Lieferung einer reaktiven Ionenstrahlätzanlage (RIBE) einschließlich Montage, Installation und Inbetriebnahme für das Institut für Mikroproduktionstechnik
Lieferung einer reaktiven Ionenstrahlätzanlage (RIBE) einschließlich Montage, Installation und Inbetriebnahme für das Institut für Mikroproduktionstechnik
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-03-07.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-02-02.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel:
“Lieferung einer reaktiven Ionenstrahlätzanlage (RIBE) einschließlich Montage, Installation und Inbetriebnahme für das Institut für...”
Titel
Lieferung einer reaktiven Ionenstrahlätzanlage (RIBE) einschließlich Montage, Installation und Inbetriebnahme für das Institut für Mikroproduktionstechnik
51.35-2022-2
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Produkte/Dienstleistungen: Industrielle Maschinen📦
Kurze Beschreibung:
“Lieferung einer reaktiven Ionenstrahlätzanlage (RIBE) einschließlich Montage, Installation und Inbetriebnahme für das Institut für Mikroproduktionstechnik”
Geschätzter Wert ohne MwSt: EUR 575630.25 💰
1️⃣
Ort der Leistung: Region Hannover🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Institut für Mikroproduktionstechnik An der Universität 2 30823 Garbsen
Beschreibung der Beschaffung:
“Geliefert werden soll ein System für das trockenätzen von Dünnschichten in der Mikrotechnik. Die Schichtsysteme bestehen aus sp2 und vor allem sp3...”
Beschreibung der Beschaffung
Geliefert werden soll ein System für das trockenätzen von Dünnschichten in der Mikrotechnik. Die Schichtsysteme bestehen aus sp2 und vor allem sp3 hybridisierten (Diamant) Kohlenstoff sowie Mischungen daraus und klassischen Materialien aus der Mikrotechnik wie z.B. Metalle, Metalloxide und Keramiken. Gefordert wird ein rein physikalisches Ätzen (IBE) mittels Argonionen und reaktivem Ionenstrahlätzen (RIBE) mit Hilfe von Argon(Ar) und Sauerstoff (O2) und das chemisch aktivierte Ionenstrahlätzen (CAIBE) mit Hilfe von Chlorgas (Cl2), Bortrichlorid (BCl3), und Sauerstoff (O2), zugeführt durch einen Gasring.
Eine in-situ Detektion des Ätzfortschrittes soll ermöglicht werden und in die Anlagensteuerung integriert sein. Die Substrate von bis zu 150 mm Durchmesser werden durch einen Substratträger auf einem dreh- und schwenkbaren Substrathalter geklemmt. Damit ist es möglich, die Orientierung der Probe, insbesondere den Einfallswinkel des Ionenstrahls gezielt zu manipulieren. Der Substrathalter ist wassergekühlt. Die Wärmeankopplung zum Substratträger erfolgt über ein Heliumpolster.
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Qualitätskriterium (Bezeichnung): Funktionsumfang
Qualitätskriterium (Gewichtung): 25
Qualitätskriterium (Bezeichnung):
“Sonstiges (Inbetriebnahme vor Ort?, Kostenlose telefonische Kundenbetreuung, Kosten für die Kundenbetreuung vor Ort bei der ausführenden Stelle, Dauer und...”
Qualitätskriterium (Bezeichnung)
Sonstiges (Inbetriebnahme vor Ort?, Kostenlose telefonische Kundenbetreuung, Kosten für die Kundenbetreuung vor Ort bei der ausführenden Stelle, Dauer und Umfang der Garantie, Möglichkeit der Fernwartung, Anbieter kann als Referenz mindestens fünf gleiche bereits ausgelieferte Systeme vorweisen)
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Qualitätskriterium (Bezeichnung):
“Lieferung (Alle Liefertermine, die vor dem 01.12.2022 liegen, werden mit der Maximalpunktzahl versehen. Danach angekündigte Liefertermine werden unter allen...”
Qualitätskriterium (Bezeichnung)
Lieferung (Alle Liefertermine, die vor dem 01.12.2022 liegen, werden mit der Maximalpunktzahl versehen. Danach angekündigte Liefertermine werden unter allen abgegebenen Angeboten absteigend bewertet.)
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Kostenkriterium (Name):
“Bitte beachten Sie den Brutto-Gesamt-Auftragswert in Höhe von 685.000,00 EUR für das Gesamtsystem inkl. aller Nebenkosten. Dieser Wert darf nicht...”
Kostenkriterium (Name)
Bitte beachten Sie den Brutto-Gesamt-Auftragswert in Höhe von 685.000,00 EUR für das Gesamtsystem inkl. aller Nebenkosten. Dieser Wert darf nicht überschritten werden. Alle Preise sind in EUR anzugeben.
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Kostenkriterium (Gewichtung): 25
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 10
Informationen über Varianten
Es werden Varianten akzeptiert ✅ Umfang der Beschaffung
Informationen über die Fonds der Europäischen Union: Antrags-Nr. ZW7-85196513
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Dem Angebot ist eine Bescheinigung über die Eintragung in das Handels- und Berufsregister beizufügen. Anerkannt werden Präqualifizierungsnachweise oder...”
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen
Dem Angebot ist eine Bescheinigung über die Eintragung in das Handels- und Berufsregister beizufügen. Anerkannt werden Präqualifizierungsnachweise oder Eigenerklärungen.
Mehr anzeigen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Dem Angebot sind folgende Bescheinigungen beizufügen:
Unbedenklichkeitsbescheinigung des Finanzamtes;
Nachweis der geleisteten...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
Dem Angebot sind folgende Bescheinigungen beizufügen:
Unbedenklichkeitsbescheinigung des Finanzamtes;
Nachweis der geleisteten Sozialversicherungsbeträge;
Nachweis, dass der Bieter sich nicht in Konkurs, Liquidation oder im gerichtlichen Vergleich bzw. Gegenstand eines entsprechenden Verfahrens ist, welches seine wirtschaftliche und/oder finanzielle Leistungsfähigkeit beeinträchtigt
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Anerkannt werden Präqualifizierungsnachweise oder Eigenerklärungen.
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Dem Angebot sind folgende Bescheinigungen beizufügen:
Nachweis einer ausreichenden Betriebshaftpflicht;
Erklärung, dass den Beschäftigten ein Mindestentgelt...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
Dem Angebot sind folgende Bescheinigungen beizufügen:
Nachweis einer ausreichenden Betriebshaftpflicht;
Erklärung, dass den Beschäftigten ein Mindestentgelt durch einen für allgemeinverbindlich erklärten Tarifvertrag bzw. bei der Ausführung der Leistung ein Entgelt von mindestens dem gesetzlich festgelegten Mindestentgelt gezahlt wird
Mehr anzeigen Bedingungen für die Teilnahme
Bedingungen für die Teilnahme (technische und berufliche Fähigkeiten): Anerkannt werden Präqualifizierungsnachweise oder Eigenerklärungen.
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Die Vergabe erfolgt nach dem Niedersächsischen Tariftreue- und Vergabegesetz (NTVergG). Dieses Gesetz soll Verzerrungen im Wettbewerb um öffentliche...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Die Vergabe erfolgt nach dem Niedersächsischen Tariftreue- und Vergabegesetz (NTVergG). Dieses Gesetz soll Verzerrungen im Wettbewerb um öffentliche Aufträge entgegenwirken, die durch den Einsatz von Niedriglohnkräften entstehen, Belastungen für die sozialen Sicherungssysteme mildern sowie die umwelt- und sozialverträgliche Beschaffung durch die öffentliche Hand fördern. Entsprechende Angaben hierzu sind dem Angebot beizufügen.
Weiterhin führt die Nichterfüllung, einer als Ausschlusskriterium gekennzeichneten Anforderung, zum Ausschluss des Angebotes (KO-Kriterium).
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2022-03-07
12:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2022-03-31 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2022-02-07
12:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Ort): Hannover
Ergänzende Informationen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YHERZZW
Körper überprüfen
Name:
“Vergabekammer beim Niedersächsischen Ministerium für Wirtschaft, Arbeit, Verkehr und Digitalisierung”
Postanschrift: Auf der Hude 2
Postort: Lüneburg
Postleitzahl: 21339
Land: Deutschland 🇩🇪
Quelle: OJS 2022/S 026-065700 (2022-02-02)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-03-22) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel:
“Lieferung einer reaktiven Ionenstrahlätzanlage (RIBE) einschließlich Montage, Installation und Inbetriebnahme für das Institut für...”
Titel
Lieferung einer reaktiven Ionenstrahlätzanlage (RIBE) einschließlich Montage, Installation und Inbetriebnahme für das Institut für Mikroproduktionstechnik
51.35 -2022-2
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Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 575 000 💰
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2022/S 026-065700
Auftragsvergabe
1️⃣
Vertragsnummer: Institut für Mikroproduktionstechnik
Titel:
“Lieferung einer reaktiven Ionenstrahlätzanlage (RIBE) einschließlich Montage, Installation und Inbetriebnahme für das Institut für Mikroproduktionstechnik”
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-03-17 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: scia Systems GmbH
Postanschrift: Annaberger Straße 240
Postort: Chemnitz
Postleitzahl: 09125
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3715347-780📞
E-Mail: sales@scia-systems.com📧
Fax: +49 3715347-781 📠
Region: Chemnitz, Kreisfreie Stadt🏙️
URL: http://www.scia-systems.com🌏
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Geschätzter Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 575 000 💰
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 575 000 💰