Spin Spray Tool for Acid Cleaning Batch Processes on 200mm wafers with III-V Materials

IHP GmbH - Leibniz-Institut für Innovative Mikroelektronik

Reinigungs- und Ätzanlage für neue III-V-Materialien im Reinraum

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-11-10. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-10-10.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2022-10-10 Auftragsbekanntmachung
2023-06-12 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2022-10-10)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Beschaffung
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Region: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: https://www.ihp-microelectronics.com/ 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYWGD20QT8/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYWGD20QT8 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschung und Entwicklung

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel:
“Spin Spray Tool for Acid Cleaning Batch Processes on 200mm wafers with III-V Materials IHP-2022-124”
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Kurze Beschreibung: Reinigungs- und Ätzanlage für neue III-V-Materialien im Reinraum

1️⃣
Ort der Leistung: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)”
Beschreibung der Beschaffung: Reinigungs- und Ätzanlage für neue III-V-Materialien im Reinraum
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 1

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.”
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Referenzen: Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2022-11-10 12:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2023-01-09 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2022-11-10 12:00 📅

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name:
“Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten”
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331/866-1719 📞
Fax: +49 331/866-1652 📠
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name:
“Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten”
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331/866-1719 📞
Fax: +49 331/866-1652 📠
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten”
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331/866-1719 📞
Fax: +49 331/866-1652 📠
Quelle: OJS 2022/S 199-562312 (2022-10-10)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-06-12)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: IHP GmbH
Nationale Registrierungsnummer: 2022/S 199-562312
URL: www.ihp-microelectronics.com 🌏

Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 1 114 386 💰
Vergabekriterien
Kostenkriterium (Name): Preis
Kostenkriterium (Gewichtung): 40%
Kostenkriterium (Name):
“Sicherheitskonzept der Anlage in Bezug auf das IHP (z.B. Möglichkeit der Freisetzung von gefährlichen Stoffen und deren Schutzmaßnahmen und Überwachung)”
Kostenkriterium (Gewichtung): 6%
Kostenkriterium (Name): Anzahl von Fill Vessels und Tanks
Kostenkriterium (Name):
“Maximale Flexibilität der möglichen Prozesse und Prozessparameter, Steuerung der Prozessparameter auf Rezeptbasis”
Kostenkriterium (Name): Trocknungsmöglichkeit (Dry-in, Dry-out)
Kostenkriterium (Gewichtung): 15%
Kostenkriterium (Name):
“Prozesskammer kompatibel mit möglichst vielen Chemikalien (SC1, SC2, Piranha, HCl+H3PO4, NOE+EG). Prozesskammer Temperaturbeständigkeit bis 100°C”
Kostenkriterium (Gewichtung): 21%
Kostenkriterium (Name): Maße der Anlage (lt. LV)

Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2022/S 199-562312

Auftragsvergabe

1️⃣
Vertragsnummer: 2230315
Titel: Spin Spray Tool for Acid Cleaning Batch Processes on 200mm wafers
Datum des Vertragsabschlusses: 2023-02-15 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Siconnex customized solutions GmbH
Postort: Hof bei Salzburg
Land: Österreich 🇦🇹
Region: Salzburg und Umgebung 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 1 114 386 💰

Ergänzende Informationen
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Quelle: OJS 2023/S 115-359041 (2023-06-12)