Vakuum-Metallisierungsanlage

Universität Duisburg-Essen

Beschichtungsanlage für Bauelemente und Schaltungen aus III/V-Halbleitern.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-06-22. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-05-17.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Leybold GmbH

Wer?

• Universität Duisburg-Essen

Wie?

Wo?

• Düsseldorf › Duisburg, Kreisfreie Stadt
• Düsseldorf › Essen, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2021-05-17	Auftragsbekanntmachung
2021-07-21	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2021-05-17)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: 26-21 SF
Kurze Beschreibung: Beschichtungsanlage für Bauelemente und Schaltungen aus III/V-Halbleitern.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Essen, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Universität Duisburg-Essen
Postanschrift: Forsthausweg 2, Gebäude LG
Postleitzahl: 47057
Postort: Duisburg
Kontakt
Internetadresse: http://www.uni-due.de 🌏
E-Mail: einkauf@uni-due.de 📧
URL der Dokumente: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY5MD4VS/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY5MD4VS 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-05-17 📅
Einreichungsfrist: 2021-06-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-05-21 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 098-253871
ABl. S-Ausgabe: 98
Zusätzliche Informationen

Die Angebotsöffnung ist nichtöffentlich. Es sind lediglich Vertreter der Vergabestelle befugt, der elektronischen Angebotsöffnung beizuwohnen.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Beschichtungsanlage für Bauelemente und Schaltungen aus III/V-Halbleitern. Die Beschichtungsanlage soll in der Lage sein, dünne Vielschichtsysteme auf III/V Halbleiterwafern mit einem Durchmesser von bis zu 3" abzuscheiden. Die Anlage wird für bis zu 3" große Substrate aus Verbindungshalbleiter eingesetzt. Das Konzept der Anlage ist in Abb. 1 dargestellt. Es sollen 2 unterschiedliche Technologien in separaten Kammern angeboten werden:

— Die anisotrope Abscheidung aus einer Punktquelle für Lift-Off Strukturierung mittels tiefer sub-mikron Fotolackstrukturen erfolgt mittels Aufdampftechnik und zur Erhöhung der Oberflächenkontrolle mittels vorgeschalteter Präparationskammer,

— Die isotrope Abscheidung aus einer großflächigen Quelle für konforme und effiziente Bedeckung von Kanten erfolgt mittels Zerstäubungstechnik (Sputtern).

Näheres entnehmen Sie bitte der Leistungsbeschreibung.

Dauer: 1 Tage
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Universität Duisburg-Essen

Universitätsstr. 2

45141 Essen

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Neben der Leistungsbeschreibung sowie dem Vordruck EU_325 gelten die Vertrags- und Vergabebedingungen des Landes Nordrhein-Westfalen in der aktuell gültigen Fassung, mit veröffentlicht in diesem Projektforum unter den Vergabeunterlagen. Auch im Fall des Zuschlags, werden Ihre AGB nicht anerkannt, sollten diese auf Schriftstücken wie Angeboten, Rechnungen oder Lieferscheinen abgebildet sein.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2021-07-22 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2021-07-22 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00
Ort des Eröffnungstermins: Es handelt sich um eine nichtöffentliche Öffnung. Eine Ortsangabe unterbleibt aus diesem Grund.
Zusätzliche Informationen:

Die Angebotsöffnung ist nichtöffentlich.

Es sind lediglich Vertreter der Vergabestelle befugt, der elektronischen Angebotsöffnung beizuwohnen.

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Einkauf
Internetadresse: www.uni-due.de 🌏
Dokumente URL: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY5MD4VS/documents 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

Bewerber-/Bieterfragen können nur über das Bewerber-/Bietertool „Kommunikation“ auf der Vergabeplattform www.evergabe.nrw.de bis zur Fristsetzung gestellt werden und werden nur über die Vergabeplattform beantwortet. Der Auftraggeber weist darauf hin, dass interessierte Unternehmen im Falle von Bewerber-/Bieterfragen und/oder notwendigen Änderungen an den Vergabeunterlagen nur kontaktiert werden können, wenn sie sich unter Angabe einer E-Mail-Adresse freiwillig bei der Vergabeplattform www.evergabe.nrw.de registrieren. Soweit eine freiwillige Registrierung nicht erfolgt, können keine zusätzlichen Informationen übermittelt werden. Nicht registrierte Bewerber/Bieter sind selber dafür verantwortlich, auf der Vergabeplattform regelmäßig zu prüfen, ob neue Nachrichten vorliegen. Das Risiko der vollständigen und lesbaren Übermittlung des Auskunftsersuchens trägt der anfragende Bewerber/Bieter.

Bekanntmachungs-ID: CXPNY5MD4VS

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Rheinland, c/o Bezirksregierung Köln
Postanschrift: Zeughausstraße 2-10
Postort: Köln
Postleitzahl: 50667
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 221-1473045 📞
E-Mail: vkrhld-k@bezreg-koeln.nrw.de 📧
Fax: +49 221-1472889 📠
Internetadresse: http://www.brd.nrw.de 🌏
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt.

Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen.

Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen.

Ein Antrag auf Nachprüfung ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, zu stellen.

Ein Antrag zur Geltendmachung der Unwirksamkeit des vergebenen Auftrages ist innerhalb von 30 Kalendertagen bei der in nach VI.4.1) genannten Stelle einzulegen, gerechnet vom Tage nach

Veröffentlichung dieser Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union.

Quelle: OJS 2021/S 098-253871 (2021-05-17)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2021-07-21)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 535 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-07-21 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-07-26 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 142-377525
Verweist auf Bekanntmachung: 2021/S 098-253871
ABl. S-Ausgabe: 142
Zusätzliche Informationen

Es gelten die Vertrags- und Vergabebedingungen des Landes Nordrhein-Westfalen in der aktuell gültigen Fassung, mitveröffentlicht in diesem Projektforum unter den Vergabeunterlagen. Auch im Fall des Zuschlags, werden Ihre AGB nicht anerkannt, sollten diese auf Schriftstücken wie Angeboten, Rechnungen oder Lieferscheinen abgebildet sein. Bewerber-/Bieterfragen können nur über das Bewerber-/Bietertool „Kommunikation“ auf der Vergabeplattform www.evergabe.nrw.de bis zur Fristsetzung gestellt werden und werden nur über die Vergabeplattform beantwortet. Der Auftraggeber weist darauf hin, dass interessierte Unternehmen im Falle von Bewerber-/Bieterfragen und/oder notwendigen Änderungen an den Vergabeunterlagen nur kontaktiert werden können, wenn sie sich unter Angabe einer E-Mail-Adresse freiwillig bei der Vergabeplattform www.evergabe.nrw.de registrieren. Soweit eine freiwillige Registrierung nicht erfolgt, können keine zusätzlichen Informationen übermittelt werden. Nicht registrierte Bewerber/Bieter sind selber dafür verantwortlich, auf der Vergabeplattform regelmäßig zu prüfen, ob neue Nachrichten vorliegen. Das Risiko der vollständigen und lesbaren Übermittlung des Auskunftsersuchens trägt der anfragende Bewerber/Bieter. Bekanntmachungs-ID: CXPNY5MDEDB

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Spezifikationen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50
Preis (Gewichtung): 50

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2021-07-16 📅
Name: Leybold GmbH
Postanschrift: Bonner Str. 498
Postort: Köln
Postleitzahl: 50968
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2213470 📞
E-Mail: info@leybold.com 📧
Land: Duisburg, Kreisfreie Stadt 🏙️
Internetadresse: https://www.leybold.com/de/ 🌏
Gesamtwert des Auftrags: 535 000 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2

Referenz
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXPNY5MDEDB

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Ein Antrag zur Geltendmachung der Unwirksamkeit des vergebenen Auftrages ist innerhalb von 30 Kalendertagen bei der in nach VI.4.1 genannten Stelle einzulegen, gerechnet vom Tage nach

Quelle: OJS 2021/S 142-377525 (2021-07-21)

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