IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Rasterelektronenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen
Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung eines Rasterelektro-nenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (Critical Di-mension Scanning Electron Microscope, CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen zwischen 50 nm und 2 µm auf 150 mm und 200 mm Wafern.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-04-08.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-03-04.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel:
“IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Rasterelektronenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (CD-SEM) auf Wafern mit Lack-...”
Titel
IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Rasterelektronenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen
2022/505
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Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦
Kurze Beschreibung:
“Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung eines Rasterelektro-nenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen...”
Kurze Beschreibung
Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung eines Rasterelektro-nenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (Critical Di-mension Scanning Electron Microscope, CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen zwischen 50 nm und 2 µm auf 150 mm und 200 mm Wafern.
1️⃣
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung📦
Ort der Leistung: Stuttgart, Stadtkreis🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: IMS Chips Allmandring 30a 70569 Stuttgart
Beschreibung der Beschaffung:
“Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch "IMS") ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz...”
Beschreibung der Beschaffung
Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch "IMS") ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostrukturierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den Aufgaben des IMS gehört unter anderem die Bereit-stellung von Infrastruktur, Beratungs-, Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen in diesen Bereichen für die Klein- und Mittelständische Industrie.
Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung eines Rasterelektronenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (Critical Dimension Scanning Electron Microscope, CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen zwischen 50 nm und 2 µm auf 150 mm und 200 mm Wafern.
Die Anlieferung der Anlage an das Institut für Mikroelektronik Stuttgart muss bis spätestens 30.06.2023 erfolgen.
Für den Erwerb der verfahrensgegenständlichen Rasterelektronenmikroskops erhält das IMS EFRE-Fördermittel.
Die Anforderungen an das zu beschaffenden Rasterelektronenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung (Anlage 2).
Weitere Einzelheiten zu der ausgeschriebenen Leistung, insbesondere den Entwurf der Verträge, erhalten die im Rahmen des Teilnahmewettbewerbs ausgewählten Bewerber mit Aufforderung zur Angebotsabgabe.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Dauer
Datum des Endes: 2023-06-30 📅
Informationen über die Begrenzung der Zahl der einzuladenden Bewerber
Vorgesehene Mindestanzahl: 3
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern:
“Die Vergabestelle wird alle Bewerber, die ihre Eignung nachgewiesen haben, zur Abgabe eines ersten Angebots auffordern. Die Vergabeunterlagen werden allen...”
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern
Die Vergabestelle wird alle Bewerber, die ihre Eignung nachgewiesen haben, zur Abgabe eines ersten Angebots auffordern. Die Vergabeunterlagen werden allen zur Abgabe eines ersten Angebots aufgeforderten Teilnehmern zeitgleich zur Verfügung gestellt. Der gefor-derte Inhalt der Angebote ist in den Vergabeunterlagen dargestellt, die den im Rahmen des Teilnahmewettbewerbs ausgewählten und zur Abgabe eines Angebots aufgeforderten Bewerbern zugehen werden.
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Zusätzliche Informationen:
“Für den Erwerb der verfahrensgegenständlichen Rasterelektronenmikroskops erhält das IMS EFRE-Fördermittel.”
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“1) Vorbemerkung
(a) Die Eignung ist für jedes Mitglied einer Bewerbergemeinschaft gesondert nachzuweisen. Soweit nachfolgend nichts Abweichendes geregelt...”
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen
1) Vorbemerkung
(a) Die Eignung ist für jedes Mitglied einer Bewerbergemeinschaft gesondert nachzuweisen. Soweit nachfolgend nichts Abweichendes geregelt wird, sind daher alle Eignungsnachweise von jedem Mitglied einer Bewerbergemeinschaft vorzulegen. Ein Bewerber kann sich zum Nachweis seiner Eignung auf andere Unternehmen stützen, ungeachtet des rechtlichen Charakters der zwischen ihm und diesem Unternehmen bestehenden Verbindungen (Eignungsleihe). Diese Möglichkeit besteht unabhängig von der Rechtsnatur der zwischen dem Bewerber und den anderen Unternehmen bestehenden Verbindungen. In diesem Fall ist der Vergabestelle nachzuweisen, dass dem Bewerber die erforderlichen Mittel tatsächlich zur Verfügung stehen werden, indem beispielsweise eine entsprechende Verpflichtungserklärung dieses Unternehmens vorlegt wird. Die Unternehmen, auf die sich ein Bewerber zum Nachweis seiner Eignung stützt, müssen die Eignung nach Ziffer III.1.1) bis III.1.3) hinsichtlich derjenigen Eignungskriterien erfüllen, zu deren Nachweis sich der Bewerber auf die Eignung des Unternehmens stützt. Zudem sind für dieses Unternehmen die Erklärungen über das Vorliegen von Ausschlussgründen nach § 123, 124 GWB vorzulegen.
(b) Der Teilnahmeantrag ist in deutscher Sprache einzureichen. Zertifikate und Urkunden, die zum Nachweis der Eignung einzureichen sind, dürfen hiervon abweichend auch in englischer Sprache eingereicht werden.
(c) Vorstehende Ausführungen gelten für die Nachweise nach III.1.2) und III.1.3) entsprechend.
2) Vorzulegende Nachweise, Erklärungen und Dokumente:
Mit dem Teilnahmeantrag sind folgende Unterlagen in Bezug auf Ausschlussgründe einzureichen:
(a) Eigenerklärung, dass die Ausschlussgründe des § 123 GWB nicht vorliegen;
(b) Eigenerklärung über das Vorliegen von Ausschlussgründen nach § 124 GWB;
(c) Eigenerklärung gemäß § 19 Abs. 3 Mindestlohngesetz (MiLoG).
3) Vorzulegende Nachweise der Befähigung und Erlaubnis zur Berufsausübung:
Aktueller Auszug der Eintragung des Unternehmens in das Berufs- oder Handelsregister.
Mehr anzeigen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Eigenerklärung über den Jahresumsatz in den vergangenen drei abgeschlossenen Geschäftsjahren einschließlich des Jahresumsatzes mit vergleichbaren...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
(1) Eigenerklärung über den Jahresumsatz in den vergangenen drei abgeschlossenen Geschäftsjahren einschließlich des Jahresumsatzes mit vergleichbaren Leistungen;
(2) Eigenerklärung über das Bestehen einer Produkthaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme in Höhe von mind. EUR 3 Mio. für Personenschäden für jede einzelne Person und mindestens EUR 5 Mio. für Sachschäden oder Eigenerklärung des Bewerbers, im Auftragsfalle einen entsprechenden Versicherungsschutz in der geforderten Höhe zu stellen.
(3) Eigenerklärung über das Bestehen einer Betriebshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme in Höhe von mind. EUR 3 Mio. für Personenschäden für jede einzelne Person und mindestens EUR 5 Mio. für Sach- und Vermögensschäden oder Eigenerklärung des Bewerbers, im Auftragsfalle einen entsprechenden Versicherungsschutz in der geforderten Höhe zu stellen.
Mehr anzeigen Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Eigenerklärung über die Beschäftigtenanzahl und die Zahl seiner Führungskräfte in den vergangenen drei abgeschlossenen Geschäftsjahren;
(2)...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
(1) Eigenerklärung über die Beschäftigtenanzahl und die Zahl seiner Führungskräfte in den vergangenen drei abgeschlossenen Geschäftsjahren;
(2) Eigenerklärung über das Erbringen vergleichbarer Leistungen (Lieferleistungen von automatisierten Rasterelektronenmikroskope (CD-SEM) zur re-produzierbaren Messung lateralen Dimensionen von Lack- bzw. geätzten Strukturen zwischen 50 nm und 2 µm auf 150 mm und 200 mm Wafern (oder besser)) in den vergangenen fünf Jahren (seit 1.6.2017).
Mehr anzeigen Bedingungen für die Teilnahme
Bedingungen für die Teilnahme (technische und berufliche Fähigkeiten):
“zu (2):
Eigenerklärung über die Installation von fünf vergleichbaren automatisierten Rasterelektronenmikroskope (CD-SEM) zur reproduzierbaren Messung...”
Bedingungen für die Teilnahme (technische und berufliche Fähigkeiten)
zu (2):
Eigenerklärung über die Installation von fünf vergleichbaren automatisierten Rasterelektronenmikroskope (CD-SEM) zur reproduzierbaren Messung lateralen Dimensionen von Lack- bzw. geätzten Strukturen zwischen 50 nm und 2 µm auf 150 mm und 200 mm Wafern (oder besser) in Ländern des Übereinkommens über das öffentliche Beschaffungswesen (GPA) in den vergangenen 5 Jahren (Abschluss der Installation/Abnahme nach dem 1.1.2017)
Die geforderten Erklärungen zu den Mindestreferenzen sind von Bewerbergemeinschaften nur einmal vorzulegen.
Mehr anzeigen Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Sofern ein Bewerber im Hinblick auf die Kriterien für die finanzielle Leistungsfähigkeit nach Ziffer III.1.2) der Auftragsbekanntmachung ganz oder teilweise...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Sofern ein Bewerber im Hinblick auf die Kriterien für die finanzielle Leistungsfähigkeit nach Ziffer III.1.2) der Auftragsbekanntmachung ganz oder teilweise die Kapazitäten anderer Unternehmen einbezieht (Eignungsleihe), haftet/haften diese(s) Unternehmen im Auftragsfalle gemeinsam neben dem Auftragnehmer für die Auftragsausführung.
Verfahren Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Informationen über die Reduzierung der Anzahl von Lösungen oder Angeboten während der Verhandlungen oder des Dialogs
Rückgriff auf ein gestaffeltes Verfahren, um die Zahl der zu erörternden Lösungen oder zu verhandelnden Angebote schrittweise zu verringern
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2022-04-08
12:00 📅
Voraussichtliches Datum der Versendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe oder zur Teilnahme an die ausgewählten Bewerber: 2022-03-04 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
“(1) Die Teilnahmeformulare sind unter der in Ziffer I.3) angegebenen Internetadresse abrufbar. Ebenfalls dort abrufbar ist ein Bewerbermemorandum. In diesen...”
(1) Die Teilnahmeformulare sind unter der in Ziffer I.3) angegebenen Internetadresse abrufbar. Ebenfalls dort abrufbar ist ein Bewerbermemorandum. In diesen Teilnahmeunterlagen sind wesentliche Teile der ausgeschriebenen Leistung sowie der Verfahrensvorgaben bereits dargestellt. Die vorgenannten Unterlagen stehen in deutscher und englischer Sprache zur Verfügung. Bei Widersprüchen hat die deutsche Version Vorrang.
Unter der in Ziffer I.3) angegebenen Internetadresse werden auch Antworten auf Bewerberfragen sowie aktualisierte oder weitere Informationen und Unterlagen zu dem Verfahren zur Verfügung gestellt. Interessenten an dem Verfahren müssen sicherstellen, dass sie regelmäßig und insbesondere unmittelbar vor Abgabe ihres Teilnahmeantrags sowie vor Ablauf der Teilnahmefrist prüfen, ob seitens der Vergabestelle zusätzliche Informationen oder Unterlagen zur Verfügung gestellt wurden, welche für die Abgabe des Teilnahmeantrags zu beachten sind.
Bekanntmachungs-ID: CXP4YMZRX2G
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
Postanschrift: Durlacher Allee 100
Postort: Karlsruhe
Postleitzahl: 76137
Land: Deutschland 🇩🇪
Fax: +49 721926-3985 📠
URL: www.rp.baden-wuerttemberg.de🌏 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Es gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB).
Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Es gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB).
Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB verwiesen. Dieser lautet:
(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.
(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.
(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit
1. Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat;
2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.
Hinsichtlich der Information nicht berücksichtigter Bieter und Bewerber gelten die §§ 134, 135 GWB. Insbesondere gilt: Bieter deren Angebote für den Zuschlag nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gemäß § 134 GWB darüber informiert. Das gilt auch für Bewerber, denen keine Information über die Ablehnung ihrer Bewerbung zur Verfügung gestellt wurde, bevor die Mitteilung über die Zuschlagsentscheidung an die betroffenen Bieter ergangen ist.
Ein Vertrag darf erst 15 Kalendertage nach Absendung dieser Information durch den Auftraggeber geschlossen werden; bei Übermittlung per Fax oder auf elektronischem Wege beträgt diese Frist 10 Kalendertage.
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Quelle: OJS 2022/S 048-124069 (2022-03-04)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-08-31) Objekt Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 1 💰
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Qualitätskriterien
Qualitätskriterium (Gewichtung): 400
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 100
Preis (Gewichtung): 500
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2022/S 048-124069
Auftragsvergabe
1️⃣
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-07-18 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 1
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 2
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Hitachi High-Tech Europe GmbH
Postanschrift: Europark Fichtenhain A12
Postort: Krefeld
Postleitzahl: 47807
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 1702074207📞
Region: Krefeld, Kreisfreie Stadt🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Geschätzter Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 1 💰
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 1 💰
“Bei den Angaben unter den Ziffern II.1.7) und V.2.4) handelt es sich um auszufüllende Pflichtfelder. Aus Gründen der Geheimhaltung sind hier fiktive Werte...”
Bei den Angaben unter den Ziffern II.1.7) und V.2.4) handelt es sich um auszufüllende Pflichtfelder. Aus Gründen der Geheimhaltung sind hier fiktive Werte eingetragen.
Bekanntmachungs-ID: CXP4YMZ6DA3
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Quelle: OJS 2022/S 170-481717 (2022-08-31)