Zur Bearbeitung eines Forschungsprojektes benötigt die AMO ein Cluster-Tool zur Deposition von homogenen Metall-, Isolator- und Halbleiterschichten, insbesondere von c-Achsen-orientiertem Aluminium-Nitrid.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-09-27.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-08-26.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Cluster-Tool
04/2022
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦
Kurze Beschreibung:
“Zur Bearbeitung eines Forschungsprojektes benötigt die AMO ein Cluster-Tool zur Deposition von homogenen Metall-, Isolator- und Halbleiterschichten,...”
Kurze Beschreibung
Zur Bearbeitung eines Forschungsprojektes benötigt die AMO ein Cluster-Tool zur Deposition von homogenen Metall-, Isolator- und Halbleiterschichten, insbesondere von c-Achsen-orientiertem Aluminium-Nitrid.
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Geschätzter Wert ohne MwSt: EUR 900 000 💰
1️⃣
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften📦
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Industrielle Maschinen📦
Ort der Leistung: Städteregion Aachen🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“AMO, Gesellschaft für angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH Otto-Blumenthal-Straße 25 52074 Aachen”
Beschreibung der Beschaffung:
“Zur Bearbeitung eines Forschungsprojektes benötigt die AMO ein Cluster-Tool zur Deposition von homogenen Metall-, Isolator- und Halbleiterschichten,...”
Beschreibung der Beschaffung
Zur Bearbeitung eines Forschungsprojektes benötigt die AMO ein Cluster-Tool zur Deposition von homogenen Metall-, Isolator- und Halbleiterschichten, insbesondere von c-Achsen-orientiertem Aluminium-Nitrid. Dabei stehen die folgenden Ziele im Vordergrund:
- Die AMO stellt unter Berücksichtigung der Wirtschaftlichkeit hohe Anforderungen an die Qualität des Cluster-Tools.
- Da das Cluster-Tool kurzfristig benötigt wird, ist es für die AMO wichtig, dass die Lieferung kurzfristig (wenige Monate) erfolgt.
- Für den Einsatz im laufenden Forschungsprojekt gibt es eine Reihe von erforderlichen Spezifikationen, die das Gerät erfüllen muss. Hierzu wird auf die Leistungsbeschreibung verwiesen.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Gesamtwert ohne MwSt: EUR 900 000 💰
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems Beschreibung
Dauer: 392
Umfang der Beschaffung
Informationen über die Fonds der Europäischen Union:
“Zuwendungen des Bundesministerium für Bildung und Forschung, FKZ: 13N16116, Verbundprojekt: Quantencomputer mit gespeicherten Ionen für Anwendungen (ATIQ) -...”
Informationen über die Fonds der Europäischen Union
Zuwendungen des Bundesministerium für Bildung und Forschung, FKZ: 13N16116, Verbundprojekt: Quantencomputer mit gespeicherten Ionen für Anwendungen (ATIQ) - Teilvorhaben: Nanophotonik-Plattform für integrierte Ionenfallen
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“- Unternehmensdarstellung: Name, Anschrift, Rechtsform, Name und Position des zuständigen Bearbeiters (einschließlich Telefonnum-mer, E-Mail-Adresse) sowie...”
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen
- Unternehmensdarstellung: Name, Anschrift, Rechtsform, Name und Position des zuständigen Bearbeiters (einschließlich Telefonnum-mer, E-Mail-Adresse) sowie die Angabe der Eintragung in ein Berufs- oder Handelsregister, alternativ eine Angabe nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Landes, in dem der Bieter ansässig ist;
- Erklärung, dass keine Ausschlussgründe gemäß § 123 Abs. 1 GWB bestehen;
- Eigenerklärung, dass über das Vermögen des Bieters nicht das Insolvenzverfahren oder ein vergleichbares Verfahren eröffnet oder die Eröffnung beantragt oder dieser Antrag mangels Masse abgelehnt worden ist nach den Bestimmungen des Landes, in dem das Unternehmen des Bieters seinen Sitz hat und eine Erklärung, dass sich der Bieter nicht in Liquidation befindet;
- Eigenerklärung, dass der Bieter seiner Verpflichtung zur Zahlung von Steuern, Abgaben und Beiträgen ordnungsgemäß nachgekommen ist nach den Bestimmungen des Landes, in dem das Unternehmen des Bieters seinen Sitz hat;
- Eigenerklärung, dass keine wettbewerbsverzerrende Vereinbarung getroffen wurde.
Mehr anzeigen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“- Eigenerklärung, dass der Bieter über eine Betriebs- bzw. Berufshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme für Personen- und Sachschäden in Höhe von...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
- Eigenerklärung, dass der Bieter über eine Betriebs- bzw. Berufshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme für Personen- und Sachschäden in Höhe von mindestens EUR 3 Mio. zweifach maximiert je Versicherungsjahr verfügt. Verfügt der Bieter zum Zeitpunkt der Abgabe des Angebotes noch nicht über einen entsprechenden Versicherungsschutz, ist es ausreichend, wenn er bestätigt, den Versicherungsschutz im Auftragsfall entsprechend aufzustocken. Für die Angebotseinreichung ist die Eigenerklärung ausreichend. Der Nachweis über eine Betriebs- bzw. Berufshaftpflichtversicherung ist erst auf gesondertes Verlangen der Vergabestelle einzureichen.
- Eigenerklärung zum Bruttogesamtumsatz des Unternehmens in den letzten drei Geschäftsjahren.
Mehr anzeigen Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“- Eigenerklärung mit Referenzen zu mindestens drei erfolgreich installierten ähnlichen Cluster-Tools aus den letzten drei Jahren, unter Angabe des...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
- Eigenerklärung mit Referenzen zu mindestens drei erfolgreich installierten ähnlichen Cluster-Tools aus den letzten drei Jahren, unter Angabe des Kundennamens, des Ortes der Leistungserbringung und einer Kurzbeschreibung des Projektes. Der Bieter sollte einen Ansprechpartner zur Überprüfung der Referenzen nennen, soweit dies aus datenschutzrechtlichen Gründen nicht möglich ist, ist die entsprechende Abteilung mit Kontaktdaten anzugeben.
Mindestanforderungen an die Referenzen sind, dass es sich um Cluster-Tools handelt, die folgende Merkmale aufweisen:
- Vollautomatische Schleusenkammer
- Mindestens 2 Prozess-Kammern
- DC- und RF-Sputter-Prozesse
- Wafer mit mindestens 200 mm Durchmesser können prozessiert werden
- Steuerungssoftware muss SPS-basierend sein.
- Eigenerklärung, dass zum Zeitpunkt der Angebotsabgabe stichhaltiges Know-how auf dem Gebiet der Aluminium-Nitrid-Beschichtung vorliegt. Die vollständige Neu-Entwicklung eines solchen Prozesses ist im Rahmen dieses Auftrags nicht akzeptabel. Die mittels XRD-Messung (Röntgenbeugung) gewonnene Rocking curve einer durch den Bieter deponierten c-Achsen-orientierten AlN-Schicht (Schichtdicke: 0,5-1 µm) ist mit dem Angebot abzugeben. Folgende Werte müssen erreicht werden:
- FWHM < 2,5°
- Uniformity < +/- 3 %
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2022-09-27
12:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2022-12-31 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2022-09-27
12:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Ort): AMO GmbH, Aachen
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Informationen über die befugten Personen und das Öffnungsverfahren): Die Angebotsöffnung ist nicht öffentlich.
Ergänzende Informationen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Elektronische Zahlung wird verwendet
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YJRRS5T
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Rheinland
Postanschrift: Zeughausstraße 2-10
Postort: köln
Postleitzahl: 50667
Land: Deutschland 🇩🇪
Fax: +49 2211472-889 📠 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Folgende Hinweise zur Geltendmachung von Vergaberechtsverstößen vor der Vergabekammer sind zu beachten:
Die Vergabestelle weist darauf hin, dass ein...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Folgende Hinweise zur Geltendmachung von Vergaberechtsverstößen vor der Vergabekammer sind zu beachten:
Die Vergabestelle weist darauf hin, dass ein Nachprüfungsantrag nur zulässig ist, soweit
1. der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber der Vergabestelle innerhalb von spätestens 10 Tagen gerügt hat;
2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber der Vergabestelle gerügt werden;
3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, spätestens mit Ablauf der in den Vergabeunterlagen benannten Frist zur Abgabe erster indikativer Angebote gegenüber der Vergabestelle gerügt werden;
4. der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung der Vergabestelle, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, gestellt wird.
Weitere Einzelheiten können § 160 GWB entnommen werden.
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Quelle: OJS 2022/S 167-473339 (2022-08-26)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-10-25) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Cluster-Tool
08/2022
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 1 💰
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Reaktionszeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Anzahl Ports der Transferkammer
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Öffnungsgröße Rechteckschieberventile Transferkammer
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Fenster an unbelegten Ports der Transfer-kammer
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Kammerdeckel Prozesskammer I
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Target-Substrat-Abstand Prozesskammer I
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Target-Substrat-Abstand Prozesskammer II
Preis (Gewichtung): 50
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2022/S 167-473339
Auftragsvergabe
1️⃣
Vertragsnummer: 202210181
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-10-25 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 2
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: FHR Anlagenbau GmbH
Postanschrift: Am Hügel 2
Postort: Ottendorf-Okrilla
Postleitzahl: 01458
Land: Deutschland 🇩🇪
Region: Bautzen🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU ✅ Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Geschätzter Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 900 000 💰
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 1 💰