Sputter-Depositionssystem

Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung

Lieferung und Inbetriebnahme eines flexibel einsetzbaren Sputter Depositionssystems zur
Abscheidung dünner Filme aus elektrisch leitenden bis isolierenden, ferromagnetischen sowie
nichtferromagnetischen Materialien, als auch für reaktive Sputter Prozesse von Oxid- sowie Nitrid-
Schichten in Schichtkombination ohne Vakuumunterbrechung.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-09-22. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-08-15.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2022-08-15 Auftragsbekanntmachung
2022-11-03 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2022-08-15)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
Referenznummer: TU-086/22-21-EI
Kurze Beschreibung:
Lieferung und Inbetriebnahme eines flexibel einsetzbaren Sputter Depositionssystems zur Abscheidung dünner Filme aus elektrisch leitenden bis isolierenden, ferromagnetischen sowie nichtferromagnetischen Materialien, als auch für reaktive Sputter Prozesse von Oxid- sowie Nitrid- Schichten in Schichtkombination ohne Vakuumunterbrechung.
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Ilm-Kreis 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postleitzahl: 98693
Postort: Ilmenau
Kontakt
Internetadresse: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
Fax: +49 3677-691931 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=473661 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=473661 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-08-15 📅
Einreichungsfrist: 2022-09-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-08-19 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 159-452486
ABl. S-Ausgabe: 159
Zusätzliche Informationen
Zahlungsbedingungen: Zahlungsplan: 90% nach Beauftragung und Vorlage einer Bankbürgschaft durch den Auftragnehmer 10% nach erfolgreicher Installation, Einweisung und Abnahme.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Lieferung und Inbetriebnahme eines flexibel einsetzbaren Sputter Depositionssystems zur
Abscheidung dünner Filme aus elektrisch leitenden bis isolierenden, ferromagnetischen sowie
nichtferromagnetischen Materialien, als auch für reaktive Sputter Prozesse von Oxid- sowie Nitrid-
Schichten in Schichtkombination ohne Vakuumunterbrechung.
Geschätzter Gesamtwert: 420 168 EUR 💰
Kurze Beschreibung:
Lieferung und Inbetriebnahme eines flexibel einsetzbaren Sputter-Depositionssystems zur
nichtferromagnetischen Materialien, als auch für reaktive Sputter-Prozesse von Oxid- sowie Nitrid-
Schichten in Schichtkombination ohne Vakuumunterbrechung. Zur Herstellung und Untersuchung von
Vielelementsystemen, entweder co-gesputtert oder als Multilagen, muss die Anlage über mindestens
4 voneinander unabhängige Sputterquellen verfügen.
Dafür ist eine spezifisch ausgestattete Anlage erforderlich, die im Besonderen eine hohe Variabilität
der Sputter-Geometrie und der Prozessparameter für eine Optimierung der elektronischen, optischen,
magnetischen und weiteren Eigenschaften der Schichten besitzt. Für kombinatorische
Untersuchungen abhängig von Schichtdicke und Zusammensetzung (bei co-gesputterten Schichten)
müssen Schichten mit kontrollierten linearen und gestuften über die Substratfläche verlaufenden
Schichtdickengradienten abgeschieden werden können. Kontrollierte lineare und gestufte
Konzentrationsgradienten über die Schichtdickenrichtung sollen mittels Co-Sputtern von bis zu 4
Materialien erzeugt werden können. Des Weiteren wäre ein Reinigungs- oder Aktivierungsprozess der
Substratoberfläche im Vakuum mittels Plasmaeinwirkung unmittelbar vor den Abscheideprozessen
vorteilhaft.
Die Anlage sollte eine hohe Flexibilität hinsichtlich der Sputtergeometrie und der Plasmabedingungen
zur Beeinflussung der Schichteigenschaften aufweisen. Die Anlage soll zudem zur wissenschaftlichen
Untersuchung der Abscheidemechanismen und zur Prozessentwicklung dienen.
Für einen zukunftssicheren Forschungseinsatz ist eine Erweiterbarkeit der Anlage um weitere
Komponenten besonders vorteilhaft.
Für den vorgesehenen Forschungseinsatz spielt die Prozessentwicklung und -optimierung eine
besondere Rolle. Es sollen unter anderem neue Methoden zur Prognose von Schichtparametern
entwickelt werden. Dafür soll die Möglichkeit bestehen, komplexe Prozessabläufe unter Nutzung
grundlegender Programmierlogik zu definieren. Darüber hinaus sollen alle wesentlichen Prozess- und
Maschinenparameter der Anlage für Abfragen durch ein externes Datenbanksystem verfügbar sein.
Geschätzter Wert ohne MwSt: 420 168 EUR 💰
Dauer: 1 Tage
Zusätzliche Informationen:
Zahlungsbedingungen:
Zahlungsplan:
90% nach Beauftragung und Vorlage einer Bankbürgschaft durch den Auftragnehmer
10% nach erfolgreicher Installation, Einweisung und Abnahme.
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Zusätzlicher CPV-Code: FG11
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: TU Ilmenau

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
Nachweis über die Befähigung zur Berufsausübung durch Abgabe der EEE Teil IV
Abschnitt A. Im Formblatt „EEE-Europäische Eigenerklärung“ werden für den
genannten Abschnitt folgende Angaben verlangt:
- Eintragung in das Berufsregister ihres Sitzes oder Wohnsitzes. Das Formblatt
„EEE-Einheitliche Europäische Eigenerklärung“ steht unter dem in I.3)
genannten Zugang uneingeschränkt und vollständig zur Verfügung. Zum
Ausfüllen kann auch der unter Abschnitt VI.3) dieser Bekanntmachung
zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und
wiederverwenden der EEE genutzt werden.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit durch
Abgabe der EEE Teil IV Abschnitt B. Im Formblatt „EEE-Europäische
Eigenerklärung“ werden für den genannten Abschnitt folgende Angaben
verlangt:
- Der allgemeine Jahresumsatz des Wirtschaftsteilnehmers der letzten 3
abgeschlossenen Geschäftsjahre oder der durchschnittliche Jahresumsatz des
Wirtschaftsteilnehmers der letzten 3 Jahre
- der spezifische Jahresumsatz des Wirtschaftsteilnehmers in dem vom Auftrag
abgedeckten Geschäftsbereich der letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre oder
der durchschnittliche Jahresumsatz des Wirtschaftsteilnehmers in dem
betreffenden Bereich der letzten 3 Jahre
- Sind die Informationen zum Umsatz (allgemeiner oder spezifischer Umsatz)
nicht für den gesamten vorgegebenen Zeitraum erhältlich, Angabe, an welchem
Datum das Unternehmen des Wirtschaftsteilnehmers gegründet wurde oder
seine Tätigkeit aufgenommen hat
- Angaben zur Berufshaftpflichtersicherung.
Das Formblatt „EEE-Einheitliche Europäische Eigenerklärung“ steht unter dem in
I.3) genannten Zugang uneingeschränkt und vollständig zur Verfügung. Zum
Ausfüllen kann auch der unter Abschnitt VI.3) dieser Bekanntmachung,
Zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und
wiederverwenden der EEE genutzt werden.
Technische und berufliche Fähigkeiten:
Angaben und Formalitäten, die erforderlich sind, um die Einhaltung der
Auflagen zu überprüfen:
- Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe
der EEE Teil IV Abschnitt Cund D (Hinweis: bezogen auf die letzten 3
abgeschlossenen Geschäftsjahre)
Im Formblatt „EEE-Europäische Eigenerklärung
“ werden für den genannten Abschnitt folgende Angaben verlangt:
- Angaben zu Lieferungen und Dienstleistungen der genannten Art (dem
Auftragsgegenstand vergleichbare Leistungen),
- Angaben zu technischen Fachkräften oder technischen Stellen,
- Angaben zur technischen Ausrüstung und Maßnahmen zur Qualitätssicherung
- Angaben zur Vertragserfüllung, Lieferkettenmanagement und
Überwachungssystem
- Angabe zur Kontrollmöglichkeit der Produktionskapazität bzw. seine
technische Leistungsfähigkeit sowie der Qualitätskontrolle
- Angaben zu Ausbildungsnachweisen oder Bescheinigungen über die berufliche
Befähigung (Dienstleister oder Unternehmen selbst oder seiner Führungskräfte)
- Angaben zu Umweltmanagementmaßnahmen, Angaben zu den
durchschnittlich jährlich Beschäftigtenzahlen und die Zahl seiner
Führungskräfte in den letzten 3 Jahren
- Angaben zu Ausstattung, Geräte und technischen Ausrüstungen
- Angaben zur Unterauftragsvergabe, Bescheinigungen zu
Qualitätssicherungsnormen, Bescheinigungen zur Erfüllung der Anforderungen
an die Umweltmanagementsysteme oder -normen.
Das Formblatt
„EEE Einheitliche
Europäische Eigenerklärung“ steht unter dem in I.3) genannten
Zugang uneingeschränkt und vollständig zur Verfügung. Zum Ausfüllen kann
auch der unter Abschnitt VI.3) dieser Bekanntmachung zusätzliche Angaben:
Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und wiederverwenden der
EEE genutzt werden.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 09:30
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2022-11-04 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2022-09-22 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 09:30

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Adresse des Käuferprofils: http://www.evergabe-online.de 🌏
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=473661 🌏
Internetadresse: http://www.evergabe-online.de 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen
Die Vergabeunterlagen stehen ausschließlich elektronisch unter der im Abschnitt I. 3
dieser Bekanntmachung/ Kommunikation angegebenen Internet-Adresse kostenfrei
zur Verfügung. Ein Anwendersupport für Bieter steht unter der Rufnummer: 0228/99
610 1234 zur Verfügung.
Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der
Im nächsten Schritt „Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer“ anklicken und dann die
Option " eine Antwort erstellen" anklicken
Bitte weiterhin darauf achten, das im Teil IV Eignungskriterien „JA“ angeben werden
muss um alle notwendigen Angaben eintragen zu können.
„Möchten Sie die Auswahlkriterien A-D verwenden? „JA“ anklicken.
Der Globalvermerk ist nicht anzukreuzen.
Dann kann die EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml)
sowie als PDF-Datei exportiert/ gespeichert werden.
Zusätzlich zu den in Abschnitt III dieser Bekanntmachung notwendigen Angaben
sind die Teile I-III der EEE auszufüllen.
Gemäß §12a ThürVgG die nach diesem Gesetz verpflichtend vorzulegenden
Erklärungen und Nachweise sind nur von demjenigen Bieter, dem nach Abschluss
der Wertung der Angebote der Zuschlag erteilt werden soll (Bestbieter), vorzulegen.
Der Bestbieter hat die vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach
Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bestimmten Frist vorzulegen.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Postanschrift: Jorge-Sempún-Platz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren: entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postort: Ilmenau
Postleitzahl: 98693
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
Fax: +49 3677-691931 📠
Internetadresse: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
Quelle: OJS 2022/S 159-452486 (2022-08-15)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-11-03)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 420 168 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-11-03 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-11-08 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 215-616843
Verweist auf Bekanntmachung: 2022/S 159-452486
ABl. S-Ausgabe: 215

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Spezifikation
Qualitätskriterium (Gewichtung): 80
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Software/Steuerung/Dokumentation
Qualitätskriterium (Gewichtung): 15
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Garantie und weitere Bedingungen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5
Preis (Gewichtung): 100

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-10-28 📅
Name: Polyteknik AS
Postanschrift: Moellegade 21
Postort: Oestervraa
Postleitzahl: 9750
Land: Dänemark 🇩🇰
Nordsjælland 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 420 000 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Quelle: OJS 2022/S 215-616843 (2022-11-03)
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