Beschreibung der Beschaffung
Um die Elektrodenstrukturen mit der benötigten Qualität fertigen zu können, muss das Hochvakuum Beschichtungs-System den folgenden Anforderungen genügen:
- Neugerät (keine Gebraucht- oder Vorführsysteme)
- Edelstahl-Vakuumkammer mit großer Fronttür
o Mindestabmessungen: Breite × Tiefe × Höhe = 420 mm × 480 mm × 550 mm
o Temperierbare Kammerwände (Außenkanäle)
o Wechselbares Beschichtungsschutzglas für das Fenster in der Fronttür
o Wechselbare Edelstahl-Abschirmbleche
- Pumpsystem
o Magnetisch gelagerte Turbomolekularpumpe (Nennsaugvermögen N2 mindestens 2.200 l/s)
o Mehrstufige, wartungsarme. trocken verdichtende Wälzkolbenpumpe (Nennsaugvermögen mindestens 35 m3/h),
Schalldruckpegel bei Enddruck: max. 52 dB(A)
o Anlagenenddruck: ? 5 E-7 mbar
- Mehrtiegel-Elektronenstrahl-Verdampfer System
o Elektronenstrahlverdampfer (Leistung: bis zu 6kW, Beschleunigungsspannung:6-10 kV, Filamentstrom bis zu 50 A, 270° Primärstrahlablenkung durch Permanentmagnete)
o 4 Napfwechseltiegel mit motorisierter Tiegelpositionierung und Wasserkühlung
o Standard-Tiegelvolumen: 8 cm3
o Verdampferblende mit elektropneumatischen Antrieb
o SPS gesteuerter Elektronenstrahl Controller
o Hochspannungsnetzgerät mit bis zu 6kW Leistung
- Ionenquelle für die Substratreinigung und die Ionen-unterstützte Beschichtung
o Betrieb über einen längeren Zeitraum mit inerten oder reaktiven Gasen (O2, Ar)
o Anodenleistung bis zu 200 W, Anodenstrom bis zu 2A, Anodenspannung: 40 - 300V,
o Mittlere Ionenenergie: 35- 210 eV
o Ionenstrahlstromstärke: bis zu 500 mA
o Arbeitsdruck max.: 1×10-3 mbar
o Ionenstrahldivergenz: 60°
o SPS gesteuerter Discharge Controller
o SPS gesteuerter Filament Controller
o Ionenquellenblende mit elektropneumatischen Antrieb
o Prozessgasversorgung mit digitalen Gasflussreglern (O2, Ar)
- Schichtdickenmessung
o PC-basierter Monitor für Dünnschichtmessung, Echtzeitüberwachung /-regelung von Aufdampfrate und Schichtdicke
o Einfach-Schichtdickensensor, für Durchm. 14 mm (0,55") Quarzkristalle
- Substratstufe
o Rotierende Substratstufe, motorisiert, für kontinuierliche Drehbewegung geeignet, variable Drehzahl 0-20 rpm
o Substrathalter zum Einlegen eines Einzelsubstrats von bis zu. Durchm. 150mm
o Substratblende mit elektropneumatischen Antrieb
- PC basierte Anlagensteuerung aller Komponenten (SPS)
o Modular aufgebaute und erweiterbare Software, Bediensprachen: Deutsch und Englisch
o manuelle Systembedienung
o automatische Beschichtungszyklen
o Rezepturverarbeitung
o Trendanzeige, Data-Logging
o Aufdampfcontroller direkt in der Software integriert
o Remote-support Schnittstelle
- Abmessungen des Systems:
o Breite: max 1500 mm
o Tiefe: max 1200 mm
o Höhe: max 2500 mm
- Inbetriebnahme und Bedienerschulung vor Ort
3.) Optionale Komponenten
Folgende optionale Komponenten werden bei der Punktebewertung nach Richtwertmethode berücksichtigt:
- Meissnerfalle (Kühlfalle) mit Polycold Kryo Generator
- Thermischer Einzelverdampfer
o Klemmbock aus Kupfer, zum Einspannen eines Verdampferschiffchens
o Verdampferblende mit elektropneumatischen Antrieb
o Stromversorgung für thermischen Verdampfer mit SPS Steuerung, Nennleistung bis zu 2 kVA