Beschreibung der Beschaffung
Leistung: PVD-Cluster-Tool
Vorbemerkung:
Im Auftragsfall umfasst die Leistungsbeschreibung alle erforderlichen Soft- und Hardwarebestandteile, die die ordnungsgemäße Nutzung der zu liefernden Geräte im Sinne der Spezifikation gewährleisten.
Sind bei den zu liefernden Geräten und Komponenten bei der Spezifikation bestimmte Typen angegeben oder ein Vermerk auf einen Hersteller, so sind im Angebot bei Nachweis der Funktionsgleichheit und Bauart Alternativen möglich.
Alle Angebote sind inkl. Lieferung frei Haus, Transportversicherung, Verpackung, Aufstellung, Installation, Inbetriebnahme, Nachweis der technischen und technologischen Funktionstüchtigkeit und Einweisung.
Die Geräte müssen alle gültigen EU-Normen und EU-Sicherheitsvorschriften erfüllen inkl. CE-Kennzeichnung.
Die geplanten Investitionen im Rahmen des Projektes „Zukunftssichere Entwicklungsumgebung von Beschichtungstechnologien für großflächige Substrate“ sind in den stetigen Entwicklungsprozess integriert, der sich zum Ziel setzt, die Marktfähigkeit von bestehenden technologischen Lösungen für essentielle MEMS- und MOEMS-Bauelemente auszubauen und verstärkt auf dem Weltmarkt zu etablieren.
Los-Nr: 1 Bezeichnung: PVD-Cluster-Tool
Lieferumfang:
CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH benötigt eine automatisierte PVD-Beschichtungsanlage für die Bearbeitung von Silizium-Wafern im CMOS-Bereich.
Das modulare Beschichtungstool der neuesten Generation auf der Basis von bewährter und technologisch ausgereifter Anlagentechnik soll eine flexible Prozessführung bei gleichzeitigem hohen Grad an Prozesskontrolle ermöglichen. Das System soll eine möglichst kleine Stellfläche benötigen und ausbaufähig/anschlussfähig für weitere Prozesskammern sein. Der Lieferumfang umfasst neben der ausführlichen Dokumentation, die Inbetriebnahme und Einweisung des Personals am CiS.
Eine Kontrollsoftware, die sowohl Beschichtungsrezepte als auch Beschichtungsparameter verwaltet und regelt, muss anlagenseitig integriert sein.
Raumplan, mit vorhandenen Medien und Transportwege können auf Anfrage zugestellt werden.
Folgende Basiskonfiguration muss enthalten sein:
A. Batch-Sputter-Prozesskammer
— Alle Kammer- und Türmaterialien aus Edelstahl 1.304 oder besser,
— Multimagnetronkammer – Top-Down-Prozess,
— Wassergekühlte Chargenvorrichtung für 6 Stück 150 mm Wafer,
— Substratdrehung – kontinuierlich oder indexiert 360 ,
— Pneumatisch betätigter Absperrschieber zwischen Ladeschleuse und Prozesskammer,
— Abnehmbarer Liner (extra als Ersatzsatz),
— Basisdruck im Bereich von 10E-8 mbar.
A1. Vakuumkomponenten
— Regulierbarer Sputterdruck (Baratron),
— Vollbereichsmanomater,
— Vorvakuum- und Turbopumpe,
— Mehrstufige Drosselklappe.
A2. Prozessregelung
— 8"-Magnetrons (3x),
— Softwaregestützter Wechsel zwischen den Magnetrons,
— DC-Generator 3-5kW (angeschlossen an zwei Targets),
— Substratreinigung (Rücksputtern, keine Glimme),
— RF-Generator 1-3kW (angeschlossen an ein Target und Rücksputtersposition/Vorätzer),
— Schichthomogenität über 6"-Wafer +/- 5 %,
— Automatischen Matchbox.
A3. Gasversorgung
— Spülgas N2,
— MFCs (mindestens 3, kalibriert für Ar, O2 und N2),
— Anschlussmöglichkeit für weitere MFCs.
B. Kühlwasserregelung für das Clustersystem
Allgemein: Das Clustertool verfügt über ein Kühlwassersystem mit Temperaturmessung und Durchflussregelung. Relevante Einzelwerte sind anzuzeigen.
C. Dokumentation
Die Dokumentation in deutscher oder englischer Sprache muss die Beschreibung, Bedienung und Wartung aller Komponenten enthalten. Sie ist sowohl in Papierform als auch in digitaler Version beizustellen.
D. Steuersoftware
Rezepte müssen einfach generierbar und überschaubar erstellbar sein.
Im laufenden Prozess muss der Abarbeitungsstand der einzelnen Prozessschritte ersichtlich sein.
Relevante Machinen- und Prozessparameter müssen erfasst und gespreichert werden. Die umfangreiche Datenerfassung soll als Unterstützung der Prozessentwicklung dienen.
— Das System soll vollautomatisch betrieben werden können aber auch gegebenenfalls manuell,
— Die Rezeptdatenverwaltung muss dem aktuellen Stand der üblichen Speicherkapazität entsprechen,
— Maschinenbetrieb und Prozessausführung über SPS-Steuerung,
— PC mit windows-basiertem Interface für die Bearbeitung von Rezepten und veschiedenen Datenprotokollierfunktionen,
— Nutzerebenen mit verschiedene Lese- und Schreibrechten müssen definierbar sein (induviduelle Logins und Passwörter),
— Bildschirmüberwachung der laufenden Abscheideprozesse.
D1. Benutzerebenen
Die Benutzeroberfläche ist in verschiedenen Bedienebenen eingeteilt. Es müssen unterschiedlichen Lese- und Schreibrechte vergeben werden.
Mindestvorgabe: Unterteilung in Bediener, Service und Administrator (in diesem Fall entsprechender Entwicklungsingenieur)
D2. Datenerfassung/-protokollierung
— Datenerfassung pro Wafer,
— Erfassung und Hinterlegung von Störungen (maschinen- oder prozessseitig),
— Datenexport als CSV-Datei oder direkt an SQL-Server.
D3. Remote-Dienste
— Remote – Zugriff zur Unterstützung und Fehlerbehebung,
— Software-Updates,
— Rezepterstellung in Kooperation mit dem Anlagenhersteller.
E. Weiteres
— Garantie von 12 Monaten ab Endabnahme der Anlage,
— Transport, Versicherung, Zollgebühren, Aufstellung und Installation beim Kunden und Reisekosten sind im Endpreis inklusive auszuweisen,
— Das Gerät muss über ausreichende Sicherungsfunktionen/Notausschalter verfügen.
F. Liefer- und Anschlussbedingungen
— Verpackung, Versand, Transportversicherung inklusive,
— Aufstellung, Installation, Inbetriebnahme inklusive,
— Nachweis der Funktionsfähigkeit aller Komponenten inklusive,
— Einweisung und Training für 3 Nutzer inklusive Schulungskosten.