Beschreibung der Beschaffung
Zentrale Laborgasversorgung:
2 St. Entspannungsstationen halbautomatische Umschaltung für Druckgasflaschenbündelversorgung von Argon u. Sauerstoff,
18 St. Entspannungsstationen manuell u. automatisch für Einzelflaschenversorgung von 14 Prozessgasen (inert, brennbar, korrosiv/toxisch, selbstentzündlich),
3.500 m Rohrleitung Edelstahl 316L, orbitalgeschweißt, DN6 - DN40, Qualitäten: öl- und fettfrei, ziehpoliert, elektropoliert,
2.400 St. Formteile Edelstahl 316L, orbitalgeschweißt, DN6 - DN40, Qualitäten: öl- und fettfrei, ziehpoliert, elektropoliert,
560 St. Armaturen/ Entnahmestellen, Edelstahl 316/2316L, doppelklemmring- und VCR-verschraubt, Qualitäten: öl- u. fettfrei, elektropoliert.
Zentrale Druckluftversorgung:
1 St. Schraubenkompressor 40-190 Nm³/h,
1 St. Kolbenkompressor 120 Nm³/h,
3 St. Druckluftbehälter 1.000 l,
1 St. Adsorptionstrockner,
60 m Rohrleitung Edelstahl 316L, orbitalgeschweißt, DN10 - DN50, Qualität: öl- u. fettftrei,
20 St.Kugelhähne Edelstahl 316, DN10 - DN50.
Zentrale Stickstoffversorgung:
1 St. Stickstoffgenerator 15 Nm³/h Qualität 5.0,
1 St. Druckluftbehälter 1.000 l,
1 St. Purifier N2 Edelstahl 316L Qualität 6.0,
65 m Rohrleitung Edelstahl 316L, orbitalgeschweißt, DN10 - DN25, Qualitäten: ziehpoliert, elektropoliert,
17 St. Membranventile Edelstahl 316L, 1/2" - 1".
Zentrale Vakuumversorgung:
1 St. Vakuumpumpstand mit 2 St.Klauenvakuumpumpen 120 m³/h u. 1 St. Vakuumbehälter 300 l,
780 m Rohrleitung PP-H DN25 - DN100,
60 St. Entnahmestellen Vakuum.
Gassteuerung:
vollautomatische Steuerung der Entspannungsstationen der kritischen Prozessgase.
Gaswarnanlage:
Gaswarnanlage zur Überwachung von O2, H2, CH4, C2H2, SiH4, Si2H6, WF6, BCL3, NH3 im Gasraum sowie Reinraum- und Laborbereich,
43 St. Gassensoren u. Transmitter.