Elektronenstrahl-Lithografieanlage

Universität Duisburg-Essen

Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik
in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der
Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Im ZHO wird zur Durchführung der
Forschungsarbeiten eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO
14644-1) betrieben.
Zur Untersuchung nanoskaliger Bauelemente wird eine höchstauflösende
Elektronenstrahl-Lithografieanlage benötigt. Es soll eine Anlage beschafft werden, die den
aktuellen Stand der Technik in Hinsicht auf maximale Auflösung und Positioniergenauigkeit
darstellt. Die Anlage soll eine hohe Entwicklungsreife besitzen, die z.B. durch den Einsatz in
Industrie und/oder Forschungsinstituten belegt werden kann. Ein hoher
Automatisierungsgrad ist gefordert, um einen Mehrbenutzerbetrieb effektiv zu ermöglichen.
Weitere Informationen entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-05-06. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-04-05.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2022-04-05 Auftragsbekanntmachung
2022-09-15 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2022-04-05)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Elektronenstrahlaufzeichnungsgeräte
Referenznummer: 27-22 LR
Kurze Beschreibung:
Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Im ZHO wird zur Durchführung der Forschungsarbeiten eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO 14644-1) betrieben. Zur Untersuchung nanoskaliger Bauelemente wird eine höchstauflösende Elektronenstrahl-Lithografieanlage benötigt. Es soll eine Anlage beschafft werden, die den aktuellen Stand der Technik in Hinsicht auf maximale Auflösung und Positioniergenauigkeit darstellt. Die Anlage soll eine hohe Entwicklungsreife besitzen, die z.B. durch den Einsatz in Industrie und/oder Forschungsinstituten belegt werden kann. Ein hoher Automatisierungsgrad ist gefordert, um einen Mehrbenutzerbetrieb effektiv zu ermöglichen. Weitere Informationen entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen.
Mehr anzeigen
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Elektronenstrahlaufzeichnungsgeräte 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Duisburg, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Universität Duisburg-Essen
Postanschrift: Forsthausweg 2, Gebäude LG
Postleitzahl: 47057
Postort: Duisburg
Kontakt
Internetadresse: http://www.uni-due.de 🌏
E-Mail: einkauf@uni-due.de 📧
URL der Dokumente: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY5MD9VZ/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY5MD9VZ 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-04-05 📅
Einreichungsfrist: 2022-05-06 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-04-08 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 070-183577
ABl. S-Ausgabe: 70
Zusätzliche Informationen
Die Angebotsöffnung ist nichtöffentlich. Es sind lediglich Vertreter der Vergabestelle befugt, der elektronischen Angebotsöffnung beizuwohnen.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik
in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der
Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Im ZHO wird zur Durchführung der
Forschungsarbeiten eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO
14644-1) betrieben.
Zur Untersuchung nanoskaliger Bauelemente wird eine höchstauflösende
Elektronenstrahl-Lithografieanlage benötigt. Es soll eine Anlage beschafft werden, die den
aktuellen Stand der Technik in Hinsicht auf maximale Auflösung und Positioniergenauigkeit
darstellt. Die Anlage soll eine hohe Entwicklungsreife besitzen, die z.B. durch den Einsatz in
Industrie und/oder Forschungsinstituten belegt werden kann. Ein hoher
Automatisierungsgrad ist gefordert, um einen Mehrbenutzerbetrieb effektiv zu ermöglichen.
Weitere Informationen entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen.
Dauer: 1 Tage
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
Universität Duisburg-Essen Lotharstraße 55-65 47057 Duisburg In der Leistungsbeschreibungen finden Sie alle Angaben inkl. Bilder. Auf jeden Fall muss die Anlage über die Außentür Lieferanteneingang ins Gebäude eingebracht werden. Der in der Leistungsbeschreibung unter 6.1 beschriebene Weg ist für beide Varianten A und B zutreffend.
Mehr anzeigen
Im Gebäude bestehen zwei verschiedene Wege A und B, die in der Leistungsbeschreibung unter 6.2 und 6.3 beschrieben sind.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
Nachweis über eine Betriebshaftpflichtversicherung für Personenschäden 2 Mio. EUR und sonstige
Schäden mit einer Versicherungssumme von mindestens 5 Mio. EUR alternativ kann ein Nachweis der
Versicherung beigefügt werden, dass die Deckungssumme der Betriebshaftpflichtversicherung bei
Zuschlagserteilung entsprechend erhöht wird.
Technische und berufliche Fähigkeiten:
Der Bieter muss eine Referenzliste mit mindestens zwei anderen Forschungseinrichtungen in Deutschland vorlegen die eine vergleichbare hochauflösende Elektronenstrahl-Lithografieanlage des anbietenden Herstellers- zur Herstellung nanoskaliger Strukturen benutzen. Als vergleichbar werden Anlagen mit einer Beschleunigungsspannung von 100 kV, einer minimalen Linienbreite von unter 10 nm und einer Justagegenauigkeit von unter +/-10 nm angesehen. Benennen Sie bitte die jeweiligen Auftraggeber unter Angabe des Jahres der Anschaffung sowie der Daten des installierten Geräts und geben Sie derer Kontaktdaten an, damit die Angaben geprüft werden können. Die Referenzen dürfen nicht älter als 5 Jahre sein.
Mehr anzeigen
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
Neben der Leistungsbeschreibung sowie dem Vordruck EU_325 gelten die Vertrags- und Vergabebedingungen des Landes Nordrhein-Westfalen in der aktuell gültigen Fassung, mitveröffentlicht in diesem Projektforum unter den Vergabeunterlagen. Auch im Fall des Zuschlags, werden Ihre AGB nicht anerkannt, sollten diese auf Schriftstücken wie Angeboten, Rechnungen oder Lieferscheinen abgebildet sein.
Mehr anzeigen

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2022-06-20 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2022-05-06 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00
Ort des Eröffnungstermins: Es handelt sich um eine nichtöffentliche Öffnung. Eine Ortsangabe unterbleibt aus diesem Grund.
Zusätzliche Informationen:
Die Angebotsöffnung ist nichtöffentlich. Es sind lediglich Vertreter der Vergabestelle befugt, der elektronischen Angebotsöffnung beizuwohnen.

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Sachgebiet Einkauf
Internetadresse: www.uni-due.de 🌏
Dokumente URL: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY5MD9VZ/documents 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXPNY5MD9VZ

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Rheinland, c/o Bezirksregierung Köln
Postanschrift: Zeughausstraße 2-10
Postort: Köln
Postleitzahl: 50667
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 221-1473045 📞
E-Mail: vkrhld-k@bezreg-koeln.nrw.de 📧
Fax: +49 221-1472889 📠
Internetadresse: http://www.brd.nrw.de 🌏
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt.
Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen.
Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung zu rügen.
Ein Antrag auf Nachprüfung ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, zu stellen.
Ein Antrag zur Geltendmachung der Unwirksamkeit des vergebenen Auftrages ist innerhalb von 30 Kalendertagen bei der in nach VI.4.1 genannten Stelle einzulegen, gerechnet vom Tage nach
Veröffentlichung dieser Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union.
Quelle: OJS 2022/S 070-183577 (2022-04-05)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-09-15)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 1 585 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-09-15 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-09-20 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 181-512062
Verweist auf Bekanntmachung: 2022/S 070-183577
ABl. S-Ausgabe: 181
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXPNY5MDF4F

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Bewertungskriterien aus der Leistungsbeschreibung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50
Preis (Gewichtung): 50

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-06-07 📅
Name: JEOL Germany GmbH
Postanschrift: Gute Änger 30
Postort: Freising
Postleitzahl: 85356
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: sales@jeol.de 📧
Land: Duisburg, Kreisfreie Stadt 🏙️
Internetadresse: http://jeol.de 🌏
Gesamtwert des Auftrags: 1 585 000 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Quelle: OJS 2022/S 181-512062 (2022-09-15)
Neue Beschaffungen in verwandten Kategorien 🆕
Verwandte Suchen 🔍
Region:
Deutschland Nordrhein-Westfalen Düsseldorf Duisburg, Kreisfreie Stadt
Produkte/Dienstleistungen:
Laborgeräte, optische Geräte und... Messinstrumente Mengenmessinstrumente Strahlenmessgeräte Elektronenstrahlaufzeichnungsgeräte