Beschreibung der Beschaffung
Dieses Dokument stellt die Spezifikation zusammen
einer Schlitzdüsen-Beschichtungsanlage zur Abscheidung
von anorganischen, organischen und hybriden Materialien
aus niedrigviskoser Lösung. Das Angebot muss
ausdrücklich auf die Erfüllung der
Spezifikationen, die in diesem Dokument zusammengestellt wurden.
Beschreibung:
Das Beschichtungssystem muss mindestens 1 enthalten
Schlitzdüsen-Beschichtungsanlage zum Beschichten von Substraten
von Größen bis zu 300x300 mm². Substrate
kann starr (z. B. Glas) oder flexibel (z. B.
Kunststofffolien). Zum Beschichten in inert
Atmosphäre muss das Beschichtungssystem sein
integriert in ein vorhandenes Handschuhfach
(Handschuhfach Systemtechnik (GS), Mega 5/5).
Die Abmessungen sowie die zulässige Fläche
und Punktbelastung des Handschuhfachs detailliert dargestellt
im Dokument und müssen berücksichtigt werden
das Konzept des Beschichtungssystems. Für
Trocknung der abgeschiedenen Schichten muss die Anlage mit einer Beheizbaren ausgestattet werden
Substrattisch und mit einer Trocknungseinheit, die
ermöglicht eine Trocknung parallel zur Beschichtung
und mit einer definierten Front (z. B. ein stickstoffgespeistes
Luftklinge).