Hochvakuum Beschichtungs-Systems
Rheinische Friedrich-Wilhelms-Universität Bonn, Abt. 5.3
Im Rahmen des BMBF-Projekts "QR.X" sollen am Physikalischen Institut der Rheinischen Friedrich- Wilhelms-Universität Bonn metallische Mikrowellenelemente auf optische Glasfasern aufgebracht werden. Für die Metallisierung soll ein Hochvakuum Beschichtungs-System angeschafft werden.
Es sollen nur Neugeräte geliefert werden (Keine Vorführgeräte oder Gebrauchtgeräte).
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-03-02. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-01-20.
AnbieterDie folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2022-01-20 | Auftragsbekanntmachung |
| 2022-05-02 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Auftragsbekanntmachung (2022-01-20)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Referenznummer: 005-22
Kurze Beschreibung:
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Bonn, Kreisfreie Stadt 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Rheinische Friedrich-Wilhelms-Universität Bonn, Abt. 5.3
Postanschrift: Regina-Pacis-Weg 3
Postleitzahl: 53113
Postort: Bonn
Kontakt
Internetadresse: https://www.uni-bonn.de/de 🌏
E-Mail: weberg@verwaltung.uni-bonn.de 📧
Telefon: +49 228-73-7610 📞
Fax: +49 228-73-9696 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY5ED071/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY5ED071 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-01-20 📅
Einreichungsfrist: 2022-03-02 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-01-25 📅
Datum des Beginns: 2022-03-31 📅
Datum des Endes: 2022-09-30 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 017-040119
ABl. S-Ausgabe: 17
Zusätzliche Informationen
Zentrale Beschaffung der Uni Bonn
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Geschätzter Gesamtwert: 220 000 EUR 💰
Kurze Beschreibung:
Geschätzter Wert ohne MwSt: 220 000 EUR 💰
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 08:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2022-05-30 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2022-03-02 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 08:00
Ort des Eröffnungstermins: elektronische Öffnung
Zusätzliche Informationen: Zentrale Beschaffung der Uni Bonn
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Nationale Registrierungsnummer: DEA22
Kontakt
Dokumente URL: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY5ED071/documents 🌏
Referenz
Zusätzliche Informationen
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Rheinland bei der Bezirksregierung Köln
Postanschrift: Zeughausstraße 2-10
Postort: Köln
Postleitzahl: 50667
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2211473055 📞
E-Mail: vkrheinland@bezreg-koeln.nrw.de 📧
Fax: +49 2211472889 📠
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Rheinische Friedrich-Wilhelms-Universität Bonn, Abt. 5.3
Postanschrift: Regina-Pacis-Weg 3
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53113
Telefon: +49 228-73-7610 📞
E-Mail: weberg@verwaltung.uni-bonn.de 📧
Fax: +49 228-73-9696 📠
Internetadresse: https://www.uni-bonn.de/de 🌏
Quelle: OJS 2022/S 017-040119 (2022-01-20)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Referenznummer: 005-22
Kurze Beschreibung:
Im Rahmen des BMBF-Projekts "QR.X" sollen am Physikalischen Institut der Rheinischen Friedrich- Wilhelms-Universität Bonn metallische Mikrowellenelemente auf optische Glasfasern aufgebracht werden. Für die Metallisierung soll ein Hochvakuum Beschichtungs-System angeschafft werden.
Es sollen nur Neugeräte geliefert werden (Keine Vorführgeräte oder Gebrauchtgeräte).
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Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Bonn, Kreisfreie Stadt 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Rheinische Friedrich-Wilhelms-Universität Bonn, Abt. 5.3
Postanschrift: Regina-Pacis-Weg 3
Postleitzahl: 53113
Postort: Bonn
Kontakt
Internetadresse: https://www.uni-bonn.de/de 🌏
E-Mail: weberg@verwaltung.uni-bonn.de 📧
Telefon: +49 228-73-7610 📞
Fax: +49 228-73-9696 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY5ED071/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY5ED071 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-01-20 📅
Einreichungsfrist: 2022-03-02 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-01-25 📅
Datum des Beginns: 2022-03-31 📅
Datum des Endes: 2022-09-30 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 017-040119
ABl. S-Ausgabe: 17
Zusätzliche Informationen
Zentrale Beschaffung der Uni Bonn
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Im Rahmen des BMBF-Projekts "QR.X" sollen am Physikalischen Institut der Rheinischen Friedrich- Wilhelms-Universität Bonn metallische Mikrowellenelemente auf optische Glasfasern aufgebracht werden. Für die Metallisierung soll ein Hochvakuum Beschichtungs-System angeschafft werden.
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Es sollen nur Neugeräte geliefert werden (Keine Vorführgeräte oder Gebrauchtgeräte).
Kurze Beschreibung:
Um die Elektrodenstrukturen mit der benötigten Qualität fertigen zu können, muss das Hochvakuum Beschichtungs-System den folgenden Anforderungen genügen:
- Neugerät (keine Gebraucht- oder Vorführsysteme)
- Edelstahl-Vakuumkammer mit großer Fronttür
o Mindestabmessungen: Breite × Tiefe × Höhe = 420 mm × 480 mm × 550 mm
o Temperierbare Kammerwände (Außenkanäle)
o Wechselbares Beschichtungsschutzglas für das Fenster in der Fronttür
o Wechselbare Edelstahl-Abschirmbleche
- Pumpsystem
o Magnetisch gelagerte Turbomolekularpumpe (Nennsaugvermögen N2 mindestens 2.200 l/s)
o Mehrstufige, wartungsarme. trocken verdichtende Wälzkolbenpumpe (Nennsaugvermögen mindestens 35 m3/h),
Schalldruckpegel bei Enddruck: max. 52 dB(A)
o Anlagenenddruck: ? 5 E-7 mbar
- Mehrtiegel-Elektronenstrahl-Verdampfer System
o Elektronenstrahlverdampfer (Leistung: bis zu 6kW, Beschleunigungsspannung:6-10 kV, Filamentstrom bis zu 50 A, 270° Primärstrahlablenkung durch Permanentmagnete)
o 4 Napfwechseltiegel mit motorisierter Tiegelpositionierung und Wasserkühlung
o Standard-Tiegelvolumen: 8 cm3
o Verdampferblende mit elektropneumatischen Antrieb
o SPS gesteuerter Elektronenstrahl Controller
o Hochspannungsnetzgerät mit bis zu 6kW Leistung
- Ionenquelle für die Substratreinigung und die Ionen-unterstützte Beschichtung
o Betrieb über einen längeren Zeitraum mit inerten oder reaktiven Gasen (O2, Ar)
o Anodenleistung bis zu 200 W, Anodenstrom bis zu 2A, Anodenspannung: 40 - 300V,
o Mittlere Ionenenergie: 35- 210 eV
o Ionenstrahlstromstärke: bis zu 500 mA
o Arbeitsdruck max.: 1×10-3 mbar
o Ionenstrahldivergenz: 60°
o SPS gesteuerter Discharge Controller
o SPS gesteuerter Filament Controller
o Ionenquellenblende mit elektropneumatischen Antrieb
o Prozessgasversorgung mit digitalen Gasflussreglern (O2, Ar)
- Schichtdickenmessung
o PC-basierter Monitor für Dünnschichtmessung, Echtzeitüberwachung /-regelung von Aufdampfrate und Schichtdicke
o Einfach-Schichtdickensensor, für Durchm. 14 mm (0,55") Quarzkristalle
- Substratstufe
o Rotierende Substratstufe, motorisiert, für kontinuierliche Drehbewegung geeignet, variable Drehzahl 0-20 rpm
o Substrathalter zum Einlegen eines Einzelsubstrats von bis zu. Durchm. 150mm
o Substratblende mit elektropneumatischen Antrieb
- PC basierte Anlagensteuerung aller Komponenten (SPS)
o Modular aufgebaute und erweiterbare Software, Bediensprachen: Deutsch und Englisch
o manuelle Systembedienung
o automatische Beschichtungszyklen
o Rezepturverarbeitung
o Trendanzeige, Data-Logging
o Aufdampfcontroller direkt in der Software integriert
o Remote-support Schnittstelle
- Abmessungen des Systems:
o Breite: max 1500 mm
o Tiefe: max 1200 mm
o Höhe: max 2500 mm
- Inbetriebnahme und Bedienerschulung vor Ort
3.) Optionale Komponenten
Folgende optionale Komponenten werden bei der Punktebewertung nach Richtwertmethode berücksichtigt:
- Meissnerfalle (Kühlfalle) mit Polycold Kryo Generator
- Thermischer Einzelverdampfer
o Klemmbock aus Kupfer, zum Einspannen eines Verdampferschiffchens
o Stromversorgung für thermischen Verdampfer mit SPS Steuerung, Nennleistung bis zu 2 kVA
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
Rheinische Friedrich-Wilhelms-Universität Bonn, Abt. 5.3 Regina-Pacis-Weg 3 53113 Bonn
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
Erklärung über den Gesamtumsatz einschließlich des Umsatzes in dem Tätigkeitsbereich des Auftrags
Technische und berufliche Fähigkeiten:
Liste der wesentlichen in den letzten_2_ Jahren erbrachten Leistungen mit Angabe des Wertes, des Zeitraums der Leistungserbringung und des Auftraggebers
Angabe, welche Teile des Auftrags das Unternehmen unter Umständen als Unteraufträge zu vergeben beabsichtigt
Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 08:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2022-05-30 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2022-03-02 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 08:00
Ort des Eröffnungstermins: elektronische Öffnung
Zusätzliche Informationen: Zentrale Beschaffung der Uni Bonn
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Nationale Registrierungsnummer: DEA22
Kontakt
Dokumente URL: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY5ED071/documents 🌏
Referenz
Zusätzliche Informationen
Die Vergabeunterlagen stehen nur unter
kostenlos zur Verfügung.
Fremdfirmen Richtlinie der Universität Bonn
Die Fremdfirmenrichtlinie ist Vertragsbestandteil bei Rechtsgeschäften und ist auf der Internetseite der Universität Bonn, unter:
einzusehen.
Parkraumbewirtschaftung der Universität Bonn
Zum 01.10.2015 wurde die entgeltpflichtige Parkraumbewirtschaftung für alle Liegenschaften der Universität Bonn im Stadtgebiet Bonn eingeführt. Nähere Informationen erhalten Sie über den folgenden Link:www.prbab.uni-bonn.de
Bekanntmachungs-ID: CXPNY5ED071
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Rheinland bei der Bezirksregierung Köln
Postanschrift: Zeughausstraße 2-10
Postort: Köln
Postleitzahl: 50667
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2211473055 📞
E-Mail: vkrheinland@bezreg-koeln.nrw.de 📧
Fax: +49 2211472889 📠
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Rheinische Friedrich-Wilhelms-Universität Bonn, Abt. 5.3
Postanschrift: Regina-Pacis-Weg 3
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53113
Telefon: +49 228-73-7610 📞
E-Mail: weberg@verwaltung.uni-bonn.de 📧
Fax: +49 228-73-9696 📠
Internetadresse: https://www.uni-bonn.de/de 🌏
Quelle: OJS 2022/S 017-040119 (2022-01-20)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-05-02)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 235 980 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-05-02 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-05-06 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 089-240886
Verweist auf Bekanntmachung: 2022/S 017-040119
ABl. S-Ausgabe: 89
Zusätzliche Informationen
Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Optionen Meisnerfall etc.
Qualitätskriterium (Gewichtung): 20
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Thermischer Einzelverdampfer
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Gewährleistung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 15
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Preis (Gewichtung): 50
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-03-31 📅
Name: Leybold GmbH
Postanschrift: Bonner Str. 498
Postort: Köln
Postleitzahl: 50968
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 221347-0 📞
E-Mail: info@leybold.com 📧
Land: Köln, Kreisfreie Stadt 🏙️
Internetadresse: https://www.leybold.com/de/ 🌏
Gesamtwert des Auftrags: 235 980 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Referenz
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXPNY5EDLFL
Quelle: OJS 2022/S 089-240886 (2022-05-02)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 235 980 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-05-02 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-05-06 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 089-240886
Verweist auf Bekanntmachung: 2022/S 017-040119
ABl. S-Ausgabe: 89
Zusätzliche Informationen
Die Vergabeunterlagen stehen nur unter
http://www.evergabe.nrw.de/VMPCenter/company/welcome.do
kostenlos zur Verfügung.
Fremdfirmen Richtlinie der Universität Bonn
Die Fremdfirmenrichtlinie ist Vertragsbestandteil bei Rechtsgeschäften und ist auf der Internetseite der Universität Bonn, unter:
www.fremdfirmen.uni-bonn.de
einzusehen.
Parkraumbewirtschaftung der Universität Bonn
Zum 01.10.2015 wurde die entgeltpflichtige Parkraumbewirtschaftung für alle Liegenschaften der Universität Bonn im Stadtgebiet Bonn eingeführt. Nähere Informationen erhalten Sie über den folgenden Link:www.prbab.uni-bonn.de
Bekanntmachungs-ID: CXPNY5EDLFL
Mehr anzeigen
Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Optionen Meisnerfall etc.
Qualitätskriterium (Gewichtung): 20
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Thermischer Einzelverdampfer
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Gewährleistung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 15
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Preis (Gewichtung): 50
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-03-31 📅
Name: Leybold GmbH
Postanschrift: Bonner Str. 498
Postort: Köln
Postleitzahl: 50968
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 221347-0 📞
E-Mail: info@leybold.com 📧
Land: Köln, Kreisfreie Stadt 🏙️
Internetadresse: https://www.leybold.com/de/ 🌏
Gesamtwert des Auftrags: 235 980 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Referenz
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXPNY5EDLFL
Quelle: OJS 2022/S 089-240886 (2022-05-02)
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