Lieferung einer reaktiven Ionenstrahlätzanlage (RIBE) einschließlich Montage, Installation und Inbetriebnahme für das Institut für Mikroproduktionstechnik

Leibniz Universität Hannover

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-03-07. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-02-02.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• scia systems GmbH

Wer?

• Leibniz Universität Hannover

Wie?

• Industrielle Maschinen

Wo?

• Hannover › Region Hannover

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2022-02-02	Auftragsbekanntmachung
2022-03-22	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2022-02-02)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Referenznummer: 51.35-2022-2
Kurze Beschreibung:

Lieferung einer reaktiven Ionenstrahlätzanlage (RIBE) einschließlich Montage, Installation und Inbetriebnahme für das Institut für Mikroproduktionstechnik

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Region Hannover 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Leibniz Universität Hannover
Postanschrift: Welfengarten 1
Postleitzahl: 30167
Postort: Hannover
Kontakt
Internetadresse: http://www.uni-hannover.de 🌏
E-Mail: vergabe@zuv.uni-hannover.de 📧
Telefon: +49 5117625227 📞
Fax: +49 5117624926 📠
URL der Dokumente: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YHERZZW/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YHERZZW 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-02-02 📅
Einreichungsfrist: 2022-03-07 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-02-07 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 026-065700
ABl. S-Ausgabe: 26
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YHERZZW

Objekt
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Gesamtwert: 575630.25 EUR 💰
Kurze Beschreibung:

Geliefert werden soll ein System für das trockenätzen von Dünnschichten in der Mikrotechnik. Die Schichtsysteme bestehen aus sp2 und vor allem sp3 hybridisierten (Diamant) Kohlenstoff sowie Mischungen daraus und klassischen Materialien aus der Mikrotechnik wie z.B. Metalle, Metalloxide und Keramiken. Gefordert wird ein rein physikalisches Ätzen (IBE) mittels Argonionen und reaktivem Ionenstrahlätzen (RIBE) mit Hilfe von Argon(Ar) und Sauerstoff (O2) und das chemisch aktivierte Ionenstrahlätzen (CAIBE) mit Hilfe von Chlorgas (Cl2), Bortrichlorid (BCl3), und Sauerstoff (O2), zugeführt durch einen Gasring.

Eine in-situ Detektion des Ätzfortschrittes soll ermöglicht werden und in die Anlagensteuerung integriert sein. Die Substrate von bis zu 150 mm Durchmesser werden durch einen Substratträger auf einem dreh- und schwenkbaren Substrathalter geklemmt. Damit ist es möglich, die Orientierung der Probe, insbesondere den Einfallswinkel des Ionenstrahls gezielt zu manipulieren. Der Substrathalter ist wassergekühlt. Die Wärmeankopplung zum Substratträger erfolgt über ein Heliumpolster.

Dauer: 10 Monate
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: Antrags-Nr. ZW7-85196513
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Institut für Mikroproduktionstechnik An der Universität 2 30823 Garbsen

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Dem Angebot ist eine Bescheinigung über die Eintragung in das Handels- und Berufsregister beizufügen. Anerkannt werden Präqualifizierungsnachweise oder Eigenerklärungen.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

Dem Angebot sind folgende Bescheinigungen beizufügen:

Unbedenklichkeitsbescheinigung des Finanzamtes;

Nachweis der geleisteten Sozialversicherungsbeträge;

Nachweis, dass der Bieter sich nicht in Konkurs, Liquidation oder im gerichtlichen Vergleich bzw. Gegenstand eines entsprechenden Verfahrens ist, welches seine wirtschaftliche und/oder finanzielle Leistungsfähigkeit beeinträchtigt

Mindeststandards: Anerkannt werden Präqualifizierungsnachweise oder Eigenerklärungen.
Technische und berufliche Fähigkeiten:

Dem Angebot sind folgende Bescheinigungen beizufügen:

Nachweis einer ausreichenden Betriebshaftpflicht;

Erklärung, dass den Beschäftigten ein Mindestentgelt durch einen für allgemeinverbindlich erklärten Tarifvertrag bzw. bei der Ausführung der Leistung ein Entgelt von mindestens dem gesetzlich festgelegten Mindestentgelt gezahlt wird

Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Die Vergabe erfolgt nach dem Niedersächsischen Tariftreue- und Vergabegesetz (NTVergG). Dieses Gesetz soll Verzerrungen im Wettbewerb um öffentliche Aufträge entgegenwirken, die durch den Einsatz von Niedriglohnkräften entstehen, Belastungen für die sozialen Sicherungssysteme mildern sowie die umwelt- und sozialverträgliche Beschaffung durch die öffentliche Hand fördern. Entsprechende Angaben hierzu sind dem Angebot beizufügen.

Weiterhin führt die Nichterfüllung, einer als Ausschlusskriterium gekennzeichneten Anforderung, zum Ausschluss des Angebotes (KO-Kriterium).

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2022-03-31 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2022-02-07 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00
Ort des Eröffnungstermins: Hannover
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Funktionsumfang
Qualitätskriterium (Gewichtung): 25
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Sonstiges (Inbetriebnahme vor Ort?, Kostenlose telefonische Kundenbetreuung, Kosten für die Kundenbetreuung vor Ort bei der ausführenden Stelle, Dauer und Umfang der Garantie, Möglichkeit der Fernwartung, Anbieter kann als Referenz mindestens fünf gleiche bereits ausgelieferte Systeme vorweisen)
Lieferung (Alle Liefertermine, die vor dem 01.12.2022 liegen, werden mit der Maximalpunktzahl versehen. Danach angekündigte Liefertermine werden unter allen abgegebenen Angeboten absteigend bewertet.)
Kostenkriterium (Name): Bitte beachten Sie den Brutto-Gesamt-Auftragswert in Höhe von 685.000,00 EUR für das Gesamtsystem inkl. aller Nebenkosten. Dieser Wert darf nicht überschritten werden. Alle Preise sind in EUR anzugeben.
Kostenkriterium (Gewichtung): 25

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Einkauf
Internetadresse: www.uni-hannover.de 🌏
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YHERZZW/documents 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer beim Niedersächsischen Ministerium für Wirtschaft, Arbeit, Verkehr und Digitalisierung
Postanschrift: Auf der Hude 2
Postort: Lüneburg
Postleitzahl: 21339
Land: Deutschland 🇩🇪
Quelle: OJS 2022/S 026-065700 (2022-02-02)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-03-22)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: 51.35 -2022-2
Gesamtwert des Auftrags: 575 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-03-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-03-25 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 060-155600
Verweist auf Bekanntmachung: 2022/S 026-065700
ABl. S-Ausgabe: 60
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YHERUBW

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-03-17 📅
Name: scia Systems GmbH
Postanschrift: Annaberger Straße 240
Postort: Chemnitz
Postleitzahl: 09125
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3715347-780 📞
E-Mail: sales@scia-systems.com 📧
Land: Chemnitz, Kreisfreie Stadt 🏙️
Internetadresse: http://www.scia-systems.com 🌏
Gesamtwert des Auftrags: 575 000 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2022/S 060-155600 (2022-03-22)

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