Spin-Coating-Cluster für diverse Wafer

Kurze Beschreibung

Die Universität der Bundeswehr plant im Rahmen des DTEC Projekts die Beschaffung eines manuell zu bedienen Spincoating-Clusters zur Aufbringung von lichtsensitiven Schichten sogenannten Fotolacken. Die Flexibilität des Gerätes (unterschiedliche Waferformate und Beschichtungsmaterialien) und die Qualität der erzielbaren Ergebnisse sind wesentlich.
Im Bereich der Halbleitertechnologie spielt die sogenannte Lithographie eine entscheidende Rolle. Dabei werden Strukturen mithilfe eines optischen Systems in eine lichtsensitive Schicht geschrieben. Das hier zu beschaffende Spincoating-Cluster besteht aus einem Spin-Coater und einer Heizplatte (Hotplate). Dabei wird auf dem Spin-Coater unter Rotationsgeschwindigkeit der Fotolack aufgebracht und anschließend auf der Heizplatte ausgeheizt. Dies ist notwendig damit der Lack mechanisch und chemisch stabilisiert wird. Dabei wir eine hohe Anforderung an Homogenität und Partikelfreiheit der Schicht gelegt. Dies ist notwendig da sonst der anschließende Belichtungsprozess zu keinen zufriedenstellenden Ergebnissen führt.
Für diesen Vorgang werden hoch präzise Anlagen benötigt, die eine solche Auftragung reproduzierbar und flexibel ermöglichen. Zusätzlich muss das Clustertool eine hohe Flexibilität in Punkten wie verschiedene Fotolacke, unterschiedliche Substratgrößen und verschiedene Ausheizprogramme aufweisen. Aus diesem Grund soll die Bedienung manuell erfolgen. Aufgrund der beengten Platzverhältnisse im Labor kann nur ein Gerät als Clustertool aufgestellt werden.
Neben den prozessrelevanten Details der Anlagen, ist ebenso die sichere Anwendung für den Operator zu beachten. Hierbei gilt es zu gewährleisten, dass ein erhöhtes Gefahrenpotential durch mechanische, sowie chemische Komponenten ausgeschlossen wird.

Beschreibung der Beschaffung

Die Universität der Bundeswehr plant im Rahmen des DTEC Projekts die Beschaffung eines manuell zu bedienen Spincoating-Clusters zur Aufbringung von lichtsensitiven Schichten sogenannten Fotolacken. Die Flexibilität des Gerätes (unterschiedliche Waferformate und Beschichtungsmaterialien) und die Qualität der erzielbaren Ergebnisse sind wesentlich.
Im Bereich der Halbleitertechnologie spielt die sogenannte Lithographie eine entscheidende Rolle. Dabei werden Strukturen mithilfe eines optischen Systems in eine lichtsensitive Schicht geschrieben. Das hier zu beschaffende Spincoating-Cluster besteht aus einem Spin-Coater und einer Heizplatte (Hotplate). Dabei wird auf dem Spin-Coater unter Rotationsgeschwindigkeit der Fotolack aufgebracht und anschließend auf der Heizplatte ausgeheizt. Dies ist notwendig damit der Lack mechanisch und chemisch stabilisiert wird. Dabei wir eine hohe Anforderung an Homogenität und Partikelfreiheit der Schicht gelegt. Dies ist notwendig da sonst der anschließende Belichtungsprozess zu keinen zufriedenstellenden Ergebnissen führt.
Für diesen Vorgang werden hoch präzise Anlagen benötigt, die eine solche Auftragung reproduzierbar und flexibel ermöglichen. Zusätzlich muss das Clustertool eine hohe Flexibilität in Punkten wie verschiedene Fotolacke, unterschiedliche Substratgrößen und verschiedene Ausheizprogramme aufweisen. Aus diesem Grund soll die Bedienung manuell erfolgen. Aufgrund der beengten Platzverhältnisse im Labor kann nur ein Gerät als Clustertool aufgestellt werden.
Neben den prozessrelevanten Details der Anlagen, ist ebenso die sichere Anwendung für den Operator zu beachten. Hierbei gilt es zu gewährleisten, dass ein erhöhtes Gefahrenpotential durch mechanische, sowie chemische Komponenten ausgeschlossen wird. (Anl.1)

Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen

Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften möglichst von jedem Mitglied):
a) Formlose Eigenerklärung, aus der hervorgeht, dass
- keine Ausschlussgründe im Sinne des §§ 123, 124 GWB vorliegen bzw. erfolgreiche Selbstreinigungsmaßnahmen im Sinne des § 125 GWB durchgeführt worden sind;
- der Bieter in das einschlägige Berufsregister (Handelsregister oder Handwerksrolle) oder ein vergleichbares Register (Standeskammern etc.) des Herkunftslands eingetragen ist sowie für seine
Berufshaftpflichtversicherung, seine Krankenkasse(n) und seine Berufsgenossenschaft rückstandslos Beiträge entrichtet hat sowie seinen steuerlichen Verpflichtungen nachgekommen ist.
b) Formlose Eigenerklärung, in der der Bieter erklärt, ob und welche Teilleistungen des ausgeschriebenen Auftrags er durch Nachunternehmer ausführen lassen wird.
c) Bietergemeinschaften sollen zusätzlich eine Erklärung abgeben, aus der hervorgeht, dass kein Verstoß gegen Kartellrecht vorliegt und dass keine unzulässigen wettbewerbsbeschränkenden Absprachen getroffen wurden.
Bieter sollen die auf der in Ziffer I.3) genannten Webseite hinterlegten Vordrucke verwenden. Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.

Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien

Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften von jedem Mitglied):
a) Angabe der Gesamtumsätze der letzten bis zu 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre, möglichst durch Jahresabschlüsse und Prüfberichte belegt, sowie die Angabe der Umsätze der letzten 3 Geschäftsjahre mit Leistungen, die mit dem vorliegenden Auftragsgegenstand vergleichbar sind (Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von Spin-Coating-Cluster).
b) Bestätigung, dass der Bieter eine Berufs-/Betriebshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme von mindestens Euro 1,5 Millionen pro Schadensfall, 2-fach maximiert, unterhält oder im Falle der Auftragserteilung abschließen wird.
Für den Fall, dass ein Bieter einzelne Unternehmen als Nachunternehmer einsetzen möchte, wird auf die Möglichkeit der Eignungsleihe und die in § 47 VgV genannten Voraussetzungen hingewiesen. Wenn und soweit sich der Bieter auf die Eignung eines anderen Unternehmens beruft, ist mit dem Angebot insbesondere eine Verpflichtungserklärung des anderen Unternehmens einzureichen, dass dieses seine Ressourcen und Kapazitäten dem Bieter im Auftragsfall zur Verfügung stellt.
Bieter sollen die auf der in Ziffer I.3) genannten Webseite hinterlegten Vordrucke verwenden. Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.

Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien

Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften von jedem Mitglied):
a) Vorlage von mindestens 3 Referenzen über Aufträge, die mit dem vorliegenden Auftragsgegenstand in Bezug auf die Leistung vergleichbar sind (Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von Spin-Coating-Cluster) aus den
letzten bis zu 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, einschließlich der Angabe eines Ansprechpartners bei dem jeweiligen Auftraggeber der als Referenz genannten Aufträge.
b) Angabe der Anzahl der in den letzten bis zu 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren durchschnittlich jährlich beschäftigten Arbeitskräfte insgesamt und gesondert ausgewiesen das technische Leitungspersonal.
Für den Fall, dass ein Bieter einzelne Unternehmen als Nachunternehmer einsetzen möchte, wird auf die Möglichkeit der Eignungsleihe und die in § 47 VgV genannten Voraussetzungen hingewiesen. Wenn und soweit sich der Bieter auf die Eignung eines anderen Unternehmens beruft, ist mit dem Angebot insbesondere eine Verpflichtungserklärung des anderen Unternehmens einzureichen, dass dieses seine Ressourcen und Kapazitäten dem Bieter im Auftragsfall zur Verfügung stellt.
Bieter sollen die auf der in Ziffer I.3) genannten Webseite hinterlegten Vordrucke verwenden. Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.

1) Die Angebote sind elektronisch in Textform (§ 126b BGB) über das in Ziffer I.3) genannte Vergabeportal einzureichen. Nähere Informationen stehen auf der Startseite des in Ziffer I.3) genannten Vergabeportals zur Verfügung.
2) Die gesamte Kommunikation zwischen Auftraggeber und Bietern (auch Rückfragen zum Angebot) findet ausschließlich über das in Ziffer I.3) genannte Vergabeportal statt. Der Auftraggeber wird alle Fragen und Antworten auf dem in Ziffer I.3) genannten Vergabeportal anonymisiert zur Verfügung stellen.
3) Die Bildung von Bietergemeinschaften (BG) ist nur bis zur Abgabe des Angebots möglich. Die Angaben zur Zusammensetzung der BG sind grundsätzlich bindend. Ein Austausch einzelner Mitglieder der BG vor Auftragsvergabe bedarf der Zustimmung des Auftraggebers. Die Abgabe von Angeboten durch BG ist nur bei gesamtschuldnerischer Haftung mit bevollmächtigtem Vertreter möglich. Hierzu ist eine von allen Mitgliedern
unterschriebene Vollmacht mittels einer Bietergemeinschaftserklärung vorzulegen. Außerdem haben sämtliche Mitglieder der BG namentlich mit Anschrift einen bevollmächtigten Vertreter für das Vergabeverfahren sowie den Abschluss und die Durchführung des Vertrags zu bezeichnen. Der Auftraggeber behält sich ausdrücklich vor, diese Angaben nachzufordern. Bei der Eignungsprüfung wird die BG als Ganzes beurteilt.
4) Mehrfachbewerbungen, als Einzelbieter sowie als Mitglied einer/mehrerer BG, sind nicht zulässig. Soweit mehrere Unternehmen im Rahmen der Vergabe miteinander kooperieren (z. B. über ein gemeinsames Tochterunternehmen, als Nachunternehmer oder im Rahmen einer BG), behält sich der Auftraggeber vor, Nachweise dafür zu fordern, dass die Kooperation als Ganzes sowie die Teilnahme der einzelnen Unternehmen an der Kooperation zulässig ist, insbesondere keine unzulässige wettbewerbsbeschränkende Abrede
getroffen wurde. Für jeden Teilnehmer der Kooperation wäre dann zu begründen, inwieweit sein Entschluss zur Teilnahme an der Kooperation eine im Rahmen von zweckmäßigen und kaufmännisch vernünftigen Handelns liegende Entscheidung ist, z. B. weil der jeweilige Teilnehmer zur Zeit der Bildung der Kooperation überhaupt nicht oder jedenfalls zu dieser Zeit nicht über die erforderliche Kapazität zur Durchführung des hier ausgeschriebenen Auftrags verfügt oder aus anderen Gründen erst die Kooperation den jeweiligen Teilnehmer in die Lage versetzt, ein erfolgversprechendes Angebot abzugeben.
5) Für den Fall, dass ein Bieter einzelne Unternehmen als Nachunternehmer einsetzen möchte, wird auf die Möglichkeit der Eignungsleihe und die in § 47 VgV genannten Voraussetzungen hingewiesen. Wenn und soweit sich der Bieter auf die Eignung eines anderen Unternehmens beruft, ist mit dem Angebot insbesondere eine Verpflichtungserklärung des Nachunternehmers einzureichen, dass dieses seine Ressourcen und Kapazitäten dem Bieter im Auftragsfall zur Verfügung stellt.
6) Bieter sollen die auf der in Ziffer I.3) genannten Webseite hinterlegten Vordrucke verwenden. Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.
7) Der Auftraggeber behält sich vor, das Verfahren aus wichtigem Grund aufzuheben. Ein wichtiger Grund besteht insbesondere, wenn alle eingegangenen Angebote den Kostenrahmen in Höhe von EUR 234.000,00 (netto) übersteigen. Die UniBw M behält sich auch vor, einzelne Angebote, die diesen Kostenrahmen überschreiten, vom Verfahren auszuschließen.

Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
Das Verfahren für Verstöße gegen diese Vergabe richtet sich nach den Vorschriften der §§ 160 ff. des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Zur Wahrung der Fristen wird auf die §§ 160 ff. GWB verwiesen. Insbesondere weisen wir darauf hin, dass der Nachprüfungsantrag gemäß § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB spätestens 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen
zu wollen, zu stellen ist. Vergabeverstöße sind nach § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB vor Einreichen des Nachprüfungsantrags innerhalb von 10 Kalendertagen, nachdem der Bieter den Verstoß erkannt hat, beim Auftraggeber zu rügen. Vergabeverstöße, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind gemäß § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der Angebotsfrist bei dem Auftraggeber zu rügen.