Spin-Coating-Cluster für diverse Wafer

Universität der Bundeswehr München (UniBw M)

Die Universität der Bundeswehr plant im Rahmen des DTEC Projekts die Beschaffung eines manuell zu bedienen Spincoating-Clusters zur Aufbringung von lichtsensitiven Schichten sogenannten Fotolacken. Die Flexibilität des Gerätes (unterschiedliche Waferformate und Beschichtungsmaterialien) und die Qualität der erzielbaren Ergebnisse sind wesentlich.
Im Bereich der Halbleitertechnologie spielt die sogenannte Lithographie eine entscheidende Rolle. Dabei werden Strukturen mithilfe eines optischen Systems in eine lichtsensitive Schicht geschrieben. Das hier zu beschaffende Spincoating-Cluster besteht aus einem Spin-Coater und einer Heizplatte (Hotplate). Dabei wird auf dem Spin-Coater unter Rotationsgeschwindigkeit der Fotolack aufgebracht und anschließend auf der Heizplatte ausgeheizt. Dies ist notwendig damit der Lack mechanisch und chemisch stabilisiert wird. Dabei wir eine hohe Anforderung an Homogenität und Partikelfreiheit der Schicht gelegt. Dies ist notwendig da sonst der anschließende Belichtungsprozess zu keinen zufriedenstellenden Ergebnissen führt.
Für diesen Vorgang werden hoch präzise Anlagen benötigt, die eine solche Auftragung reproduzierbar und flexibel ermöglichen. Zusätzlich muss das Clustertool eine hohe Flexibilität in Punkten wie verschiedene Fotolacke, unterschiedliche Substratgrößen und verschiedene Ausheizprogramme aufweisen. Aus diesem Grund soll die Bedienung manuell erfolgen. Aufgrund der beengten Platzverhältnisse im Labor kann nur ein Gerät als Clustertool aufgestellt werden.
Neben den prozessrelevanten Details der Anlagen, ist ebenso die sichere Anwendung für den Operator zu beachten. Hierbei gilt es zu gewährleisten, dass ein erhöhtes Gefahrenpotential durch mechanische, sowie chemische Komponenten ausgeschlossen wird.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-11-21. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-10-21.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• SUSS MicroTec Solutions GmbH & Co. KG

Wer?

• Universität der Bundeswehr München (UniBw M)

Wie?

Wo?

• Oberbayern › München, Landkreis

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2022-10-21	Auftragsbekanntmachung
2023-07-31	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2022-10-21)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: M/HSB1/MT419/EIT2.1_KD
Kurze Beschreibung:
“Die Universität der Bundeswehr plant im Rahmen des DTEC Projekts die Beschaffung eines manuell zu bedienen Spincoating-Clusters zur Aufbringung von...”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Industrielle Maschinen 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: München, Landkreis 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Ministerium oder sonstige zentral- oder bundesstaatliche Behörde
Name des öffentlichen Auftraggebers: Universität der Bundeswehr München (UniBw M)
Postanschrift: Werner-Heisenberg-Weg 39
Postleitzahl: 85577
Postort: Neubiberg
Kontakt
Internetadresse: http://www.evergabe-online.de/ 🌏
E-Mail: zv13@unibw.de 📧
Telefon: +49 8960042597 📞
Fax: +49 8960044013 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=484543 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-10-21 📅
Einreichungsfrist: 2022-11-21 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-10-26 📅
Datum des Beginns: 2022-12-15 📅
Datum des Endes: 2023-10-13 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 207-590392
ABl. S-Ausgabe: 207
Zusätzliche Informationen

“entfällt”

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Die Universität der Bundeswehr plant im Rahmen des DTEC Projekts die Beschaffung eines manuell zu bedienen Spincoating-Clusters zur Aufbringung von...”

“Im Bereich der Halbleitertechnologie spielt die sogenannte Lithographie eine entscheidende Rolle. Dabei werden Strukturen mithilfe eines optischen Systems...”

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“Für diesen Vorgang werden hoch präzise Anlagen benötigt, die eine solche Auftragung reproduzierbar und flexibel ermöglichen. Zusätzlich muss das...”

“Neben den prozessrelevanten Details der Anlagen, ist ebenso die sichere Anwendung für den Operator zu beachten. Hierbei gilt es zu gewährleisten, dass ein...”

“Neben den prozessrelevanten Details der Anlagen, ist ebenso die sichere Anwendung für den Operator zu beachten. Hierbei gilt es zu gewährleisten, dass ein...”

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Siehe Verzeichnis der Empfängeranschriften”

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
“Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften möglichst von jedem Mitglied):”

“a) Formlose Eigenerklärung, aus der hervorgeht, dass”

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“- keine Ausschlussgründe im Sinne des §§ 123, 124 GWB vorliegen bzw. erfolgreiche Selbstreinigungsmaßnahmen im Sinne des § 125 GWB durchgeführt worden sind;”

“- der Bieter in das einschlägige Berufsregister (Handelsregister oder Handwerksrolle) oder ein vergleichbares Register (Standeskammern etc.) des...”

“Berufshaftpflichtversicherung, seine Krankenkasse(n) und seine Berufsgenossenschaft rückstandslos Beiträge entrichtet hat sowie seinen steuerlichen...”

“b) Formlose Eigenerklärung, in der der Bieter erklärt, ob und welche Teilleistungen des ausgeschriebenen Auftrags er durch Nachunternehmer ausführen lassen wird.”

“c) Bietergemeinschaften sollen zusätzlich eine Erklärung abgeben, aus der hervorgeht, dass kein Verstoß gegen Kartellrecht vorliegt und dass keine...”

“Bieter sollen die auf der in Ziffer I.3) genannten Webseite hinterlegten Vordrucke verwenden. Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des §...”

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
“Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften von jedem Mitglied):”

“a) Angabe der Gesamtumsätze der letzten bis zu 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre, möglichst durch Jahresabschlüsse und Prüfberichte belegt, sowie die Angabe...”

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“b) Bestätigung, dass der Bieter eine Berufs-/Betriebshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme von mindestens Euro 1,5 Millionen pro Schadensfall,...”

“Für den Fall, dass ein Bieter einzelne Unternehmen als Nachunternehmer einsetzen möchte, wird auf die Möglichkeit der Eignungsleihe und die in § 47 VgV...”

“Bieter sollen die auf der in Ziffer I.3) genannten Webseite hinterlegten Vordrucke verwenden. Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des §...”

Technische und berufliche Fähigkeiten:
“Mit dem Angebot sollen die Bieter möglichst folgende Unterlagen vorlegen (bei Bietergemeinschaften von jedem Mitglied):”

“a) Vorlage von mindestens 3 Referenzen über Aufträge, die mit dem vorliegenden Auftragsgegenstand in Bezug auf die Leistung vergleichbar sind (Lieferung,...”

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“letzten bis zu 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, einschließlich der Angabe eines Ansprechpartners bei dem jeweiligen Auftraggeber der als Referenz...”

“b) Angabe der Anzahl der in den letzten bis zu 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren durchschnittlich jährlich beschäftigten Arbeitskräfte insgesamt und...”

“Für den Fall, dass ein Bieter einzelne Unternehmen als Nachunternehmer einsetzen möchte, wird auf die Möglichkeit der Eignungsleihe und die in § 47 VgV...”

“Bieter sollen die auf der in Ziffer I.3) genannten Webseite hinterlegten Vordrucke verwenden. Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des §...”

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 13:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2023-01-20 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2022-11-21 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 13:00
Zusätzliche Informationen:
“entfällt”

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Nationale Registrierungsnummer: DE811272995
Kontakt
Kontaktperson: ZV I.3
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=484543 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

“1) Die Angebote sind elektronisch in Textform (§ 126b BGB) über das in Ziffer I.3) genannte Vergabeportal einzureichen. Nähere Informationen stehen auf der...”

“2) Die gesamte Kommunikation zwischen Auftraggeber und Bietern (auch Rückfragen zum Angebot) findet ausschließlich über das in Ziffer I.3) genannte...”

Mehr anzeigen (7)

“3) Die Bildung von Bietergemeinschaften (BG) ist nur bis zur Abgabe des Angebots möglich. Die Angaben zur Zusammensetzung der BG sind grundsätzlich bindend....”

“unterschriebene Vollmacht mittels einer Bietergemeinschaftserklärung vorzulegen. Außerdem haben sämtliche Mitglieder der BG namentlich mit Anschrift einen...”

“4) Mehrfachbewerbungen, als Einzelbieter sowie als Mitglied einer/mehrerer BG, sind nicht zulässig. Soweit mehrere Unternehmen im Rahmen der Vergabe...”

“getroffen wurde. Für jeden Teilnehmer der Kooperation wäre dann zu begründen, inwieweit sein Entschluss zur Teilnahme an der Kooperation eine im Rahmen von...”

“5) Für den Fall, dass ein Bieter einzelne Unternehmen als Nachunternehmer einsetzen möchte, wird auf die Möglichkeit der Eignungsleihe und die in § 47 VgV...”

“6) Bieter sollen die auf der in Ziffer I.3) genannten Webseite hinterlegten Vordrucke verwenden. Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des...”

“7) Der Auftraggeber behält sich vor, das Verfahren aus wichtigem Grund aufzuheben. Ein wichtiger Grund besteht insbesondere, wenn alle eingegangenen...”

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Bundeskartellamt-VergabekammerdesBundes
Postanschrift: VillemomblerStraße76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2289499-0 📞
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Fax: +49 2289499-163 📠
Internetadresse: https://www.bundeskartellamt.de/SharedDocs/Kontaktdaten/DE/Vergabekammern.html 🌏
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:”

“Das Verfahren für Verstöße gegen diese Vergabe richtet sich nach den Vorschriften der §§ 160 ff. des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Zur...”

Mehr anzeigen (1)

“zu wollen, zu stellen ist. Vergabeverstöße sind nach § 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB vor Einreichen des Nachprüfungsantrags innerhalb von 10 Kalendertagen,...”

Quelle: OJS 2022/S 207-590392 (2022-10-21)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-07-31)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Vergabekriterien
Niedrigster Preis

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-07-31 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-08-04 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 149-471562
Verweist auf Bekanntmachung: 2022/S 207-590392
ABl. S-Ausgabe: 149

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Die Universität der Bundeswehr plant im Rahmen des DTEC Projekts die Beschaffung eines manuell zu bedienen Spincoating-Clusters zur Aufbringung von...”

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2023-05-31 📅
Name: SUSS MicroTec Solutions GmbH & Co. KG
Postanschrift: Ferdinand-von-Steinbeis Ring 10
Postort: Sternenfels
Postleitzahl: 75447
Land: Deutschland 🇩🇪
Enzkreis 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2023/S 149-471562 (2023-07-31)

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