Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von Belichter für die Halbleitertechnologie - Mask Aligner

Kurze Beschreibung

Die Universität der Bundeswehr München (UniBw M) wurde 1973 auf Bestreben des damaligen Bundesministers der Verteidigung, Helmut Schmidt, unter dem Namen "Hochschule der Bundeswehr München" gegründet. Sie ist eine von zwei Universitä-ten, die die Bundeswehr zur Ausbildung ihrer Offiziersanwärter und jungen Offiziere hat. Die Universität gehört zum zivilen Organisationsbereich Personal und ist dem Bundesministerium der Verteidigung zugeordnet.
Die UniBw M hat am 11.08.2020 ein neues "Zentrum für Digitalisierung- und Techno-logieforschung der Bundeswehr" (kurz DTEC.Bw) gegründet. DTEC.Bw ist Bestand-teil des Konjunkturprogramms der Bundesregierung zur Überwindung der COVID-19 Krise und wird über das Bundesministerium der Verteidigung (BMVg) mit Forschungsmitteln aus dem Konjunkturprogramm ausgestattet.
Die Universität der Bundeswehr in München plant im Rahmen des DTEC Projekts die Beschaffung eines Mask Aligners zur Belichtung von Siliziumwafern. Die Flexibilität des Gerätes und die erzielbaren Ergebnisse sind wesentlich.
Für das Projekt beabsichtigt die UniBw M, im Rahmen dieses Vergabeverfahrens ei-nen Mask Aligner zu beschaffen.
Für das Projekt VITAL-SENSE benötigt die UniBw M einen Mask Aligner um Siliziumwafer zu belichten. Im Bereich der Halbleitertechnologie spielt die sogenannte Lithographie eine entscheidende Rolle. Um fertige Bauelemente herzustellen werden hohe Ansprüche in Sachen Reproduzierbarkeit und Qualität der Ergebnisse gestellt.
Der Mask Aligner muss die hohen Reinheitsanforderungen, die Genauigkeit der Justage, Auflösung und Homogenität der Halbleitertechnologie erfüllen.
Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme
von Belichter für die Halbleitertechnologie - Mask Aligner. Im Rahmen der Inbetrieb-nahme muss der Auftragnehmer das Personal der UniBw M in den Betrieb des Mask Aligners einführen.
Die UniBw M benötigt 1 Belichter/ Mask Aligner, welcher 4", 6" und 8" Wafer bearbei-ten kann.
Die UniBw M hat für die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Mask Aligners insgesamt ein Budget von maximal EUR 428.155,00 (netto) zur Verfügung. Die UniBw M behält sich vor, Angebote, die diesen Kostenrahmen überschreiten, vom Verfahren auszuschließen sowie das Verfahren aufzuheben, sollten ausschließlich Angebote oberhalb des Kostenrahmens eingehen.
Der obsiegende Bieter muss den Mask Aligner spätestens bis zum 15.03.2023 liefern, installieren und in Betrieb nehmen. Der obsiegende Bieter muss eine Garantie für die Funktionsfähigkeit und Beschaffenheit des Mask Aligners für eine Dauer von 24 Mo-naten ab Abnahme übernehmen.
Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung (Anlage 1 zum Liefervertrag,
Anlage 2).

Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen

Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften möglichst von jedem Mitglied):
a)Formlose Eigenerklärung, aus der hervorgeht, dass
-keine Ausschlussgründe im Sinne des §§ 123, 124 GWB vorliegen bzw. erfolgreiche Selbstreinigungsmaßnahmen im Sinne des § 125 GWB durchgeführt worden sind;
-der Bieter in das einschlägige Berufsregister (Handelsregister oder Handwerksrolle) oder ein vergleichbares Register (Standeskammern etc.) des Herkunftslands eingetragen ist sowie für seine
Berufshaftpflichtversicherung, seine Krankenkasse(n) und seine Berufsgenossenschaft rückstandslos Beiträge entrichtet hat sowie seinen steuerlichen Verpflichtungen nachgekommen ist.
b)Formlose Eigenerklärung, in der der Bieter erklärt, ob und welche Teilleistungen des ausgeschriebenen Auftrags er durch Nachunternehmer ausführen lassen wird.
c)Bietergemeinschaften sollen zusätzlich eine Erklärung abgeben, aus der hervorgeht, dass kein Verstoß gegen Kartellrecht vorliegt und dass keine unzulässigen wettbewerbsbeschränkenden Absprachen getroffen wurden.
Bieter sollen die auf der in Ziffer I.3) genannten Webseite hinterlegten Vordrucke verwenden. Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.

Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften von jedem Mitglied):
a)Angabe der Gesamtumsätze der letzten bis zu 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre, möglichst durch Jahresabschlüsse und Prüfberichte belegt, sowie die Angabe der Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre mit Leistungen, die mit dem vorliegenden Auftragsgegenstand vergleichbar sind (Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von Maskaligner).
b)Bestätigung, dass der Bieter eine Berufs-/Betriebshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme von mindestens Euro 1,5 Millionen pro Schadensfall, 2-fach maximiert, unterhält oder im Falle der Auftragserteilung abschließen wird.
Für den Fall, dass ein Bieter einzelne Unternehmen als Nachunternehmer einsetzen möchte, wird auf die Möglichkeit der Eignungsleihe und die in § 47 VgV genannten Voraussetzungen hingewiesen. Wenn und soweit sich der Bieter auf die Eignung eines anderen Unternehmens beruft, ist mit dem Angebot insbesondere eine Verpflichtungserklärung des anderen Unternehmens einzureichen, dass dieses seine Ressourcen und Kapazitäten dem Bieter im Auftragsfall zur Verfügung stellt.
Bieter sollen die auf der in Ziffer I.3) genannten Webseite hinterlegten Vordrucke verwenden. Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.

Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien

Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien:
Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften von jedem Mitglied):
a) Vorlage von mindestens 6 Referenzen über Aufträge, die mit dem vorliegenden Auftragsgegenstand in Bezug auf die Leistung vergleichbar sind (Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von Maskaligner) aus den letzten bis zu 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, einschließlich der Angabe eines Ansprechpartners bei dem jeweiligen Auftraggeber der als Referenz genannten Aufträge.
Angabe der Anzahl der in den letzten bis zu 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren durchschnittlich jährlich beschäftigten Arbeitskräfte insgesamt und gesondert ausgewiesen das technische Leitungspersonal.
Für den Fall, dass ein Bieter einzelne Unternehmen als Nachunternehmer einsetzen möchte, wird auf die Möglichkeit der Eignungsleihe und die in § 47 VgV genannten Voraussetzungen hingewiesen. Wenn und soweit sich der Bieter auf die Eignung eines anderen Unternehmens beruft, ist mit dem Angebot insbesondere eine Verpflichtungserklärung des anderen Unternehmens einzureichen, dass dieses seine Ressourcen und Kapazitäten dem Bieter im Auftragsfall zur Verfügung stellt.
Bieter sollen die auf der in Ziffer I.3) genannten Webseite hinterlegten Vordrucke verwenden. Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.

1)Die Angebote sind elektronisch in Textform (§ 126b BGB) über das in Ziffer I.3) genannte Vergabeportal einzureichen. Nähere Informationen stehen auf der Startseite des in Ziffer I.3) genannten Vergabeportals zur Verfügung.
2)Die gesamte Kommunikation zwischen Auftraggeber und Bietern (auch Rückfragen zum Angebot) findet ausschließlich über das in Ziffer I.3) genannte Vergabeportal statt. Der Auftraggeber wird alle Fragen und Antworten auf dem in Ziffer I.3) genannten Vergabeportal anonymisiert zur Verfügung stellen.
3)Die Bildung von Bietergemeinschaften (BG) ist nur bis zur Abgabe des Angebots möglich. Die Angaben zur Zusammensetzung der BG sind grundsätzlich bindend. Ein Austausch einzelner Mitglieder der BG vor Auftragsvergabe bedarf der Zustimmung des Auftraggebers. Die Abgabe von Angeboten durch BG ist nur bei gesamtschuldnerischer Haftung mit bevollmächtigtem Vertreter möglich. Hierzu ist eine von allen Mitgliedern
unterschriebene Vollmacht mittels einer Bietergemeinschaftserklärung vorzulegen. Außerdem haben sämtliche Mitglieder der BG namentlich mit Anschrift einen bevollmächtigten Vertreter für das Vergabeverfahren sowie den Abschluss und die Durchführung des Vertrags zu bezeichnen. Der Auftraggeber behält sich ausdrücklich vor, diese Angaben nachzufordern. Bei der Eignungsprüfung wird die BG als Ganzes beurteilt.
4)Mehrfachbewerbungen, als Einzelbieter sowie als Mitglied einer/mehrerer BG, sind nicht zulässig. Soweit mehrere Unternehmen im Rahmen der Vergabe miteinander kooperieren (z. B. über ein gemeinsames Tochterunternehmen, als Nachunternehmer oder im Rahmen einer BG), behält sich der Auftraggeber vor, Nachweise dafür zu fordern, dass die Kooperation als Ganzes sowie die Teilnahme der einzelnen Unternehmen an der Kooperation zulässig ist, insbesondere keine unzulässige wettbewerbsbeschränkende Abrede
getroffen wurde. Für jeden Teilnehmer der Kooperation wäre dann zu begründen, inwieweit sein Entschluss zur Teilnahme an der Kooperation eine im Rahmen von zweckmäßigen und kaufmännisch vernünftigen Handelns liegende Entscheidung ist, z. B. weil der jeweilige Teilnehmer zur Zeit der Bildung der Kooperation überhaupt nicht oder jedenfalls zu dieser Zeit nicht über die erforderliche Kapazität zur Durchführung des hier ausgeschriebenen Auftrags verfügt oder aus anderen Gründen erst die Kooperation den jeweiligen Teilnehmer in die Lage versetzt, ein erfolgversprechendes Angebot abzugeben.
5)Für den Fall, dass ein Bieter einzelne Unternehmen als Nachunternehmer einsetzen möchte, wird auf die Möglichkeit der Eignungsleihe und die in § 47 VgV genannten Voraussetzungen hingewiesen. Wenn und soweit sich der Bieter auf die Eignung eines anderen Unternehmens beruft, ist mit dem Angebot insbesondere eine Verpflichtungserklärung des Nachunternehmers einzureichen, dass dieses seine Ressourcen und Kapazitäten dem Bieter im Auftragsfall zur Verfügung stellt.
6)Bieter sollen die auf der in Ziffer I.3) genannten Webseite hinterlegten Vordrucke verwenden. Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.
7)Der Auftraggeber behält sich vor, das Verfahren aus wichtigem Grund aufzuheben. Ein wichtiger Grund besteht insbesondere, wenn alle eingegangenen Angebote den Kostenrahmen in Höhe von EUR 428,155,00 (netto) übersteigen. Die UniBw M behält sich auch vor, einzelne Angebote, die diesen Kostenrahmen überschreiten, vom Verfahren auszuschließen.

Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
Das Verfahren für Verstöße gegen diese Vergabe richtet sich nach den Vorschriften der §§ 160 ff. des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Zur Wahrung der Fristen wird auf die §§ 160 ff. GWB verwiesen. Insbesondere weisen wir darauf hin, dass der Nachprüfungsantrag gemäß § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB spätestens 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen
zu wollen, zu stellen ist. Vergabeverstöße sind nach § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB vor Einreichen des Nachprüfungsantrags innerhalb von 10 Kalendertagen, nachdem der Bieter den Verstoß erkannt hat, beim Auftraggeber zu rügen. Vergabeverstöße, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind gemäß § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der Angebotsfrist bei dem Auftraggeber zu rügen.

Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
Das Verfahren für Verstöße gegen diese Vergabe richtet sich nach den Vorschriften der §§ 160 ff. des Gesetzes
gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Zur Wahrung der Fristen wird auf die §§ 160 ff. GWB verwiesen.
Insbesondere weisen wir darauf hin, dass der Nachprüfungsantrag gemäß § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB
spätestens 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen
zu wollen, zu stellen ist. Vergabeverstöße sind nach § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB vor Einreichen des
Nachprüfungsantrags innerhalb von 10 Kalendertagen, nachdem der Bieter den Verstoß erkannt hat, beim
Auftraggeber zu rügen. Vergabeverstöße, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind gemäß § 160
Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der Teilnahmefrist bei dem Auftraggeber zu rügen.