Die Maskenlithografie stellt das Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur dar und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Eine Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an die Wafergröße (bis zu 4 Zoll), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die verwendeten optischen Bauelemente basieren auf periodischen Strukturen, die eine extrem hohe Anforderung an die Periodenlänge stellen. Es sollen Einzelbauelemente in der Maskenlithografie zu einer Baugruppe auf Wafergröße zusammengefügt und hergestellt werden können.
Die detaillierte Leistungsbeschreibung entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen (Dokument: Kriterienkatalog).
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-05-10.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-04-08.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Maskenlithografie
200/8/22/2
Produkte/Dienstleistungen: Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft📦
Kurze Beschreibung:
“Die Maskenlithografie stellt das Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur dar und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Eine...”
Kurze Beschreibung
Die Maskenlithografie stellt das Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur dar und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Eine Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an die Wafergröße (bis zu 4 Zoll), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die verwendeten optischen Bauelemente basieren auf periodischen Strukturen, die eine extrem hohe Anforderung an die Periodenlänge stellen. Es sollen Einzelbauelemente in der Maskenlithografie zu einer Baugruppe auf Wafergröße zusammengefügt und hergestellt werden können.
Die detaillierte Leistungsbeschreibung entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen (Dokument: Kriterienkatalog).
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Geschätzter Wert ohne MwSt: EUR 376 000 💰
1️⃣
Ort der Leistung: Paderborn🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Universität Paderborn Warburger Str. 100 33098 Paderborn
Beschreibung der Beschaffung:
“Es wird ein schlüsselfertiges halbautomatisches Maskenausrichterkomplettsystem bestehend aus Basiseinheit, Einhausung, Software und motorisiertem...”
Beschreibung der Beschaffung
Es wird ein schlüsselfertiges halbautomatisches Maskenausrichterkomplettsystem bestehend aus Basiseinheit, Einhausung, Software und motorisiertem Ausrichtungstisch gefordert. Dieses muss im Reinraum der Universität in Betrieb genommen werden. Die Anlage muss auf einer Stellfläche von 1,2x1,0m2 für die Haupteinheit platziert werden können.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Gesamtwert ohne MwSt: EUR 376 000 💰
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 12
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Hinweise: Soweit lediglich Eigenerklärungen gefordert werden, behält sich der Auftraggeber das Recht vor, zur Behebung von Zweifeln entsprechende...”
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen
Hinweise: Soweit lediglich Eigenerklärungen gefordert werden, behält sich der Auftraggeber das Recht vor, zur Behebung von Zweifeln entsprechende Bescheinigungen oder Nachweise von den Bietern nachzufordern. Kopien von Nachweisen werden anerkannt, sofern sie keinen Anlass zu Zweifeln an der Übereinstimmung mit dem Original geben. Bitte reichen Sie unbedingt die Nachweise und Erklärungen in der hier angegebenen Reihenfolge ein! Sollten die geforderten Erklärungen oder Nachweise unvollständig oder unzureichend sein, kann der Bieter von dem weiteren Verfahren ausgeschlossen werden! Ein Bieter kann nicht darauf vertrauen, dass der Auftraggeber Gelegenheit zur Ergänzung oder Vervollständigung gibt, das Recht hierzu behält er sich jedoch vor. Sofern sich der Bieter auf die Eignung anderer Unternehmen (im Rahmen einer Bietergemeinschaft oder bzgl. Nachunternehmer) beruft, sind die jeweiligen Erklärungen und Nachweise (insb. Eigenerklärungen und Referenzen) durch dieses oder diese Unternehmen zu führen. Der Bieter/ die Bietergemeinschaft hat außerdem bei Aufforderung durch den Auftraggeber noch vor Zuschlagserteilung eine Verpflichtungserklärung des oder der jeweiligen Nachunternehmer(s) beizubringen. Weiter behält der Auftraggeber sich vor, auch von den Unternehmen, die zwar Nachunternehmer einsetzen, sich jedoch nicht zum Nachweis der Leistungsfähigkeit und Fachkunde auf die Nachunternehmer beziehen, vor Zuschlagserteilung die entsprechenden Nachweise zur Zuverlässigkeit, Fachkunde und Leistungsfähigkeit der Nachunternehmer und ggf. eine Verpflichtungserklärung einzuholen. Angaben und Formalitäten, die erforderlich sind, um die Einhaltung der Auflagen zu überprüfen:
Eigenerklärungen, dass
1. die in § 123 Abs. 1 bis 4 GWB aufgeführten zwingenden Ausschlussgründe und
2. die in § 124 Abs. 1 GWB aufgeführten zwingenden Ausschlussgründe nicht vorliegen und - soweit das der Fall ist - ggf. Maßnahmen zur Selbstreinigung nach § 125 Abs. 1 S. 1 GWB getroffen wurden, mit Darstellung derselben unter Berücksichtigung der Anforderungen aus § 125 Abs. 1 S. 1 GWB.
3. das Unternehmen in einem Berufs- oder Handelsregister eingetragen ist. Für die Mitgliedstaaten der Europäischen Union sind die jeweiligen vergleichbaren Berufs- oder Handelsregistereinträge nachzuweisen.
4. das Unternehmen Mitglied in einer Berufsgenossenschaft ist. (Unternehmen, die Ihren Sitz nicht in der Bundesrepublik Deutschland haben, geben den für sie zuständigen Versicherer an.)
Mehr anzeigen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1. Eigenerklärung über das Bestehen einer branchenüblichen Betriebshaftpflichtversicherung unter Nennung des Versicherungsgebers sowie der Deckungssummen...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
1. Eigenerklärung über das Bestehen einer branchenüblichen Betriebshaftpflichtversicherung unter Nennung des Versicherungsgebers sowie der Deckungssummen für Personenschäden, Sachschäden und Vermögensschäden.
Wichtiger Hinweis: Die Hinweise aus Ziffer III.1.1) hinsichtlich des Nachforderns von Nachweisen und Erklärungen gelten entsprechend.
“Etwaige Vorauszahlungen erfolgen ausschließlich gegen die Vorlage einer selbstschuldnerischen Bankbürgschaft des Bieters.”
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2022-05-10
12:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2022-07-08 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2022-05-10
12:00 📅
“Die Vergabestelle der Universität Paderborn lässt generell nur die Abgabe elektronischer Angebote zu.
Für die Übermittlung Ihres Angebotes nutzen Sie bitte...”
Die Vergabestelle der Universität Paderborn lässt generell nur die Abgabe elektronischer Angebote zu.
Für die Übermittlung Ihres Angebotes nutzen Sie bitte ausschließlich das Vergabeportal und das dort bereitgestellte Tool als Kommunikationsmittel.
Angebote, die uns per Fax oder E-Mail erreichen, werden sofort ausgeschlossen! Dies gilt ebenso für Angebote, die postalisch an uns gesendet werden.
Sollten Sie technische Probleme beim Hochladen Ihres Angebotes haben, so wenden Sie sich bitte direkt an den Betreiber der Plattform (Cosinex AG), um von dort direkt Support bei der Problemlösung zu erhalten.
Bekanntmachungs-ID: CXS0YYPYYFQ
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer bei der Bezirksregierung Münster
Postanschrift: Albrecht-Thaer-Straße 9
Postort: Münster
Postleitzahl: 48143
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2514110📞
E-Mail: poststelle@brms.nrw.de📧
Fax: +49 2514112165 📠
URL: http://brms.nrw.de🌏 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“1. Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
1. Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt.
2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen bis spätestens zum Ablauf der Bewerbungsfrist oder Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber
gerügt werden.
3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar waren, müssten bis zum Ablauf der Bewerbungsfrist oder der Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden.
4. Ein Nachprüfungsantrag muss innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wolle, eingehen.
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Quelle: OJS 2022/S 073-194587 (2022-04-08)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-05-18) Objekt Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Die Maskenlithografie stellt das Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur dar und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Eine...”
Kurze Beschreibung
Die Maskenlithografie stellt das Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur dar und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Eine Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an die Wafergröße (bis zu 4 Zoll), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die verwendeten optischen Bauelemente basieren auf periodischen Strukturen, die eine extrem hohe Anforderung an die Periodenlänge stellen. Es sollen Einzelbauelemente in der Maskenlithografie zu einer Baugruppe auf Wafergröße zusammengefügt und hergestellt werden können.
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Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 369 801 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Es wurde im Rahmen des offenen Verfahrens ein schlüsselfertiges halbautomatisches Maskenausrichterkomplettsystem bestehend aus Basiseinheit, Einhausung,...”
Beschreibung der Beschaffung
Es wurde im Rahmen des offenen Verfahrens ein schlüsselfertiges halbautomatisches Maskenausrichterkomplettsystem bestehend aus Basiseinheit, Einhausung, Software und motorisiertem Ausrichtungstisch gefordert. Dieses muss im Reinraum der Universität in Betrieb genommen werden. Die Anlage muss auf einer Stellfläche von 1,2x1,0m2 für die Haupteinheit platziert werden können.
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2022/S 073-194587
Auftragsvergabe
1️⃣
Titel: Auftragsvergabe SUSS MicroTec Lithography GmbH
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-05-16 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 0
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: SUSS MicroTec Lithography GmbH
Postanschrift: Schleissheimer Str. 90
Postort: Garching
Postleitzahl: 85748
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: salesoffice.smtl@suss.com📧
Region: München, Landkreis🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Geschätzter Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 376 000 💰
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 369 801 💰