung (im Fall der Eignungsleihe zur Erfüllung der Anforderungen gemäß Zif. III.1.2) und III.1.3) der Bekanntmachung mit dem Angebot vorzulegen, im Fall der reinen Nachunternehmerschaft ohne Eignungsleihe erst auf Verlangen des Auftraggebers).

Der Auftraggeber wird von dem für den Zuschlag vorgesehenen Bieter vor Zuschlagserteilung einen Auszug aus dem Gewerbezentralregister nach §150a GewO iVm. § 19 MiLoG beim Bundesamt für Justiz anfordern.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

Erklärung über das Bestehen einer Haftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme von mindestens 2.500.000,- EUR für Personenschäden je Schadensereignis, 1.000.000,- EUR für Sach- und Vermögensschäden je Schadensereignis, 500.000,- EUR je Schadensereignis, 500.000,- EUR für Allmählichkeitsschäden je Schadensereignis , 250.000,- EUR für Obhuts- und Bearbeitungsschäden einschließlich Schäden durch Abhandenkommen anderer Sachen je Schadensereignis bzw. Erklärung über die Bereitschaft eine Haftpflichtversicherung mit den vorgenannten Deckungssummen im Auftragsfall abzuschließen.

Angabe des Nettogesamtumsatzes des Bieters/der Bietergemeinschaft in den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren;

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2022-01-28 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2021-11-30 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
Kontakt
Kontaktperson: Dez. III E - Einkauf und Materialwirtschaft
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXS0YDQYYHG/documents 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXS0YDQYYHG

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Hessen beim Regierungspräsidium Darmstadt
Postanschrift: Dienstgebäude: Wilhelminenstraße 1-3 Fristenbriefkasten Luisenplatz 2
Postort: Darmstadt
Postleitzahl: 64283
Land: Deutschland 🇩🇪
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Wie: Körper überprüfen
Quelle: OJS 2021/S 212-558256 (2021-10-28)

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