Beschichtungsanlage mit konfogalen Magnetron-Quellen

Westsächsische Hochschule Zwickau

Die Westsächsische Hochschule Zwickau beabsichtigt für Lehre und Forschung und den Kauf einer Beschichtungsanlage mit konfokalen Magnetron-Quellen.
Anforderungen an die Gesamtanlage und Steuerung
1.1 Prozesskammer mit drei Sputterquellen und einer Ionenquelle
1.2 Schleuse mit Einzelsubstrat (Carrier)
1.3 Automatischer Rezeptablauf (Quellsteuerung, Bewegungssteuerung, Shuttersteuerung….)
1.4 Bei Multischichten müssen für jede Einzelschicht Zeit- und Quellleistungen vorgebbar sein (z.B. über ascii-Tabelle)
1.5 Protokollierung wesentlicher Prozessparameter (Drücke, elektrische Parameter der Quellen, Bewegungen, …)
1.6 Substratanforderungen
• Durchmesser bis 150mm
• Dicke bis 50mm (Mindestanforderung: 30mm)
• Masse bis 1,5kg
1.7 Vakuum- und Prozessgasanforderungen
• Vakuumerzeugung mit trockenlaufenden Pumpen
• Prozesskammer: pEnd <10-6 mbar nach 24h Pumpzeit
• Schleusenkammer: pEnd <10-5 mbar
• Prozessgase: Ar, O2, N2 (für jedes Gerät jeweils einen eigenen Kanal)
1.8 Beschichtungsquellen
• Konzentrische Anordnung von 3 zirkularen Beschichtungsquellen (Anordnung möglichst senkrecht zur Substratoberfläche und unter möglichst geringem Abstand)
• Targetgröße: rund 100mm Durchmesser
• Quellen 1 und 2: DC Magnetrons, die prinzipiell auch mit RF-Anregung betrieben werden können (d.h. Verwendung koaxialer Kabel); DC-Leistungsversorgungen: mind. 1kW, stabile Entladung mit Ar bis 1.10-3 mbar möglich
• Quelle 3: RF-Magnetron; Leistungsversorgung: f=13,56 MHz, Pmax = 1,2…..1,5 kW
• Grundausstattung mit folgenden Targetmaterialien: Al, Ti, Si mit Reinheiten ≥ 3N und Targetdicken = 5-6mm
1.9 Ätzquelle
• RF-Ionenquelle, die auf den konfokalen Punkt der Anlage ausgerichtet ist
1.10 Substratbewegung
• Eigenrotation mit f=1Hz
• (Manuelle) Einstellung des Abstandes zwischen Substratmittelpunkt und konfokalem Punkt der Sputterquellen

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-06-03. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-04-29.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2022-04-29 Auftragsbekanntmachung
2022-07-22 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2022-04-29)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Westsächsische Hochschule Zwickau
Postanschrift: Kornmarkt 1
Postort: Zwickau
Postleitzahl: 08056
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 375-536-0 📞
E-Mail: beschaffungswesen@fh-zwickau.de 📧
Region: Zwickau 🏙️
URL: www.fh-zwickau.de 🌏
Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe.de/unterlagen/2568724/zustellweg-auswaehlen 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe.de 🌏

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Beschichtungsanlage mit konfogalen Magnetron-Quellen ÖA-EU 07-22
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Kurze Beschreibung:
“Die Westsächsische Hochschule Zwickau beabsichtigt für Lehre und Forschung und den Kauf einer Beschichtungsanlage mit konfokalen...”    Mehr anzeigen
Geschätzter Wert ohne MwSt: EUR 460 504 💰

1️⃣
Ort der Leistung: Zwickau 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Zwickau, DE
Beschreibung der Beschaffung:
“Die Westsächsische Hochschule Zwickau beabsichtigt für Lehre und Forschung und den Kauf einer Beschichtungsanlage mit konfokalen...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Erfüllung der Leistungsparameter
Qualitätskriterium (Gewichtung): 60
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Länger der Gewährleistung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 15
Preis (Gewichtung): 20
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Gesamtwert ohne MwSt: EUR 460 504 💰
Dauer
Datum des Beginns: 2022-06-21 📅
Datum des Endes: 2023-09-30 📅
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Dieser Vertrag ist verlängerbar
Beschreibung
Beschreibung der Verlängerungen: Sofern die Lieferung nicht im vereinbarten zeitraum erfolgen kann.
Informationen über Optionen
Optionen
Beschreibung der Optionen:
“Optionen dürfen im Angebot angegeben werden. Allerdings sind diese nicht im endpreis einzurechnen”

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Einen aktuellen (nicht älter als 6 Monate) Nachweis der Eintragung in das Handelsregister oder ein vergleichbares Register nach Maßgabe der...”    Mehr anzeigen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“- Unternehmensdarstellung: -- allgemeine Unternehmensdarstellung; -- Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr; -- Anschrift...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für die Teilnahme

Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“- Nachweis von mindestens 3 Referenzen in vergleichbarer Art und Größenordnung in den vergangenen 3 Jahren innerhalb der EU mit Kurzbeschreibung und...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für die Teilnahme
Bedingungen für die Teilnahme (technische und berufliche Fähigkeiten)
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Der Bewerber erklärt, dass sein Unternehmen die: - Verpflichtung zu Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit - Verpflichtung zur Beachtung der...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2022-06-03 08:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2022-06-29 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2022-06-03 10:00 📅

Ergänzende Informationen
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen
Postanschrift: Postfach 101364
Postort: Leipzig
Postleitzahl: 04013
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: post@lds.sachsen.de 📧
Quelle: OJS 2022/S 087-235462 (2022-04-29)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-07-22)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung: Beschaffung einer Beschichtungsanlage mit konfokalen Magnetronquellen
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 350 875 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung: Beschaffung einer Beschichtungsanlage mit konfokalen Magnetronquellen.
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Länge der Gewährleistung

Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2022/S 087-235462

Auftragsvergabe

1️⃣
Vertragsnummer: 22/Z304
Titel: Beschichtungsanlage mit konfogalen Magnetron-Quellen
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-07-15 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 5
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 3
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 5
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Leybold GmbH
Postort: Köln
Postleitzahl: 50968
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: olga.fengler@leybold.com 📧
Region: Köln, Kreisfreie Stadt 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 350 875 💰
Quelle: OJS 2022/S 143-409079 (2022-07-22)