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Kurze Beschreibung

Im Rahmen des Projektes "Innovative CVD-Technologie - energieeffizient, ressourcenschonend und emissionsarm" möchte die CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH in eine Hochtemperatur-CVD-Anlage (CVD - Chemical Vapor Deposition) der neuesten Generation mit verschiedenen Möglichkeiten zum flexiblen Einsatz in der Schichtabscheidung auf großflächige Substrate investieren.

Beschreibung der Beschaffung

Hochtemperatur-Anlage 01 Stck.
Lieferumfang:
CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH benötigt eine Anlage zur thermischen Oxidation und Temperung für doppelseitig prozessierte 4- und 6- Zoll Wafer.
Vorhandene Medien sind:
- Stromanschluss 3-phasig, 230/400 V
- Gase: Stickstoff, Sauerstoff, Wasserstoff
- Kühlwasserkreislauf
- technische Abluft
- Ethernetanschluss
- Reinstluft für Pneumatik (> 6 Bar)
- Aufstellfläche + Wartungsbereich 8000 mm x 3700 mm
- Max. Anlagenhöhe: 2800 mm
- DCE-Bubbler
Die Anlage soll mit den vorhandenen Medien und zusätzlichem Wärmetauscher zu betreiben sein. Prozessdaten sollen über den Ethernetanschluss zu exportieren sein.
Raumplan, mit vorhandenen Medien und Transportwegen können auf Anfrage zugestellt werden.
Anlagenbeschreibung:
Technische Daten:
Anforderungen an das Basissystem:
- Hochtemperatur-Anlage für 4-Zoll und 6-Zoll Wafer, automatisches Beladen von beiden Wafergrößen mit einem Pitch von 4,76 mm und 9,52 mm ohne Umbau möglich
- Der Anlagenkorpus soll für 4 Rohre ausgestattet sein, wobei 2 davon bestückt sind
- Prozessführung:
o 2 Rohre, atmosphärischer Prozess
- 1x Stickstoff-/Wasserstoff Tempern <450°C mit Sicherheitsverschluss der Tür und H2-Fackel
- 1x Nassoxidation mit H2-Verbrennung + DCE-Oxidation bis 1050 °C
o Grenzparameter:
- Reproduzierbarkeit (Wafer zu Wafer): < +/-3 %
- Charge zu Charge Stabilität: < +/-2 %
o Prozessanforderungen:
- Trockenoxidation SiO2-Schicht (70 nm):
- Scheibenhomogenität: < 3 %
- Chargenhomogenität: < 5 %
- Brechungsindex (Lambda=632,8 nm): 1,46+/-0,02
- Partikelzuwachs (> 0,3 µm/> 1,6 µm): 50/10
- Natriumionen-Konzentration: <=0,15 x 10e11/cm e2
- mittlere Dichte der festen Oxidladung
(-0,6 +/- 0,3) *10e11 cm e-2
- mittlere Durchbruchfeldstärke >= 8 MV/cm
- Nassoxidation mit H2-Verbrennung SiO2-Schicht (190 nm):
- Scheibenhomogenität: < 3 %
- Chargenhomogenität: < 5 %
- Brechungsindex (Lamdba=632,8 nm): 1,46+/-0,02
- Partikelzuwachs (> 0,3 µm/> 1,6 µm): 50/10
- Natriumionen-Konzentration: < +/- 0,5 x 10e11/cm e2
- mittlere Dichte der festen Oxidladung < +/- 0,5 10e11 cm e-2
- mittlere Durchbruchfeldstärke >= 8 MV/cm
- Anforderungen an Wafer-Handling:
o Waferanzahl: 100 6-Zoll-Wafer
o Waferhandling ausschließlich im 6 mm breiten Randbereich (doppelseitig polierte Wafer)
o Kassettenstation, 25 Wafer pro Kassette, e-Pak kompatibel
o Flat aligner für 6-Zoll Wafer
o Vollautomatisches Beladen von Waferkassette auf Boote für 6-Zoll- und 4-Zoll Wafer
o Boote werden vom Paddle im Rohr abgesetzt, das Paddle ist während des Prozesses nicht im Rohr
o Möglichkeit Boote vorzubeladen und automatisch zu starten
- Temperaturregelung:
o Länge des Bereichs konstanter Temperatur (Flat Zone) 600 mm
o 5 Heizzonen
o Maximale Abweichung der Temperatur in Flat Zone +/- 0,5 °C
o Heizkassetten und Festkörperrelais wassergekühlt um Einflüsse zwischen den Rohren zu verhindern
o Regelung auf Thermoelemente im Rohr
o Bei Bruch eines inneren Thermoelements wird automatisch auf ein äußeres Thermoelement umgeschaltet
o Redundante Temperaturmessung am Rohr
- Druckregelung:
o Rohrdichtheitstest implementiert
o Automatischer Lecktest der Rohre vor Start der Oxidation
o Druckmessung für automatische Druckkompensation um Schwankungen des Umgebungsdruckes durch das Wetter auszugleichen
- EtherCAT Bus-Kommunikation zwischen Komponenten
- Bereitstellung der Prozessparameter und der Rezepte, die zum Erreichen der oben spezifizierten Schichteneigenschaften nötig sind
- Installation durch die Wand, Grau-/Reinraumtrennung
Anforderungen an die Software:
- Graphische Benutzeroberfläche in deutscher und englischer Sprache
- Prozesssteuerung
- Rezeptorganisation
- Datenexport in grafischer und digitaler Form
- Visualisierung und Analyse von Prozessdaten
- Versionskontrolle der Rezepte
Inkl. Zubehör:
- Steuer-PC:
- mit Anlagensoftware s.o.
- LAN-Anschluss, 1000 Mbit/s
- Betriebssystem Windows 10 Professional, englisch und deutsch
- Monitor, Full HD, 19-Zoll
- Tastatur und Maus
- Fernwartung durch Remote Access
- NAS-Server zur Speicherung der Rezepte und Prozessdaten. NAS-System mit RAID 1 und 2 x 1 TB Festplatte. Alle Daten auf den Festplatten werden gespiegelt
- Remote Control vom Büroarbeitsplatz
bzw. Anschluss an bestehendes System
- 6-Zoll Quarzboote für alle Rohre (3° tilt; pitch: 4.76 mm)
- Externer Wärmetauscher um das Anlagenkühlwasser von dem Standortkühlwasser zu trennen
- Webcam zur Überwachung der Be- und Entladung der Wafer
- Uninterruptible power supply (UPS)
- Signalampel
- Spülbares Gaskabinett mit Gaslinien und MFCs, mit unabhängigem Sicherheitssystem für jedes Prozessrohr, Gassensoren zur Überwachung von HCl und H2
- Zweites Steuerungspanel an der Hinterseite der Anlage im Grauraumbereich
Weiteres:
- Anlage mit Sicherheitssystem (Interlock), um Hauptgefahren für Leib und Leben abzuwenden, welches unabhängig von der Steuersoftware arbeitet (EN13849-1:2006)
- Anlage beinhaltet Emergency Stop in der Software und mechanische Taster an der Anlage
- zum Betrieb notwendige Geräte müssen im Lieferumfang der Anlage enthalten sein
- Gewährleistung von 24 Monaten ab Endabnahme der Anlage, jedoch spätestens 3 Monate nach Lieferung
- Transport, Versicherung, Zollgebühren, Aufstellung und Installation beim Kunden und Reisekosten sind im Endpreis inklusive
- garantierte Verfügbarkeit von Ersatzteilen von mindestens 10 Jahren
- kostenlose Servicehotline während der Gewährleistung
Dokumente:
- Bedienungsanleitung für alle Komponenten in deutscher und englischer Sprache
- Installationsvorschrift
- Wartungshandbuch
- Technisches Handbuch
- Angabe eines Servicekonzepts
- Dokumentation der OEM-Teile
- CE Kennzeichnung
Expertise
- Angabe von 2 Referenzen über vergleichbare Anlagen
- Lieferant weist die technologischen Parameter an einer Demoanlage mit gleicher Ausstattung unter Reinraumbedingungen in Form von Testwafern nach.
Ergänzungen unter "Zusätzliche Angaben".

Zusätzliche Informationen

Mittelherkunft aus europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE-OP 2014 bis 2020) als Teil der Reaktion der Union auf die COVID-19-Pandemie (REACT-EU):
Förderprogramm: Richtlinie des Freistaats Thüringen zur Förderung von Forschung, Technologie und Innovation (FTI-Richtlinie) vom 18.08.2015 (ThürStAnz. Nr. 36/2015 vom 07.09.2015, S. 1494-1512), geändert am 17.12.2018, in Kraft getreten am 18.12.2018 (ThürStAnz.-Nr. 3/2019, S. 201-203)

Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen

Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter, jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer, auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will, vorzulegen:
1) Formblatt L 124_EU Eigenerklärung zur Eignung mit Erklärungen zu:
- Angabe über Ausschlussgründe gemäß § 42 VgV in Verbindung mit §§ 123 und § 124 GWB
- Angabe zu Insolvenzverfahren und Liquidation
- Angabe zur Zahlung von Steuern und Abgaben und Beiträgen zur Sozialversicherung
Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter, jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer, auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will auf gesondertes Verlangen vorzulegen:
2) Berufs- bzw. Handelsregisterauszug
3) gültige Unbedenklichkeitsbescheinigung des Finanzamtes - soweit Finanzamt Bescheinigungen ausstellt
4) gültige Unbedenklichkeitsbescheinigung der tariflichen Sozialkasse - soweit Betrieb beitragspflichtig
5) Freistellungsbescheinigung nach § 48b EstG
6) Eintragung in der Handwerksrolle oder bei der Industrie- oder Handwerkskammer oder sonstiger Nachweis
Da die Vergabestelle nach § 36 Abs. 5 Satz 1 VgV gehalten ist, vor der Zuschlagserteilung in Bezug auf reine Nachunternehmer die Voraussetzungen des §§ 123, 124 GWB zu prüfen, sind die Unterlagen 1) - 6) ggf. vom Nachunternehmer
(ohne Eignungsleihe) auf gesondertes Anfordern vorzulegen.
Hinweis für die Bieter: Hat ein Bieter in den letzten 12 Monaten vor Ablauf der Angebotsfrist bereits die Nachweise vorgelegt, so hat er gemäß § 7 Abs. 2a ThürVgG den Auftraggeber unter Benennung des Vergabeverfahrens darauf hinzuweisen.
Der Nachweis einer Befähigung zur Berufsausübung kann auch durch die gültige Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten Präqualifikationsverfahrens geführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG).

Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter sowie jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft vorzulegen:
Nachweis einer Berufs- oder Betriebshaftpflichtversicherung für Personenschäden in Höhen von mindestens 2.000.000,00 EUR und für Sach- und Vermögensschäden in Höhe von 2.000.000,00 EUR gemäß Ziffer III der Eigenerklärung zur Eignung (Formblatt L 124_EU)
Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter sowie jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft auf gesondertes Verlangen vorzulegen:
7) Zusicherung der Versicherung bzw. entsprechender Versicherungsnachweis
Hinweis für die Bieter: Hat ein Bieter in den letzten 12 Monaten vor Ablauf der Angebotsfrist bereits die Nachweise vorgelegt, so hat er gemäß § 7 Abs. 2a ThürVgG den Auftraggeber unter Benennung des Vergabeverfahrens darauf hinzuweisen. Der Nachweis der wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit kann auch durch die gültige Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten Präqualifikationsverfahrensgeführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG).

Bedingungen für die Teilnahme (technische und berufliche Fähigkeiten)

Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter, jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer, auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will, vorzulegen:
Vorlage geeigneter Referenzen (mindestens zwei Referenzen) über früher ausgeführte Liefer- und Dienstleistungen der in den letzten drei Jahren erbrachten wesentlichen Leistungen gemäß Ziffer IV der Eigenerklärung zur Eignung (Formblatt L 124_EU).Der Auftraggeber akzeptiert auch Referenzen, welche mehr als drei Jahre zurückliegen gemäß Ziffer IV der Eigenerklärung zur Eignung (Formblatt L 124_EU).
Aus der Beschreibung der Referenz muss klar erkennbar sein, welche Leistungen der Bewerber oder das Mitglied der Bewerbergemeinschaft oder ein Dritter, auf dessen Leistungsfähigkeit abgestellt wird, selbstdurchgeführt hat. Die bloße untergeordnete Mitwirkung ist nicht ausreichend. Der Auftraggeber behält sich die Überprüfung der Angaben bei den Referenzauftraggebern sowie eigene Ermittlungen vor. Die Ergebnisse der eigenen Ermittlungen werden bei der Bewertung Berücksichtigung finden.
Lieferant weist die technologischen Parameter an einer Demoanlage mit gleicher Ausstattung unter Reinraumbedingungen in Form von Testwafern nach.
Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter, jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer, auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will auf gesondertes Verlangen vorzulegen:
8) Bescheinigung über die ordnungsgemäße Ausführung und das Ergebnis der genannten Leistungen
Hinweis für die Bieter: Hat ein Bieter in den letzten 12 Monaten vor Ablauf der Angebotsfrist bereits die Nachweise vorgelegt, so hat er gemäß § 7 Abs. 2a ThürVgG den Auftraggeber unter Benennung des Vergabeverfahrens darauf hinzuweisen. Der Nachweis der technischen und beruflichen Leistungsfähigkeit kann auch durch die gültige Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten Präqualifikationsverfahrensgeführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG). Es müssen mindestens zwei Referenzen vorgelegt werden.

Bedingungen für die Vertragserfüllung

Ausführungsbedingungen nach dem Thüringer Vergabegesetz:
- Verpflichtung gemäß § 12 und 15 ThürVgG - Nachunternehmereinsatz, gemäß § 17 ThürVgG - Kontrollen sowie § 18 ThürVgG - Sanktionen
- Verpflichtung zur Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12 Abs. 2 ThürVgG)
- Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG)
Gemäß § 12a Abs. 2 ThürVgG weisen wir darauf hin, dass der Bestbieter im Falle der beabsichtigten Zuschlagserteilung die nach dem ThürVgG verpflichtend vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bemessenen Frist vorlegen muss und dass, bei nicht fristgerechter Vorlage, das Angebot von der Wertung auszuschließen ist.
Es handelt sich dabei um folgende Erklärungen und Nachweise:
- Formblatt "Verpflichtung gemäß § 12 und 15 ThürVgG - Nachunternehmereinsatz, gemäß § 17 ThürVgG -Kontrollen sowie § 18 ThürVgG - Sanktionen"
- Formblatt "Verpflichtung zur Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12 Abs. 2 ThürVgG)"
- Formblatt "Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG)"
Zudem müssen im Falle eines anfänglichen Nachunternehmereinsatzes spätestens vor der Auftragserteilung folgenden Formblätter beim Auftraggeber vorliegen:
- Formblatt "Verpflichtung des Nachunternehmers zur Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10und 12 Abs. 2 ThürVgG)"
- Formblatt "Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG)"
Der Bestbieter muss im Falle der beabsichtigten Zuschlagserteilung die nach dem ThürVgG verpflichtend vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bemessenen Frist vorlegen. Bei nicht fristgerechter Vorlage ist das Angebot von der Wertung auszuschließen.

Ergänzung Beschreibung der Beschaffung:
Liefer- und Anschlussbedingungen:
- Maße des größten gelieferten Einzelteils (ohne Verpackung) L: 2m80, B: 2m20 (bei Überschreitung ist Rücksprache erforderlich)
- Verpackung inklusive
- Versand inklusive
- Transportversicherung inklusive
- Aufstellung inklusive, Einbringung 1. OG
- Installation inklusive
- Inbetriebnahme inklusive
- Anschluss der Abluftlinien an die technische Abluft des Standortes
- Anschluss der Prozessgase (Stickstoff, Sauerstoff, Wasserstoff) zur Anlage, mit Lecktest und Partikel- und Feuchtetest, Leitungslängen ca. 5 m
- Elektrischer Anschluss der Anlage
- Elektrischer Anschluss des Wärmetauschers
- Kühlwasser-Leitungen zu Wärmetauscher, ca. 5 m
- Wasserleitungen von Überdruckventil zu Ablauf an Standort, max. 10 m
- Anschluss an Reinstluft, nahe Anlage
- Nachweis der Funktionsfähigkeit aller Komponenten
Bekanntmachungs-ID: CXP4YEN6R35

Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren

"Der Nachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 GWB unzulässig, soweit:
1) der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB bleibt unberührt,
2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
4) mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zuwollen, vergangen sind."