ZEBS

CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

Zukunftssichere Entwicklungsumgebung von Beschichtungstechnologien für großflächige Substrate
Leistung: PVD-Cluster-Tool.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2021-04-24. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2021-03-19.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Polyteknik AS

Wer?

• CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Thüringen › Erfurt, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2021-03-19	Auftragsbekanntmachung
2021-05-28	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2021-03-19)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: ZEBS 2021
Kurze Beschreibung:

Zukunftssichere Entwicklungsumgebung von Beschichtungstechnologien für großflächige Substrate Leistung: PVD-Cluster-Tool.

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Erfurt, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot ausschließlich für ein Los
Vergabekriterien
Niedrigster Preis

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
Postanschrift: Konrad-Zuse-Straße 14
Postleitzahl: 99099
Postort: Erfurt
Kontakt
Internetadresse: http://www.cismst.de 🌏
E-Mail: clauf@cismst.de 📧
URL der Dokumente: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YENDWP1/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YENDWP1 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-03-19 📅
Einreichungsfrist: 2021-04-24 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-03-24 📅
Datum des Beginns: 2021-05-25 📅
Datum des Endes: 2021-09-15 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 058-146125
ABl. S-Ausgabe: 58
Zusätzliche Informationen

Mittelherkunft aus Landesmitteln in Anlehnung an die Richtlinie des Freistaates Thüringen zur Förderung von Forschung, Technologie undInnovation (FTI-Richtlinie) vom 18.8.2015 (ThürStAnz. Nr. 36/2015 vom 7.9.2015, S. 1494-1512), geändert am 17.12.2018, in Kraft getreten am 18.12.2018 (ThürStAnz.-Nr. 3/2019 vom 21.1.2019, S. 201-203) Vorhabens-Nr.: 2021 WIN 0002

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Zukunftssichere Entwicklungsumgebung von Beschichtungstechnologien für großflächige Substrate

Leistung: PVD-Cluster-Tool.

Geschätzter Gesamtwert: 450 000 EUR 💰
Bezeichnung des Loses: PVD-Cluster-Tool
Losnummer: 1
Kurze Beschreibung:

Leistung: PVD-Cluster-Tool

Vorbemerkung:

Im Auftragsfall umfasst die Leistungsbeschreibung alle erforderlichen Soft- und Hardwarebestandteile, die die ordnungsgemäße Nutzung der zu liefernden Geräte im Sinne der Spezifikation gewährleisten.

Sind bei den zu liefernden Geräten und Komponenten bei der Spezifikation bestimmte Typen angegeben oder ein Vermerk auf einen Hersteller, so sind im Angebot bei Nachweis der Funktionsgleichheit und Bauart Alternativen möglich.

Alle Angebote sind inkl. Lieferung frei Haus, Transportversicherung, Verpackung, Aufstellung, Installation, Inbetriebnahme, Nachweis der technischen und technologischen Funktionstüchtigkeit und Einweisung.

Die Geräte müssen alle gültigen EU-Normen und EU-Sicherheitsvorschriften erfüllen inkl. CE-Kennzeichnung.

Die geplanten Investitionen im Rahmen des Projektes „Zukunftssichere Entwicklungsumgebung von Beschichtungstechnologien für großflächige Substrate“ sind in den stetigen Entwicklungsprozess integriert, der sich zum Ziel setzt, die Marktfähigkeit von bestehenden technologischen Lösungen für essentielle MEMS- und MOEMS-Bauelemente auszubauen und verstärkt auf dem Weltmarkt zu etablieren.

Los-Nr: 1 Bezeichnung: PVD-Cluster-Tool

Lieferumfang:

CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH benötigt eine automatisierte PVD-Beschichtungsanlage für die Bearbeitung von Silizium-Wafern im CMOS-Bereich.

Das modulare Beschichtungstool der neuesten Generation auf der Basis von bewährter und technologisch ausgereifter Anlagentechnik soll eine flexible Prozessführung bei gleichzeitigem hohen Grad an Prozesskontrolle ermöglichen. Das System soll eine möglichst kleine Stellfläche benötigen und ausbaufähig/anschlussfähig für weitere Prozesskammern sein. Der Lieferumfang umfasst neben der ausführlichen Dokumentation, die Inbetriebnahme und Einweisung des Personals am CiS.

Eine Kontrollsoftware, die sowohl Beschichtungsrezepte als auch Beschichtungsparameter verwaltet und regelt, muss anlagenseitig integriert sein.

Raumplan, mit vorhandenen Medien und Transportwege können auf Anfrage zugestellt werden.

Folgende Basiskonfiguration muss enthalten sein:

A. Batch-Sputter-Prozesskammer

— Alle Kammer- und Türmaterialien aus Edelstahl 1.304 oder besser,

— Multimagnetronkammer – Top-Down-Prozess,

— Wassergekühlte Chargenvorrichtung für 6 Stück 150 mm Wafer,

— Substratdrehung – kontinuierlich oder indexiert 360

— Pneumatisch betätigter Absperrschieber zwischen Ladeschleuse und Prozesskammer,

— Abnehmbarer Liner (extra als Ersatzsatz),

— Basisdruck im Bereich von 10E-8 mbar.

A1. Vakuumkomponenten

— Regulierbarer Sputterdruck (Baratron),

— Vollbereichsmanomater,

— Vorvakuum- und Turbopumpe,

— Mehrstufige Drosselklappe.

A2. Prozessregelung

— 8"-Magnetrons (3x),

— Softwaregestützter Wechsel zwischen den Magnetrons,

— DC-Generator 3-5kW (angeschlossen an zwei Targets),

— Substratreinigung (Rücksputtern, keine Glimme),

— RF-Generator 1-3kW (angeschlossen an ein Target und Rücksputtersposition/Vorätzer),

— Schichthomogenität über 6"-Wafer +/- 5 %,

— Automatischen Matchbox.

A3. Gasversorgung

— Spülgas N2,

— MFCs (mindestens 3, kalibriert für Ar, O2 und N2),

— Anschlussmöglichkeit für weitere MFCs.

B. Kühlwasserregelung für das Clustersystem

Allgemein: Das Clustertool verfügt über ein Kühlwassersystem mit Temperaturmessung und Durchflussregelung. Relevante Einzelwerte sind anzuzeigen.

C. Dokumentation

Die Dokumentation in deutscher oder englischer Sprache muss die Beschreibung, Bedienung und Wartung aller Komponenten enthalten. Sie ist sowohl in Papierform als auch in digitaler Version beizustellen.

D. Steuersoftware

Rezepte müssen einfach generierbar und überschaubar erstellbar sein.

Im laufenden Prozess muss der Abarbeitungsstand der einzelnen Prozessschritte ersichtlich sein.

Relevante Machinen- und Prozessparameter müssen erfasst und gespreichert werden. Die umfangreiche Datenerfassung soll als Unterstützung der Prozessentwicklung dienen.

— Das System soll vollautomatisch betrieben werden können aber auch gegebenenfalls manuell,

— Die Rezeptdatenverwaltung muss dem aktuellen Stand der üblichen Speicherkapazität entsprechen,

— Maschinenbetrieb und Prozessausführung über SPS-Steuerung,

— PC mit windows-basiertem Interface für die Bearbeitung von Rezepten und veschiedenen Datenprotokollierfunktionen,

— Nutzerebenen mit verschiedene Lese- und Schreibrechten müssen definierbar sein (induviduelle Logins und Passwörter),

— Bildschirmüberwachung der laufenden Abscheideprozesse.

D1. Benutzerebenen

Die Benutzeroberfläche ist in verschiedenen Bedienebenen eingeteilt. Es müssen unterschiedlichen Lese- und Schreibrechte vergeben werden.

Mindestvorgabe: Unterteilung in Bediener, Service und Administrator (in diesem Fall entsprechender Entwicklungsingenieur)

D2. Datenerfassung/-protokollierung

— Datenerfassung pro Wafer,

— Erfassung und Hinterlegung von Störungen (maschinen- oder prozessseitig),

— Datenexport als CSV-Datei oder direkt an SQL-Server.

D3. Remote-Dienste

— Remote – Zugriff zur Unterstützung und Fehlerbehebung,

— Software-Updates,

— Rezepterstellung in Kooperation mit dem Anlagenhersteller.

E. Weiteres

— Garantie von 12 Monaten ab Endabnahme der Anlage,

— Transport, Versicherung, Zollgebühren, Aufstellung und Installation beim Kunden und Reisekosten sind im Endpreis inklusive auszuweisen,

— Das Gerät muss über ausreichende Sicherungsfunktionen/Notausschalter verfügen.

F. Liefer- und Anschlussbedingungen

— Verpackung, Versand, Transportversicherung inklusive,

— Aufstellung, Installation, Inbetriebnahme inklusive,

— Nachweis der Funktionsfähigkeit aller Komponenten inklusive,

— Einweisung und Training für 3 Nutzer inklusive Schulungskosten.

Geschätzter Wert ohne MwSt: 450 000 EUR 💰
Zusätzliche Informationen:

Vorhabens-Nr.: 2021 WIN 0002

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

Konrad-Zuse-Straße 14

99099 Erfurt

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

„Die nachstehenden Ausführungen gelten für Los 1:

Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter, jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer, auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will, vorzulegen:

1) Formblatt L 124_EU Eigenerklärung zur Eignung mit Erklärungen zu:

— Angabe über Ausschlussgründe gemäß § 42 VgV in Verbindung mit §§ 123 und § 124 GWB,

— Angabe zu Insolvenzverfahren und Liquidation,

— Angabe zur Zahlung von Steuern und Abgaben und Beiträgen zur Sozialversicherung.

2) Berufs- bzw. Handelsregisterauszug,

3) gültige Unbedenklichkeitsbescheinigung des Finanzamtes – soweit Finanzamt Bescheinigungen ausstellt,

4) gültige Unbedenklichkeitsbescheinigung der tariflichen Sozialkasse – soweit Betrieb beitragspflichtig,

5) Freistellungsbescheinigung nach § 48b EstG,

6) Eintragung in der Handwerksrolle oder bei der Industrie- oder Handwerkskammer oder sonstiger Nachweis.

Da die Vergabestelle nach § 36 Abs. 5 Satz 1 VgV gehalten ist, vor der Zuschlagserteilung in Bezug auf reine Nachunternehmer die Voraussetzungen des §§ 123, 124 GWB zu prüfen, sind die Unterlagen 1) – 6) ggf. vom Nachunternehmer (ohne Eignungsleihe)

Auf gesondertes Anfordern vorzulegen.

Der Nachweis einer Befähigung zur Berufsausübung kann auch durch die gültige Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten Präqualifikationsverfahrens geführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG).

Technische und berufliche Fähigkeiten:

Möglicherweise geforderte Mindeststandards

Die nachstehenden Ausführungen gelten für Los 1:

Vorlage geeigneter Referenzen (mindestens eine Referenz) über früher ausgeführte Liefer- und Dienstleistung der in den letzten höchstens drei Jahren erbrachten wesentlichen Leistungen gemäß Ziffer IV der Eigenerklärung zur Eignung (Formblatt L 124_EU)

Aus der Beschreibung der Referenz muss klar erkennbar sein, welche Leistungen der Bewerber oder das Mitglied der Bewerbergemeinschaft oder ein Dritter, auf dessen Leistungsfähigkeit abgestellt wird, selbstdurchgeführt hat. Die bloße untergeordnete Mitwirkung ist nicht ausreichend. Der Auftraggeber behält sich die Überprüfung der Angaben bei den Referenzauftraggebern sowie eigene Ermittlungen vor. Die Ergebnisse der eigenen Ermittlungen werden bei der Bewertung Berücksichtigung finden.

7) Bescheinigung über die ordnungsgemäße Ausführung und das Ergebnis der genannten Leistungen

Hinweis für die Bieter: Hat ein Bieter in den letzten 12 Monaten vor Ablauf der Angebotsfrist bereits die Nachweise vorgelegt, so hat er gemäß § 7 Abs. 2a ThürVgG den Auftraggeber unter Benennung des Vergabeverfahrens darauf hinzuweisen. Der Nachweis der technischen und beruflichen Leistungsfähigkeit kann auch durch die gültige Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten Präqualifikationsverfahrensgeführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG). Es muss mindestens eine Referenz vorgelegt werden.

Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

„Diese Ausführungen gelten für Los 1:

Ausführungsbedingungen nach dem Thüringer Vergabegesetz:

— Verpflichtung gemäß § 12 und 15 ThürVgG – Nachunternehmereinsatz, gemäß § 17 ThürVgG – Kontrollen sowie § 18 ThürVgG – Sanktionen,

— Verpflichtung zur Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12 Abs. 2 ThürVgG),

— Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG)“.

Gemäß § 12a Abs. 2 ThürVgG weisen wir darauf hin, dass der Bestbieter im Falle der beabsichtigten Zuschlagserteilung die nach dem ThürVgG verpflichtend vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bemessenen Frist vorlegen muss und dass, bei nicht fristgerechter Vorlage, das Angebot von der Wertung auszuschließen ist.

„Es handelt sich dabei um folgende Erklärungen und Nachweise:

— Formblatt „Verpflichtung gemäß § 12 und 15 ThürVgG – Nachunternehmereinsatz, gemäß § 17 ThürVgG -Kontrollen sowie § 18 ThürVgG – Sanktionen,

— Formblatt „Verpflichtung zur Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12 Abs. 2 ThürVgG)“,

— Formblatt „Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG)“.

Zudem müssen im Falle eines anfänglichen Nachunternehmereinsatzes spätestens vor der Auftragserteilung folgende Formblätter beim Auftraggeber vorliegen:

— Formblatt „Verpflichtung des Nachunternehmers zur Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12 Abs. 2 ThürVgG)“,

Der Bestbieter muss im Falle der beabsichtigten Zuschlagserteilung die nach dem ThürVgG verpflichtend vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bemessenen Frist vorlegen. Bei nicht fristgerechter Vorlage ist das Angebot von der Wertung auszuschließen.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2021-06-30 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2021-04-26 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 09:00
Ort des Eröffnungstermins: Konrad-Zuse-Str. 14
99099 Erfurt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: mit öffentlichen Mitteln geförderte Forschungseinrichtung
Kontakt
Internetadresse: www.cismst.de 🌏
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YENDWP1/documents 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YENDWP1

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Freistaats Thüringen beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Postanschrift: Jorge-Semprún-Platz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

„Der Nachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 GWB unzulässig, soweit:

1) der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB bleibt unberührt,

2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

4) mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.“

Quelle: OJS 2021/S 058-146125 (2021-03-19)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2021-05-28)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 448 700 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-05-28 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-06-02 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 105-276249
Verweist auf Bekanntmachung: 2021/S 058-146125
ABl. S-Ausgabe: 105
Zusätzliche Informationen

Mittelherkunft aus Landesmitteln in Anlehnung an die Richtlinie des Freistaates Thüringen zur Förderung von Forschung, Technologie und Innovation (FTI-Richtlinie) vom 18.8.2015 (ThürStAnz. Nr. 36/2015 vom 7.9.2015, S. 1494-1512), geändert am 17.12.2018, in Kraft getreten am 18.12.2018 (ThürStAnz.-Nr. 3/2019 vom 21.1.2019, S. 201-203) Vorhabens-Nr.: 2021 WIN 0002

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

— DC-Generator 3-5kW (angeschlossen an 2 Targets),

Die Dokumentation in deutscher oder englischer Sprache muss die Beschreibung, Bedienung und Wartung aller Komponenten enthalten. Sie ist sowohl in Papierform als auch in digitaler Version

Beizustellen.

Zusätzliche Informationen:

Mittelherkunft aus Landesmitteln in Anlehnung an die Richtlinie des Freistaates Thüringen zur Förderung von Forschung, Technologie und Innovation (FTI-Richtlinie) vom 18.8.2015 (ThürStAnz. Nr. 36/2015 vom 7.9.2015, S. 1494-1512), geändert am 17.12.2018, in Kraft getreten am 18.12.2018 (ThürStAnz.-Nr. 3/2019 vom 21.1.2019, S. 201-203)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2021-05-25 📅
Name: Polyteknik AS
Postanschrift: Moellegade 21
Postort: Oestervraa
Postleitzahl: 9750
Land: Dänemark 🇩🇰
Telefon: +45 96892800 📞
E-Mail: sales@polyteknik.dk 📧
Land: Nordjylland 🏙️
Internetadresse: http://polyteknik.com 🌏
Gesamtwert des Auftrags: 448 700 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Referenz
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YENRR4Q
Quelle: OJS 2021/S 105-276249 (2021-05-28)

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