schnelles Wärmebehandlungssystem (Rapid Thermal Processor)

Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein flexibel einsetzbarer Rapid Thermal Processor (RTP) für die thermische Prozessierung von Proben von Chipgröße bis 4“-Wafer mit verschiedenen Materialsystemen aus dem Bereich der Halbleiter-, sowie Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen, mit dem definierte thermische Behandlungen möglich sind. Dabei sollen Temperaturen bis mindestens 1300 °C und verschiedene Atmosphären, unter denen diese Behandlung durchführt wird, möglich sein.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-02-01. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-12-09.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2022-12-09 Auftragsbekanntmachung
2023-02-27 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
2023-03-06 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2022-12-09)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postort: Ilmenau
Postleitzahl: 98693
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
Region: Ilm-Kreis 🏙️
URL: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=492271 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=492271 🌏
URL des Beschaffungsinstruments: http://www.evergabe-online.de 🌏

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: schnelles Wärmebehandlungssystem (Rapid Thermal Processor) TU-102/22-201-ZMN
Produkte/Dienstleistungen: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke 📦
Kurze Beschreibung:
“Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu...”    Mehr anzeigen
Geschätzter Wert ohne MwSt: EUR 198 500 💰

1️⃣
Ort der Leistung: Ilm-Kreis 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: TU Ilmenau
Beschreibung der Beschaffung:
“Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Beschreibung
Dauer: 1
Informationen über Optionen
Optionen
Beschreibung der Optionen:
“In einem gesonderten Punkt sind die Kosten pro Jahr für einen Wartungsvertrag optional anzugeben. Darin sind die enthaltenen Leistungen zu spezifizieren.”
Umfang der Beschaffung
Informationen über die Fonds der Europäischen Union: 2022 IZN 0008
Beschreibung
Zusätzliche Informationen:
“Eine Anzahlung nach Beauftragung ist möglich, eine Absicherung dieser Zahlung durch eine unbefristete Bankbürgschaft wird allerdings...”    Mehr anzeigen

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Nachweis über die Befähigung zur Berufsausübung durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt A. Im Formblatt „EEE-Europäische Eigenerklärung“ werden für...”    Mehr anzeigen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt B. Im Formblatt „EEE-Europäische Eigenerklärung“...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Angaben und Formalitäten, die erforderlich sind, um die Einhaltung der Auflagen zu überprüfen: - Nachweis über die technische und berufliche...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2023-02-01 09:30 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2023-03-17 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2023-02-01 09:30 📅

Ergänzende Informationen
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Elektronische Zahlung wird verwendet
Zusätzliche Informationen

“Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3 dieser Bekanntmachung/ Kommunikation angegebenen Internet-Adresse...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Postanschrift: Jorge-Sempún-Platz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren: entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postort: Ilmenau
Postleitzahl: 98693
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
URL: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
Quelle: OJS 2022/S 241-693821 (2022-12-09)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-02-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 198 500 💰
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): techn. Spezifikation, Software, Service, Kundenbetreuung, weitere Merkmale
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50
Preis (Gewichtung): 50

Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2022/S 241-693821

Auftragsvergabe

1️⃣
Vertragsnummer: TU-102/22-201-ZMN
Titel: schnelles Wärmebehandlungssystem (Rapid Thermal Processor)
Datum des Vertragsabschlusses: 2023-02-24 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Annelsys SAS
Postort: Montpellier
Postleitzahl: 34000
Land: Frankreich 🇫🇷
Region: France 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Geschätzter Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 198 500 💰
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 177391.17 💰
Quelle: OJS 2023/S 045-131698 (2023-02-27)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-03-06)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 198 500 💰
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Gewichtung): 100
Preis (Gewichtung): 100

Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2023/S 045-131698

Auftragsvergabe
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Geschätzter Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 198 500 💰
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 177391.17 💰
Quelle: OJS 2023/S 050-145694 (2023-03-06)