schnelles Wärmebehandlungssystem (Rapid Thermal Processor)

Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein flexibel einsetzbarer Rapid Thermal Processor (RTP) für die thermische Prozessierung von Proben von Chipgröße bis 4“-Wafer mit verschiedenen Materialsystemen aus dem Bereich der Halbleiter-, sowie Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen, mit dem definierte thermische Behandlungen möglich sind. Dabei sollen Temperaturen bis mindestens 1300 °C und verschiedene Atmosphären, unter denen diese Behandlung durchführt wird, möglich sein.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-02-01. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-12-09.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2022-12-09 Auftragsbekanntmachung
2023-02-27 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
2023-03-06 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2022-12-09)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
Referenznummer: TU-102/22-201-ZMN
Kurze Beschreibung:
Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein flexibel einsetzbarer Rapid Thermal Processor (RTP) für die thermische Prozessierung von Proben von Chipgröße bis 4“-Wafer mit verschiedenen Materialsystemen aus dem Bereich der Halbleiter-, sowie Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen, mit dem definierte thermische Behandlungen möglich sind. Dabei sollen Temperaturen bis mindestens 1300 °C und verschiedene Atmosphären, unter denen diese Behandlung durchführt wird, möglich sein.
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Ilm-Kreis 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postleitzahl: 98693
Postort: Ilmenau
Kontakt
Internetadresse: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=492271 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=492271 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-12-09 📅
Einreichungsfrist: 2023-02-01 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-12-14 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 241-693821
ABl. S-Ausgabe: 241
Zusätzliche Informationen
Eine Anzahlung nach Beauftragung ist möglich, eine Absicherung dieser Zahlung durch eine unbefristete Bankbürgschaft wird allerdings vorausgesetzt. Zahlungsplan: 30% nach Beauftragung und Vorlage einer Bankbürgschaft durch den Auftragnehmer 60% nach Lieferung an die TU Ilmenau 10% nach erfolgreicher Installation, Einweisung und Abnahme oder 90% nach Beauftragung und Vorlage einer Bankbürgschaft durch den Auftragnehmer 10% nach erfolgreicher Installation, Einweisung und Abnahme
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Objekt
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Gesamtwert: 198 500 EUR 💰
Dauer: 1 Tage
Beschreibung der Optionen:
In einem gesonderten Punkt sind die Kosten pro Jahr für einen Wartungsvertrag optional anzugeben. Darin sind die enthaltenen Leistungen zu spezifizieren.
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: 2022 IZN 0008
Zusätzliche Informationen:
Eine Anzahlung nach Beauftragung ist möglich, eine Absicherung dieser Zahlung durch eine unbefristete Bankbürgschaft wird allerdings vorausgesetzt.
Zahlungsplan:
30% nach Beauftragung und Vorlage einer Bankbürgschaft durch den Auftragnehmer
60% nach Lieferung an die TU Ilmenau
10% nach erfolgreicher Installation, Einweisung und Abnahme
oder
90% nach Beauftragung und Vorlage einer Bankbürgschaft durch den Auftragnehmer
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: TU Ilmenau

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
Nachweis über die Befähigung zur Berufsausübung durch Abgabe der EEE Teil IV
Abschnitt A. Im Formblatt „EEE-Europäische Eigenerklärung“ werden für den
genannten Abschnitt folgende Angaben verlangt:
- Eintragung in das Berufsregister ihres Sitzes oder Wohnsitzes. Das Formblatt
„EEE-Einheitliche Europäische Eigenerklärung“ steht unter dem in I.3)
genannten Zugang uneingeschränkt und vollständig zur Verfügung. Zum
Ausfüllen kann auch der unter Abschnitt VI.3) dieser Bekanntmachung
zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und
wiederverwenden der EEE genutzt werden
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit durch
Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt B. Im Formblatt „EEE-Europäische
Eigenerklärung“ werden für den genannten Abschnitt folgende Angaben
verlangt:
- Der allgemeine Jahresumsatz des Wirtschaftsteilnehmers der letzten 3
abgeschlossenen Geschäftsjahre oder der durchschnittliche Jahresumsatz des
Wirtschaftsteilnehmers der letzten 3 Jahre
- der spezifische Jahresumsatz des Wirtschaftsteilnehmers in dem vom Auftrag
abgedeckten Geschäftsbereich der letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre oder
der durchschnittliche Jahresumsatz des Wirtschaftsteilnehmers in dem
betreffenden Bereich der letzten 3 Jahre
- Sind die Informationen zum Umsatz (allgemeiner oder spezifischer Umsatz)
nicht für den gesamten vorgegebenen Zeitraum erhältlich, Angabe, an welchem
Datum das Unternehmen des Wirtschaftsteilnehmers gegründet wurde oder
seine Tätigkeit aufgenommen hat
- Angaben zur Berufshaftpflichtersicherung.
Das Formblatt „EEE-Einheitliche Europäische Eigenerklärung“ steht unter dem in
I.3) genannten Zugang uneingeschränkt und vollständig zur Verfügung. Zum
Ausfüllen kann auch der unter Abschnitt VI.3) dieser Bekanntmachung,
Zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und
wiederverwenden der EEE genutzt werden.
Technische und berufliche Fähigkeiten:
Angaben und Formalitäten, die erforderlich sind, um die Einhaltung der
Auflagen zu überprüfen:
- Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe
der EEE Teil IV Abschnitt Cund D (Hinweis: bezogen auf die letzten 3
abgeschlossenen Geschäftsjahre)
Im Formblatt „EEE-Europäische Eigenerklärung
“ werden für den genannten Abschnitt folgende Angaben verlangt:
- Angaben zu Lieferungen und Dienstleistungen der genannten Art (dem
Auftragsgegenstand vergleichbare Leistungen),
- Angaben zu technischen Fachkräften oder technischen Stellen,
- Angaben zur technischen Ausrüstung und Maßnahmen zur Qualitätssicherung
- Angaben zur Vertragserfüllung, Lieferkettenmanagement und
Überwachungssystem
- Angabe zur Kontrollmöglichkeit der Produktionskapazität bzw. seine
technische Leistungsfähigkeit sowie der Qualitätskontrolle
- Angaben zu Ausbildungsnachweisen oder Bescheinigungen über die berufliche
Befähigung (Dienstleister oder Unternehmen selbst oder seiner Führungskräfte)
- Angaben zu Umweltmanagementmaßnahmen, Angaben zu den
durchschnittlich jährlich Beschäftigtenzahlen und die Zahl seiner
Führungskräfte in den letzten 3 Jahren
- Angaben zu Ausstattung, Geräte und technischen Ausrüstungen
- Angaben zur Unterauftragsvergabe, Bescheinigungen zu
Qualitätssicherungsnormen, Bescheinigungen zur Erfüllung der Anforderungen
an die Umweltmanagementsysteme oder -normen.
Das Formblatt
„EEE Einheitliche
Europäische Eigenerklärung“ steht unter dem in I.3) genannten
Zugang uneingeschränkt und vollständig zur Verfügung. Zum Ausfüllen kann
auch der unter Abschnitt VI.3) dieser Bekanntmachung zusätzliche Angaben:
Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und wiederverwenden der
EEE genutzt werden.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 09:30
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2023-03-17 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2023-02-01 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 09:30

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=492271 🌏
Internetadresse: http://www.evergabe-online.de 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen
Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3
dieser Bekanntmachung/ Kommunikation angegebenen Internet-Adresse kostenfrei
zur Verfügung. Ein Anwendersupport für Bieter steht unter der Rufnummer: 0228/99
610 1234 zur Verfügung.
Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der
Im nächsten Schritt „Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer“ anklicken und dann die
Option " eine Antwort erstellen" anklicken
Bitte weiterhin darauf achten, das im Teil IV Eignungskriterien „JA“ angeben werden
muss um alle notwendigen Angaben eintragen zu können.
„Möchten Sie die Auswahlkriterien A-D verwenden? „JA“ anklicken.
Der Globalvermerk ist nicht anzukreuzen.
Dann kann die EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml)
sowie als PDF-Datei exportiert/ gespeichert werden.
Zusätzlich zu den in Abschnitt III dieser Bekanntmachung notwendigen Angaben
sind die Teile I-III der EEE auszufüllen.
Gemäß §12a ThürVgG die nach diesem Gesetz verpflichtend vorzulegenden
Erklärungen und Nachweise sind nur von demjenigen Bieter, dem nach Abschluss
der Wertung der Angebote der Zuschlag erteilt werden soll (Bestbieter), vorzulegen.
Der Bestbieter hat die vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach
Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bestimmten Frist vorzulegen.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Postanschrift: Jorge-Sempún-Platz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren: entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postort: Ilmenau
Postleitzahl: 98693
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
Internetadresse: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
Quelle: OJS 2022/S 241-693821 (2022-12-09)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-02-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 198 500 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-02-27 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-03-03 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 045-131698
Verweist auf Bekanntmachung: 2022/S 241-693821
ABl. S-Ausgabe: 45

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): techn. Spezifikation, Software, Service, Kundenbetreuung, weitere Merkmale
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50
Preis (Gewichtung): 50

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2023-02-24 📅
Name: Annelsys SAS
Postort: Montpellier
Postleitzahl: 34000
Land: Frankreich 🇫🇷
Gesamtwert des Auftrags: 177391.17 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2023/S 045-131698 (2023-02-27)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-03-06)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 198 500 EUR 💰

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-03-06 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-03-10 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 050-145694
Verweist auf Bekanntmachung: 2023/S 045-131698
ABl. S-Ausgabe: 50

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Gewichtung): 100
Preis (Gewichtung): 100
Quelle: OJS 2023/S 050-145694 (2023-03-06)