Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik
in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der
Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Im ZHO wird zur Durchführung der
Forschungsarbeiten eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO
14644-1) betrieben.
Zur Untersuchung nanoskaliger Bauelemente wird eine höchstauflösende
Elektronenstrahl-Lithografieanlage benötigt. Es soll eine Anlage beschafft werden, die den
aktuellen Stand der Technik in Hinsicht auf maximale Auflösung und Positioniergenauigkeit
darstellt. Die Anlage soll eine hohe Entwicklungsreife besitzen, die z.B. durch den Einsatz in
Industrie und/oder Forschungsinstituten belegt werden kann. Ein hoher
Automatisierungsgrad ist gefordert, um einen Mehrbenutzerbetrieb effektiv zu ermöglichen.
Weitere Informationen entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-05-06.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-04-05.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Elektronenstrahl-Lithografieanlage
27-22 LR
Produkte/Dienstleistungen: Elektronenstrahlaufzeichnungsgeräte📦
Kurze Beschreibung:
“Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik
in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und...”
Kurze Beschreibung
Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik
in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der
Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Im ZHO wird zur Durchführung der
Forschungsarbeiten eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO
14644-1) betrieben.
Zur Untersuchung nanoskaliger Bauelemente wird eine höchstauflösende
Elektronenstrahl-Lithografieanlage benötigt. Es soll eine Anlage beschafft werden, die den
aktuellen Stand der Technik in Hinsicht auf maximale Auflösung und Positioniergenauigkeit
darstellt. Die Anlage soll eine hohe Entwicklungsreife besitzen, die z.B. durch den Einsatz in
Industrie und/oder Forschungsinstituten belegt werden kann. Ein hoher
Automatisierungsgrad ist gefordert, um einen Mehrbenutzerbetrieb effektiv zu ermöglichen.
Weitere Informationen entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen.
1️⃣
Ort der Leistung: Duisburg, Kreisfreie Stadt🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Universität Duisburg-Essen Lotharstraße 55-65 47057 Duisburg In der Leistungsbeschreibungen finden Sie alle Angaben inkl. Bilder. Auf jeden Fall muss die...”
Hauptstandort oder Erfüllungsort
Universität Duisburg-Essen Lotharstraße 55-65 47057 Duisburg In der Leistungsbeschreibungen finden Sie alle Angaben inkl. Bilder. Auf jeden Fall muss die Anlage über die Außentür Lieferanteneingang ins Gebäude eingebracht werden. Der in der Leistungsbeschreibung unter 6.1 beschriebene Weg ist für beide Varianten A und B zutreffend.
Im Gebäude bestehen zwei verschiedene Wege A und B, die in der Leistungsbeschreibung unter 6.2 und 6.3 beschrieben sind.
Mehr anzeigen
Beschreibung der Beschaffung:
“Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik
in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und...”
Beschreibung der Beschaffung
Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik
in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der
Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Im ZHO wird zur Durchführung der
Forschungsarbeiten eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO
14644-1) betrieben.
Zur Untersuchung nanoskaliger Bauelemente wird eine höchstauflösende
Elektronenstrahl-Lithografieanlage benötigt. Es soll eine Anlage beschafft werden, die den
aktuellen Stand der Technik in Hinsicht auf maximale Auflösung und Positioniergenauigkeit
darstellt. Die Anlage soll eine hohe Entwicklungsreife besitzen, die z.B. durch den Einsatz in
Industrie und/oder Forschungsinstituten belegt werden kann. Ein hoher
Automatisierungsgrad ist gefordert, um einen Mehrbenutzerbetrieb effektiv zu ermöglichen.
Weitere Informationen entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems Beschreibung
Dauer: 1
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Nachweis über eine Betriebshaftpflichtversicherung für Personenschäden 2 Mio. EUR und sonstige
Schäden mit einer Versicherungssumme von mindestens 5 Mio....”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
Nachweis über eine Betriebshaftpflichtversicherung für Personenschäden 2 Mio. EUR und sonstige
Schäden mit einer Versicherungssumme von mindestens 5 Mio. EUR alternativ kann ein Nachweis der
Versicherung beigefügt werden, dass die Deckungssumme der Betriebshaftpflichtversicherung bei
Zuschlagserteilung entsprechend erhöht wird.
Mehr anzeigen Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Der Bieter muss eine Referenzliste mit mindestens zwei anderen Forschungseinrichtungen in Deutschland vorlegen die eine vergleichbare hochauflösende...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
Der Bieter muss eine Referenzliste mit mindestens zwei anderen Forschungseinrichtungen in Deutschland vorlegen die eine vergleichbare hochauflösende Elektronenstrahl-Lithografieanlage des anbietenden Herstellers- zur Herstellung nanoskaliger Strukturen benutzen. Als vergleichbar werden Anlagen mit einer Beschleunigungsspannung von 100 kV, einer minimalen Linienbreite von unter 10 nm und einer Justagegenauigkeit von unter +/-10 nm angesehen. Benennen Sie bitte die jeweiligen Auftraggeber unter Angabe des Jahres der Anschaffung sowie der Daten des installierten Geräts und geben Sie derer Kontaktdaten an, damit die Angaben geprüft werden können. Die Referenzen dürfen nicht älter als 5 Jahre sein.
Mehr anzeigen Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Neben der Leistungsbeschreibung sowie dem Vordruck EU_325 gelten die Vertrags- und Vergabebedingungen des Landes Nordrhein-Westfalen in der aktuell gültigen...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Neben der Leistungsbeschreibung sowie dem Vordruck EU_325 gelten die Vertrags- und Vergabebedingungen des Landes Nordrhein-Westfalen in der aktuell gültigen Fassung, mitveröffentlicht in diesem Projektforum unter den Vergabeunterlagen. Auch im Fall des Zuschlags, werden Ihre AGB nicht anerkannt, sollten diese auf Schriftstücken wie Angeboten, Rechnungen oder Lieferscheinen abgebildet sein.
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2022-05-06
12:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2022-06-20 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2022-05-06
12:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Ort):
“Es handelt sich um eine nichtöffentliche Öffnung. Eine Ortsangabe unterbleibt aus diesem Grund.”
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Informationen über die befugten Personen und das Öffnungsverfahren):
“Die Angebotsöffnung ist nichtöffentlich. Es sind lediglich Vertreter der Vergabestelle befugt, der elektronischen Angebotsöffnung beizuwohnen.”
Ergänzende Informationen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Elektronische Zahlung wird verwendet
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXPNY5MD9VZ
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Rheinland, c/o Bezirksregierung Köln
Postanschrift: Zeughausstraße 2-10
Postort: Köln
Postleitzahl: 50667
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 221-1473045📞
E-Mail: vkrhld-k@bezreg-koeln.nrw.de📧
Fax: +49 221-1472889 📠
URL: http://www.brd.nrw.de🌏 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt.
Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen.
Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen.
Ein Antrag auf Nachprüfung ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, zu stellen.
Ein Antrag zur Geltendmachung der Unwirksamkeit des vergebenen Auftrages ist innerhalb von 30 Kalendertagen bei der in nach VI.4.1 genannten Stelle einzulegen, gerechnet vom Tage nach
Veröffentlichung dieser Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union.
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Quelle: OJS 2022/S 070-183577 (2022-04-05)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-09-15) Objekt Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 1 585 000 💰
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Bewertungskriterien aus der Leistungsbeschreibung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50
Preis (Gewichtung): 50
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2022/S 070-183577
Auftragsvergabe
1️⃣
Vertragsnummer: 4500035709
Titel: 27-22 LR: Elektronenstrahl-Lithografieanlage
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-06-07 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: JEOL Germany GmbH
Postanschrift: Gute Änger 30
Postort: Freising
Postleitzahl: 85356
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: sales@jeol.de📧
Region: Duisburg, Kreisfreie Stadt🏙️
URL: http://jeol.de🌏
Der Auftragnehmer ist ein KMU ✅ Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Geschätzter Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 2 200 000 💰
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 1 585 000 💰