Hochleistungs-ICP-Ätzanlage

Universität Paderborn

Die ICP-Ätzanlage stellt das Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur dar und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Eine Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an die Wafergröße (bis zu 2"), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die verwendeten optische Bauelemente basieren auf Wellenleiterstrukturen, die eine extrem hohe Anforderung an die Strukturhomogenität stellen. Es sollen Rippenwellenleiter über eine Länge von mehreren Millimetern mit einer hohen Homogenität geätzt werden.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-05-10. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-04-08.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2022-04-08 Auftragsbekanntmachung
2022-05-16 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2022-04-08)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Universität Paderborn
Postanschrift: Warburger Str. 100
Postort: Paderborn
Postleitzahl: 33098
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Dezernat 1.4
Telefon: +49 5251-602546 📞
E-Mail: beschaffung@zv.upb.de 📧
Fax: +49 5251-602519 📠
Region: Paderborn 🏙️
URL: http://www.uni-paderborn.de 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YYPYYF7/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YYPYYF7 🌏

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Hochleistungs-ICP-Ätzanlage 200/12/22/1
Produkte/Dienstleistungen: Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft 📦
Kurze Beschreibung:
“Die ICP-Ätzanlage stellt das Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur dar und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Eine...”    Mehr anzeigen
Geschätzter Wert ohne MwSt: EUR 467 500 💰

1️⃣
Ort der Leistung: Paderborn 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Universität Paderborn Warburger Str. 100 33098 Paderborn
Beschreibung der Beschaffung:
“Es wird ein schlüsselfertiges halbautomatisches Prozessmodul bestehend aus Basiseinheit, Einhausung, Software und Prozessanleitung gefordert. Dieses muss im...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Gesamtwert ohne MwSt: EUR 467 500 💰
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 12

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Hinweise: Soweit lediglich Eigenerklärungen gefordert werden, behält sich der Auftraggeber das Recht vor, zur Behebung von Zweifeln entsprechende...”    Mehr anzeigen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1. Eigenerklärung über das Bestehen einer branchenüblichen Betriebshaftpflichtversicherung unter Nennung des Versicherungsgebers sowie der Deckungssummen...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für die Teilnahme

“Etwaige Vorauszahlungen erfolgen ausschließlich gegen die Vorlage einer selbstschuldnerischen Bankbürgschaft des Bieters.”

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2022-05-10 12:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2022-07-08 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2022-05-10 12:00 📅

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Die Vergabestelle der Universität Paderborn lässt generell nur die Abgabe elektronischer Angebote zu. Für die Übermittlung Ihres Angebotes nutzen Sie bitte...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer bei der Bezirksregierung Münster
Postanschrift: Albrecht-Thaer-Straße 9
Postort: Münster
Postleitzahl: 48143
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2514110 📞
E-Mail: poststelle@brms.nrw.de 📧
Fax: +49 2514112165 📠
URL: http://brms.nrw.de 🌏
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“1. Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10...”    Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2022/S 073-194721 (2022-04-08)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-05-16)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 467 487 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Es wurde im Rahmen des Offenen Verfahrens ein schlüsselfertiges halbautomatisches Prozessmodul bestehend aus Basiseinheit, Einhausung, Software und...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Kriterium
Qualitätskriterium (Gewichtung): 80
Preis (Gewichtung): 20.00

Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2022/S 073-194721

Auftragsvergabe

1️⃣
Titel: Auftragsvergabe Oxford Instruments GmbH
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-05-16 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Oxford Instruments GmbH
Postanschrift: Borsigstr., 15a
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: ns-orderswiesbaden@oxinst.com 📧
Region: Wiesbaden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Geschätzter Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 467 487 💰
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 467 487 💰

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXS0YYPYYAR
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Vergabekammer bei der Bezirksregierung Münster
Postanschrift: Albrecht-Thaer-Straße 9
Postort: Münster
Postleitzahl: 48143
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2514110 📞
E-Mail: poststelle@brms.nrw.de 📧
Fax: +49 2514112165 📠
URL: http://brms.nrw.de 🌏
Quelle: OJS 2022/S 098-268887 (2022-05-16)