Cluster-Tool

AMO, Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH

Zur Bearbeitung eines Forschungsprojektes benötigt die AMO ein Cluster-Tool zur Deposition von homogenen Metall-, Isolator- und Halbleiterschichten, insbesondere von c-Achsen-orientiertem Aluminium-Nitrid.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-09-27. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-08-26.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• FHR Anlagenbau GmbH

Wer?

• AMO, Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH

Wie?

Wo?

• Köln › Städteregion Aachen

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2022-08-26	Auftragsbekanntmachung
2022-10-25	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2022-08-26)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: 04/2022
Kurze Beschreibung:

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Städteregion Aachen 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: AMO, Gesellschaft für angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH
Postanschrift: Otto-Blumenthal-Straße 25
Postleitzahl: 52074
Postort: Aachen
Kontakt
Internetadresse: https://www.amo.de 🌏
E-Mail: einkauf@amo.de 📧
Telefon: +49 241-8867111 📞
URL der Dokumente: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YJRRS5T/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YJRRS5T 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-08-26 📅
Einreichungsfrist: 2022-09-27 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-08-31 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 167-473339
ABl. S-Ausgabe: 167
Zusätzliche Informationen
Die Angebotsöffnung ist nicht öffentlich.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Gesamtwert: 900 000 EUR 💰
Kurze Beschreibung:

- Die AMO stellt unter Berücksichtigung der Wirtschaftlichkeit hohe Anforderungen an die Qualität des Cluster-Tools.

- Da das Cluster-Tool kurzfristig benötigt wird, ist es für die AMO wichtig, dass die Lieferung kurzfristig (wenige Monate) erfolgt.

- Für den Einsatz im laufenden Forschungsprojekt gibt es eine Reihe von erforderlichen Spezifikationen, die das Gerät erfüllen muss. Hierzu wird auf die Leistungsbeschreibung verwiesen.

Geschätzter Wert ohne MwSt: 900 000 EUR 💰
Dauer: 392 Tage
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: Zuwendungen des Bundesministerium für Bildung und Forschung, FKZ: 13N16116, Verbundprojekt: Quantencomputer mit gespeicherten Ionen für Anwendungen (ATIQ) - Teilvorhaben: Nanophotonik-Plattform für integrierte Ionenfallen
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

AMO, Gesellschaft für angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH Otto-Blumenthal-Straße 25 52074 Aachen

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

- Unternehmensdarstellung: Name, Anschrift, Rechtsform, Name und Position des zuständigen Bearbeiters (einschließlich Telefonnum-mer, E-Mail-Adresse) sowie die Angabe der Eintragung in ein Berufs- oder Handelsregister, alternativ eine Angabe nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Landes, in dem der Bieter ansässig ist;

- Erklärung, dass keine Ausschlussgründe gemäß § 123 Abs. 1 GWB bestehen;

- Eigenerklärung, dass über das Vermögen des Bieters nicht das Insolvenzverfahren oder ein vergleichbares Verfahren eröffnet oder die Eröffnung beantragt oder dieser Antrag mangels Masse abgelehnt worden ist nach den Bestimmungen des Landes, in dem das Unternehmen des Bieters seinen Sitz hat und eine Erklärung, dass sich der Bieter nicht in Liquidation befindet;

- Eigenerklärung, dass der Bieter seiner Verpflichtung zur Zahlung von Steuern, Abgaben und Beiträgen ordnungsgemäß nachgekommen ist nach den Bestimmungen des Landes, in dem das Unternehmen des Bieters seinen Sitz hat;

- Eigenerklärung, dass keine wettbewerbsverzerrende Vereinbarung getroffen wurde.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

- Eigenerklärung, dass der Bieter über eine Betriebs- bzw. Berufshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme für Personen- und Sachschäden in Höhe von mindestens EUR 3 Mio. zweifach maximiert je Versicherungsjahr verfügt. Verfügt der Bieter zum Zeitpunkt der Abgabe des Angebotes noch nicht über einen entsprechenden Versicherungsschutz, ist es ausreichend, wenn er bestätigt, den Versicherungsschutz im Auftragsfall entsprechend aufzustocken. Für die Angebotseinreichung ist die Eigenerklärung ausreichend. Der Nachweis über eine Betriebs- bzw. Berufshaftpflichtversicherung ist erst auf gesondertes Verlangen der Vergabestelle einzureichen.

- Eigenerklärung zum Bruttogesamtumsatz des Unternehmens in den letzten drei Geschäftsjahren.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

- Eigenerklärung mit Referenzen zu mindestens drei erfolgreich installierten ähnlichen Cluster-Tools aus den letzten drei Jahren, unter Angabe des Kundennamens, des Ortes der Leistungserbringung und einer Kurzbeschreibung des Projektes. Der Bieter sollte einen Ansprechpartner zur Überprüfung der Referenzen nennen, soweit dies aus datenschutzrechtlichen Gründen nicht möglich ist, ist die entsprechende Abteilung mit Kontaktdaten anzugeben.

Mindestanforderungen an die Referenzen sind, dass es sich um Cluster-Tools handelt, die folgende Merkmale aufweisen:

- Vollautomatische Schleusenkammer

- Mindestens 2 Prozess-Kammern

- DC- und RF-Sputter-Prozesse

- Wafer mit mindestens 200 mm Durchmesser können prozessiert werden

- Steuerungssoftware muss SPS-basierend sein.

- Eigenerklärung, dass zum Zeitpunkt der Angebotsabgabe stichhaltiges Know-how auf dem Gebiet der Aluminium-Nitrid-Beschichtung vorliegt. Die vollständige Neu-Entwicklung eines solchen Prozesses ist im Rahmen dieses Auftrags nicht akzeptabel. Die mittels XRD-Messung (Röntgenbeugung) gewonnene Rocking curve einer durch den Bieter deponierten c-Achsen-orientierten AlN-Schicht (Schichtdicke: 0,5-1 µm) ist mit dem Angebot abzugeben. Folgende Werte müssen erreicht werden:

- FWHM < 2,5°

- Uniformity < +/- 3 %

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2022-12-31 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2022-09-27 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00
Ort des Eröffnungstermins: AMO GmbH, Aachen
Zusätzliche Informationen: Die Angebotsöffnung ist nicht öffentlich.

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Außeruniversitäre Forschungseinrichtung
Kontakt
Kontaktperson: Ghassan Soufan, B.Sc. RWTH
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YJRRS5T/documents 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YJRRS5T

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Rheinland
Postanschrift: Zeughausstraße 2-10
Postort: köln
Postleitzahl: 50667
Land: Deutschland 🇩🇪
Fax: +49 2211472-889 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Folgende Hinweise zur Geltendmachung von Vergaberechtsverstößen vor der Vergabekammer sind zu beachten:

Die Vergabestelle weist darauf hin, dass ein Nachprüfungsantrag nur zulässig ist, soweit

1. der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber der Vergabestelle innerhalb von spätestens 10 Tagen gerügt hat;

2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber der Vergabestelle gerügt werden;

3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, spätestens mit Ablauf der in den Vergabeunterlagen benannten Frist zur Abgabe erster indikativer Angebote gegenüber der Vergabestelle gerügt werden;

4. der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung der Vergabestelle, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, gestellt wird.

Weitere Einzelheiten können § 160 GWB entnommen werden.

Quelle: OJS 2022/S 167-473339 (2022-08-26)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-10-25)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: 08/2022
Gesamtwert des Auftrags: 1 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-10-25 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-10-28 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 209-595659
Verweist auf Bekanntmachung: 2022/S 167-473339
ABl. S-Ausgabe: 209
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YJR65UF

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Reaktionszeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Anzahl Ports der Transferkammer
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Öffnungsgröße Rechteckschieberventile Transferkammer
Fenster an unbelegten Ports der Transfer-kammer
Kammerdeckel Prozesskammer I
Target-Substrat-Abstand Prozesskammer I
Target-Substrat-Abstand Prozesskammer II
Preis (Gewichtung): 50

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-10-25 📅
Name: FHR Anlagenbau GmbH
Postanschrift: Am Hügel 2
Postort: Ottendorf-Okrilla
Postleitzahl: 01458
Land: Deutschland 🇩🇪
Bautzen 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 1 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Quelle: OJS 2022/S 209-595659 (2022-10-25)

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